Способ контроля толщины диэлектрической пленки

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности контроля толщины диэлектрической пленки. Пленку помещают между двумя электродами, один из которых контактирует с пленкой в одной точке, а в окрестностях этой точки образует плавно изменяющийся зазор. К электродам прикладывают напряжение, увеличивают его до возникновения начальных частичных разрядов. Величина напряжения характеризует отношение толщины пленки к величине ее относительной диэлектрической проницаемости. 2 ил. (О

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГ1УБЛИК (51)4 G 01 В 7/08! в Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4025654/24-28 (22) 24.02.86 (46) 07.05.88. Бюл. М - 17 (71) Чувашский государственный университет им. И,Н. Ульянова (72) Ю.В, Ильин (53) 621.317.39:531.717(088.8) (56) Пешков И.Б. Обмоточные провода.M.: Энергоатомиздат, 1983, с. 278279.

Авторское свидетельство СССР

N - 1095030, кл. G 01 В 7/08, 1982.

Л 1394028 А 1 (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛКНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьппение точности контроля толщины диэлектрической пленки. Пленку помещают между двумя электродами, один из которых контактирует с пленкой в одной точке, а в окрестностях этой точки образует плавно изменяющийся зазор. К электродам прикладывают напряжение, увеличивают его до возникновения начальных частичных разрядов. Величина напряжения характеризует отношение толщины пленки к величине ее относительной диэлектрической проницаемости. 2 ил.

1394028

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в любой отрасли промыпленности при допусковом контроле толщины ди5 электрической пленки или покрытия на электропроводящей основе, в частности покрытия эмалированных проводов, а также может использоваться . для контроля величины диэлектрической10 проницаемости пленки и покрытия, если . :толщину измеряют другими известными

1 способами.

Целью изобретения является повыше1, ние точности контроля при уменьшении .)

: площади охватываемой контролем поверх; ности путем устранения влияния крае, вого эффекта, а также ослабление раз, рушающего влияния разрядов при иони1, зации воздушных включений путем умень2О, шения их интенсивности.

На фиг. 1 представлено взаимное

1, расположение электродов и контролируе мого диэлектрика; на фиг. 2 — пример реализации способа при контроле тол- 25 щины изолирующего покрытия эмалйрованных проводов.

К измерительному электроду 1,который в месте касания образует с диэлектрической пленкой 2 изменяющийся gg по величине воздушный .зазор, относи.— тельно прилегающего с противоположной стороны электрода 3 прикладывают напряжение от измерительного устройства 4, которое позволяет изменять величину напряжения в требуемых пределах, регистрировать наличие частичных разрядов и измерять напряжение, подаваемое на электроды. Площадь прилегающего электрода выбирают таким образом, чтобы на его краях не возни.кали частичные разряды при напряжениях, меньших по величине напряжения ! возникновения начальных частичных разрядов в воздушном зазоре.

Регистрацию начальных частичных разрядов осуществляют известными способами. При контроле толщины покрытия на проводящей основе в качестве прилегающего электрода используют основу .

Для использования способа при контроле толщины изоляции эмалированных проводов большой длины применяют дополнительный электрод, который устанавливают рядом с измерительным на расстоянии, исключающем поверхностные разряды. Функцию такого электрода могут выполнять, например, направляющие ролики, которые фиксируют положение контролируемого провода относительно измерительного электрода и со— прикасаются с проводом на длине,превышающей разряды контролируемой области.

Провод 5 (фиг. 2), касающийся из— меритепьного электрода 1, огибает направляющие ролики 6, которые электрически соединены с проводником и обеспечивают емкостную связь с проводящей основой вблизи места контроля.

Возникающие импульсы частичных разрядов поступают на измерительное устройство 4 через емкостную связь, которая оказывает им малое сопротивление по сравнению с индуктивностью провода.

Формула изобретения

Способ контроля толщины диэлектрической пленки, заключающийся в том, что контролируемый диэлектрик помещают между электродами, к которым прикладывают переменное напряжение, увеличивают амплитуду напряжения до уровня, при котором в воздушном зазоре происходят ионизационные процессы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контрбля при уменьшении площади охватываемой контролем поверхности, одним из электродов касаются контролируемой поверхности в одной точке и образуют им с поверхностью диэлектрика плавно изменяющийся по величине воздушный зазор вблизи места касания, при возникновении начальных частичных разрядов и изменяющемся зазоре прекращают повышение напряжения, измеряют его величину, по которой с помощью градуировочной кривой определяют отношение толщины контролируемой пленки к ее относительной диэлектрической проницаемости.

1394028

Составитель А. Куликов

Редактор О.Юрковецкая Техред М.Дидык Корректор А. Тяско

Заказ 2208/36 Тираж 680 Подписное

ВИ .!!!!И Государственного комитета СССР нс зевам изобретений и открытий

113835,,.!ос-ква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Произв .,:.с « . но — нс и рафическое предприятие, г. Ужгород, ул. 11роектная, 4