Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток
Класс 42", 2вв. Ла 141643
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписиа» группа Л& У66
Г. Н. Рассудова и Ф. М. Герасимов
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИРОЗРАЧНЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ
РЕШЕТОК ДЛЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ЧЕЛЕЙ
Заявлено 6 мая 1960 r. ва М 666861,,25 в Комитет по иенам изобре1ений и открытий при Совете 11иниотров СССР
Опуо.чиковаио и «Бюллетене иниоретений» Кв 19 аа 196I
Известны способы изготовления прозрачных дифракционных реше
ToK tIJI>I метрологHBecI В описываемом способе для получения решеток высокой точности на стеклянную пластинку наносят слой алюминия, а затем на нем I«".резают штрихи и протравливают его. Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток состои" в том, что на стеклянную пластинку вакуумной конденсацией наносяг слой алюминия, толщина которого приблизительно равна глубине штрихов, нарезаемых затем на делительной машине. При этом дно получившихся штрихов касается поверхности стеклянной пластинки. После нарезания решетку подвергают травлению раствором, содержащим 0,5 г КМп О: и 20см НгЯО4 на 100 см, при температуре 20 — f>Ci, в зависимости от толщины слоя алюминия. При травлении дно штриха постепенно расширяется, образуя прозрачную часть штрих",, а его вершин 1 остается непрозрачной. Для более однородного смачивания поверхность решетки предварительно обрабатывают слабым раствором соды, благодаря чему процесс травления проходит более равномерно. Прозрачные части штрихов получаются одинаковыми и сохраняется точность, достигнутая при нарезании решетки. Соотношение между прозрачной и непрозрачной частями штрихов регулируют, изменяя продол>кительность процесса травления. Описываемый способ позволяет получать дифракционные решетк1 длиной до 160 мм, имеющие 200, 600 и 1200 штрихов на 1 мм, с отношением прозрачной части штриха к общей его ширине, равным от 0,4 до 0,8. Предмет изобретения Редактор А. И. Дышельман Техред А. A. Камышннкова Корректор Л, И. Самсонова Формат бум, OX108>/ie Тираж 1100 ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, М. Черкасский иср., л. 2/6. Обьем 0,18 изд. л. Це a 4 кои. Поди к неч. 25.1Х 61 г Лак. 9516 Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14. ьз Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток для метрологических целей, отличающийся тем, что с целью получения решеток высокой точности на стеклянную пластинку наносят слой алюминия, а затем на нем нарезают штрихи и протравливают.
