Способ определения напряжений и неоднородностей в полупроводниковых кристаллах

Авторы патента:

G01L1/24 - путем измерения изменения оптических свойств напряженных материалов, например путем фотоупругого анализа напряжений

Класс 42h, 21 № 145033

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Лн 170

Б. H. Гречушников, Г. И. Дистлер и В, С. Чудаков

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЙ И

НЕОДНОРОДНОСТЕЙ В ПОЛУЛРОВОДНИКОВЫХ

КРИСТАЛЛАХ

Заявлсио 8 августа 1960 г. за . и 707678/26 в Комитет ио аслам ивобрстсн:6 и откр::тии:.|ри C.îçñòå Министров СССР

Опубликовано в «Б|оллстсис иаобрстсний» М 4 аа 1962 г.

Б известных способах определения качества полупроводниковых кристаллов путем измерения их двойного лучепреломления не достигается высокая точность измерений ввиду малой чувствительности электронно-оптических прсобразователси, Предложенный способ определения напряжений и нсоднород.:остей

В полупроводниковых кристалл", o=»oaéí на сканировании узким пучком инфракрасного излучения исследуемого полупров дникового кристалла с одновременной трансформацией выходно"o усиленного сигнала в видимое излучение, регистрируемое на обычном фотоматериале, который сканируется синхронно с исследуемым образцом. При применении предложенного способа исследование производится в широком диапазоне инфракрасного спектра.

Эффективность способа для выявления различного рода дефектов в полупроводниковых материалах подтверждается практической проверкой.

Предмет изобретения

Способ определения напря>ксний и неоднородностей в полупроводниковых кристаллах путем измер=н: я их двойного лучепреломления, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерения, производится сканирование узким пучком инфракрасного излучения исследуемого полупрогодникового кристалла с одновременным преобразсванием усиленного выходного сигнала в видимое излучение, регистрируемое на фотоматериале, сканируемом синхронно с исследуемым образцом.

Способ определения напряжений и неоднородностей в полупроводниковых кристаллах

Поляризационно-оптический способ исследования напряженного состояния деталей машин и конструкций // 116037

Способ определения остаточных напряжений // 116036

Способ повышения точности измерения механических сил и перемещений // 106173

Способ определения напряжений в оболочках вращения // 104104

Поляризационно-оптический способ определения напряженного состояния элементов металлоконструкций // 100283

Способ получения оптически активного материала // 82601

Прибор для проверки образцовых грузовых манометров // 79172

Устройство для исследования напряжений в движущихся прозрачных моделях // 78631

Способ изучения распределения напряжений на прозрачных моделях // 72959

Пьезооптический измеритель механических величин // 2109258

Оптический способ измерения силы // 2115100

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к средствам измерения силы, вызывающей деформацию или перемещение чувствительного элемента, регистрируемые оптическими средствами

Лазерный интерферометрический преобразователь силы (варианты) // 2142122

Волоконно-оптические датчики давления и система измерения давления, их включающая // 2205374

Волоконно-оптический датчик температуры и деформации // 2248540

Изобретение относится к области измерительной техники, телеметрии и оптоэлектроники и может быть использовано для контроля деформаций крупных сооружений, в электротехнической промышленности при измерении температурных режимов трансформаторов, в геологической разведке при измерении распределения температуры вдоль скважин, в авиационной промышленности при контроле деформаций конструкций летательных аппаратов и т.д

Оптический тактильный датчик // 2263885

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тактильным датчикам оптического типа

Средство определения напряжений // 2319941

Материал, чувствительный к давлению // 2335511

Изобретение относится к полимерному материалу, обладающему оптически детектируемым откликом на изменение нагрузки (давления), включающему полиуретановый эластомер, адаптированный для детектирования изменения нагрузки, содержащий алифатический диизоцианат, полиол с концевым гидроксилом и фотохимическую систему, включающую флуоресцентные молекулы для зондирования расстояния, модифицированные с превращением в удлиняющие цепь диолы, в котором мольное соотношение диолов и полиолов находится в диапазоне от приблизительно 10:1 до около 1:2, а фотохимическая система выбрана из группы, состоящей из системы эксиплекса и резонансного переноса энергии флуоресценции (FRET)

Способ контроля механических напряжений в кремниевой структуре пленка sio2 - подложка si // 2345337

Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов ИС и дискретных полупроводниковых приборов

Оптический тактильный датчик и способ восстановления распределения вектора силы с использованием указанного датчика // 2358247

Изобретение относится к устройству и способу определения вектора силы и может быть использовано в тактильном датчике для руки робота