Прибор для определения кристаллографической направленности монокристаллов

 

1,(:Класс 42h, 26 № 148927

СССР

j j1

"Pllf0

1 1, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 17О

И. Н. Рубцов, В. А. Подгорнов и И. И. Савельев

ПРИБОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ

НАПРАВЛЕННОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ

Заявлено 27 мая 1961 г. за № 732766p23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 14 за 1962 r.

Известны приборы для определения кристаллографической направленности монокристаллов, в которых определение ориентации монокристаллов производится по способу световых фигур. Предлагаемый прибор отличается от известных тем, что, с целью увеличения точности определения, на пути светового луча смонтирована группа зеркал для многократного отражения. Кроме того, прибор универсален, так как позволяет изменять измерительную базу «образец †экр». Это достигается тем, что предметный столик смонтирован на шариковых направляющих.

На чертеже показана схема прибора, иллюстрирующая его действие. В качестве источника света используют лампу накаливания 1 (8 в, 30 вт) с нитью накала, имеющей точечную проекцию на плоскость, перпендикулярную оптической оси. Свет, пройдя конденсатор 2, фокусируется на сменной диафрагме 8, величина которой ступенчато регулируется от 0,2 до 2 мм. Далее луч света, отразившись от зеркала 4, направляется в длиннофокусный объектив 5 (типа Юпитер-11 фр. 135 мм), после чего суживающийся пучок света, последовательно отражаясь от зеркал 6, 7 и образца 8, попадает на матовый экран 9.

Объектив фокусируется таким образом, чтобы изображение отверстия диафрагмы 3 совпало с плоскостью экрана 9. Юстировка установки производится с помощью эталонного образца (например, зеркала), устанавливаемого на базировочную плоскость вместо образца 8. При этом изображение в виде светящейся точки поворотом зеркала 7 выводится в центр экрана. Изображение на матовом экране рассматривается на просвет с помощью зеркала 10 в смотровое окно.

Зеркала б и 11 и образец 8 укреплены на перемещающейся по стрелке платформе. На чертеже она .изображена в переднем крайнем полсжении. При этом расстояние «образец — экран» равно 114,5 мм, а одно деление шкалы, равное 1 м,я, соответствует отклонению 15 . В № i48927 крайнем заднем положении платформы образец 8 занимает место зеркала б, а место образца — зеркало 11. При этом расстояние «образец— экран» по ходу луча равно 523 мм, а одно деление шкалы в этом случае соответствует отклонению кристаллографической оси на 3 мин.

Шкала экрана имеет боковой подсвет, что делает ее отчетливо различимой при наблюдении.

В установке базировочная площадка под образец расположена горизонтально, в связи с этим возрастает точность базировки слитков и упрощается базировка пластин и кристаллов, которые могут просто накладываться на предметное стекло. В этом случае слабая точка, отра

>кенная от поверхности стекла, является указателем базовой плоскости, а расположение этой точки относительно световой фигуры, получающейся в результате рассеяния света образцом, немедленно указывает на совпадение или несовпадение базовой и определяемой кристаллографической плоскостей.

Предлагаемый прибор компактен и удобен в обращении.

Из-за удобного горизонтального расположения базовой плоскости в установке оказалось возможным применить известную ранее приклейку слитков на предметный столик для разрезки на =танках абразивной резки полотнами.

Прибор может быть использован в лабораторной практике и в цехах механической обработки полупроводниковых материалов.

Предмет изобретения

1. Прибор для определения кристаллографической направленности монокристаллов по способу световых фигур, смонтированный в светозащищенном корпусе, снабженный источником освещения, длиннофокусным объективом, матовым экраном и предметным столиком для крепления измеряемых образцов, о тл и ч а ю щи и ся тем, что, с целью повышения точности определения, на пути луча смонтирована система зеркал, многократно отражающая луч.

2. Форма выполнения устройства по и. 1, отл и ч а ю щая ся тем, что, с целью изменения измерительной базы «образец — экран», платформа с предметным столиком смонтирована на шариковых направляющих. № 148927

Составитель С. В. Кокорев

Редактор С. А. Барсуков Техред T. П. Курилко Корректор Н. В. Щербакова

Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, !4.

Поди. к печ 28/VI-62 r. Формат бум, 700(108 /,б

Зак, 6838 Тираж 550

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при

Москва, Центр, М. Черкасский пер., Объем 0,26 пзд. л.

Цена 4 коп.

Совете Министров СССР д 2/6.