Зондовое устройство

 

Изобретение может быть использовано для измерения поверхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых (ПП) материалов, в частности , четырехзондовым методом. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик - достигается тем, что предметный столик состоит из неподвижной и подвижной частей 23 и 24 соответственно и противовеса 25. На неподвижной части 23 закреплен кронштейн 26, в котором установлен ходовой винт 27, взаимодействующий с противовесом 25. Подвижная часть 24, на которую устанавливается ПП структура 28, постоянно поджата к ходовому винту 27 пружиной . 3 ил. (О

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1406829 А 2 (sl) 4 Н 05 К 1/11

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А8ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 728227 (21) 4116743/24-21 (22) 09.09.86 (46) 30.06,88. Бюл. Ф 24 (71) Пензенский филиал Всесоюзного научно-исследовательского технологического института приборостроения (72) А.A. Климов, Н.И,. Давыдов, N.Â. Иоффе и Б.И. Красильщиков (53) 621.396.6 ° 002.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 728227, кл. Н 05 К 1/11, 1973. (54) ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение может быть использовано для измерения поверхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых (ПП) материалов, в частности, четырехзондовым методом. Цель изобретения — улучшение эксплуатационных характеристик — достигается тем, что предметный столик состоит из неподвижной и подвижной частей

23 и 24 соответственно и противовеса 25. На неподвижной части 23 закреплен кронштейн 26, в котором установлен ходовой винт 27, взаимодействующий с противовесом 25. Подвижная часть 24, на которую устанавливается ПП структура 28, постоянно поджата к ходовому винту 27 пружиной. 3 ил.

1406829

Йзобретение относится к радио: технике и может быть использовано для измерения поверхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых материалов, в частности, четырехзондовым методом.

Цель изобретения — улучшение эксплуатационных характеристик за счет обеспечения возможности измерения

1О параметров полупроводниковой структуры по всей поверхности без отключения вакуумной присоски и без пере.,мещения измеряемой структуры отно . сительно поверхности предметного

1, столика.

На фиг. 1 изображено зондовое устроиство, rI . фиг . 2 Ilредме l HM столик; на фиг. 3 — зондовая головка с предметным столиком.

Зондовое устройство состоит из четырехзондовой головки 1, предметного столика 2,, пантографа 3, демпфера 4, стойки 5, станины 6, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфера 4, регулятора 9 нагрузки, вакуумной присоски 10, грузов 11, регулировочных винтов 12 и 13, обоймы 14, подвески 15, оси 16, станины 17, винта 18, который служит для установки оси 16 в центральную плоскость между потенциальными зондами 19„ запрессованными в изолирующий корпус

20. В четырехзандовой головке располагается пара подвижных токовых зондов

21. К торцам зондов прикреплены эле35 ктрические выводы 22. Предметный столик 2 состоит из неподвижной 23 и подвижной 24 частей и противовеса 25, На неподвюкной части 23 предметного

Щ столика 2 закреплен кронштейн 26, в котором установлен ходовой винт 2>.„ взаимодействующий с противовесом 25, Подвюкная часть 24 предметного столика 2, на которую устанавливается полупроводниковая структура 28„„ постоянно поджата к винту 27 пружиной 29.

Зондовое устройство работает следующим образом.

На подвижную часть 24 предметного столика 2 помещают полупроводниковую структуру 28, включают вакуумную присоску 10. Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатьнзает демпфер 4, и головка 1 плавно опускается на структуру 28. Пары зондов 19 ь 21 прижимаются к поверхности полупроводниковой структуры 28. При неодновременном касании зондами поверхностЛ структуры

28 контактирование всех четырех зондов 19 и 21 с указанной поверхностью достигается за счет балансирования предметного столика 2 вокруг оси 16.

Производят измерение по линии, совпадающей с осью касания. Для измере- ния в точках, не лежащих на этой линии, осуществляют подъем зондовой головки 1, поворотом винта 27 смещают подвижную часть 24 предметного столика 2 на необходимую величину, опускают зондовую головку 1 и продолжают измерение. Для того, чтобы центр тяжести предметного столика 2 находился симметрично относительно потенциальных зондов l9 при смещении подвюкной части 24, предметный столик 2 снабжен противовесом 25, который при повороте винта 27 смещается на ту же величину, что и подвижная часть 24 предметного столика

2, но в противоположную сторону. В неподвижной части 23 выполнен паз, в котором перемещается подвижная часть 24 и который позволяет подсо" единить вакуумную присоску 10.

Для оценки величины перемещения подвижной части 24 на неподвижной части 23 могут быть нанесены риски, для более точного определения перемещения винт 27 может быть выполнен с нониусным отсчетом (в качестве винта может быть использован обычный микрометр).

Предварительная балансировка предметного столика 2 может быть осуществлена установкой регулировочного элемента, например винта (не показан), на

I. = подвюкной части 24 или противовесе 25

l для этого в них выполняют отверстие с резьбой. Вращением регулировочного элемента обеспечивают горизонтальное положение предметного столика 2, т.е. совпадения центра тяжести предметного столика 2 с плоскостью симметрии четырехзондовой головки 1, и фиксируют регулировочный элемент в этом положении, Смещение центра тяжести предметного столика 2 от смещения винта 27 мо>кно компенсировать соответствующей выборкой материала в противовесе 25.

Таким образом, предлагаемое исполнение предметного столика позволяет проводить измерения без выключения вакуумной присоски и без смещения полупроводниковой структуры относительно поверхности предметного столика, 1406829 что улучшает эксплуатационные характеристики зондового устройства.

Формула изобретения

Зондовое устройство по авт. св. В 728227, о т л и ч а ю щ е е— с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационнык возможностей, предметный столик дополнительно снабжен подвижной частью и противовесом, кинематически связанным с неподвижной частью, причем подвижная часть и противовес размещены на неподвижной части с возможностью перемещения друг относительно друга во взаимообратном направлении в плоскости, параллельной оси качания предметного столика, а вес противовеса равен весу подвижной части предметного столика.