Способ измерения удельного сопротивления

 

Изобретение относится к электрохимии , в частности к технике измерения удельного сопротивления твердых электролитов с проводимостью по ионам натрия и контроля их электрических свойств. :|Цель изобретения - повьшение точности измерения удельного сопротивления образцов полиалюмкнатов натрия - достигается путем снижения контактного сопротивления игольчатый зонд - образец. Способ основан на использовании из вестного четырехзон.цо - вого способа измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов на переменном токе при соблюдении определенных условий и режимов j при веденных в описании изобретения, обеспечивающих увеличение точности измерения.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГЬ БЛИН.80„„1420548 А1 (Я) 4 0 01 R 27 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ е

1Д

1 н втоесному свидательствм

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4035067:/24-21 (22) 12.03.86 (46) 30.08.88. Бюл. Р 32 (71) Всесоюзный научно-исследовательский, проектно-конструкторский и технологический институт источников тока (72) А.И.Груздев (53) 621.317 (088.8) (56) Электрохимия, 1974, т. 10, Р 12, с.1875-1882.

Павлов Л.П. Методы определения основных параметров полупроводниковых материалов. — М.: Высшая школа, 1975, с.5-16. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к электрохимии, в частности к технике измерения удельного сопротивления твердых электролитов с проводимостью по ионам натрия и контроля их электрических свойств. :Цель изобретения — повышение точности измерения удельного сопротивления образцов полиалюминатов натрия — достигается путем снижения контактного сопротивления игольчатый зонд — образец. Способ основан на использовании известного четырехзондового способа измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов на переменном токе при соблюдении определенных условий и рекимов, при веденных в описании изобретения, обеспечивающих увеличение точности измерения.

1420548

Формула изобретения

Составитель В.Максименко

Редактор Л.Пчолинская Техред Л.Олийнык Корректор М.Демчнк

Заказ 4326/51

Тираж 772 Подписное.ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электрохимии, в частности к способам измерения удельного сопротивления твердых электролитов с проводимостью по ионам натрия и контроля их электрических свойств.

Цель изобретения — повышение точности измерения удельного сопротивления образцов полиалюминатов натрия путем снижения контактного сопротивления игольчатый зонд — образец.

Способ измерения удельного сопротивления образцов полиалюминатов натрия основан на использовании известного четырехзондового способа измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов на переменном токе. При применении известного способа не обеспечивается необходимой точности измерения удельного сопротивления для образцов из полиалюминатов натрия, поскольку используемые обычно температурные режимы измерения и материалы для зондов дают очень высокие значения контактного сопротивления зонд — образец (более 1Q Ом .т, при t=20-300 С). Это обусловливает весьма высокий уровень теплового шума при измерении напряжения на потен-. циальных зондах, что и приводит к значительным ошибкам измерения удельного сопротивления. Экспериментально установлено, что применение в качестве материала для зондов серебра и .проведение измерений при температуре 35

200-950 С позволяет уменьшить контактное сопротивление зонд — образец на 2-4 порядка, что приводит соответ. ственно, к увеличению точности измерения удельного сопротивления. Сереб- 40 ряные электроды являются для полиалюминатов блокирующими, однако при увео личении температуры выше 200 С наблюдается резкое уменьшение контактного сопротивления, что и позволяет увеличить точность измерения. Верхняя граница температурного диапазона (950 С) определяется температурой плавления серебра, из которого сделаны зонды. Напряжение, приложенное к токовым зондам не должно превышать

2,5 В эфф., поскольку при большем напряжении наблюдается резкое увели ченне контактного сопротивления в местах контакта токовых зондов с образцом вследствие обгорания полиалюмината:натрия. Это приводит к флюктуациям протекающего по образцу тока, что снижает точность измерения.

Способ измерения удельного сопротивления, включающий установку четырех металлических игольчатых зондов на поверхность образца, измерение напряжения между одной парой зондов при пропускании через другую пару зондов переменного тока заданной величины, вычисление удельного сопро" тивления по измеренным значениям напряжения и тока, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности при измерении удельного сопротивления образцов полиалюминатов натрия, игольчатые зонды выполнены из серебра, а измерение проводят при о температуре образца 200-950 С, при этом напряжение между токовыми зондами не превышает 2,5 В эфф.