Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта

 

Изобретение относится к интерференционным измерениям линейных перемещений. Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отра жающее покрытие светоделителя 2, а другой - на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражения его от боковой грани поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе из него - на четвертьволновую пластину 7, затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляризацию. Указанный поток направляют на двоякопреломпяющий кристалл В, который отклоняет его на основание трехгранного уголкового отражателя 3 и т.д. Далее поток проходит по тому Же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину перемещения . 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУЬЛИН

Ai (я) 4 G 01 В 9 02, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4139983/24-28 (22) 28.10.86 (46) 23.09.88. Бюл. 11 35 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В.Я.Бараш, Г.С.Пресняков и А.Л.Резников (53) 531.7 15. 1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ы 1275205, кл. G 01 В 9/02, 1984. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ЙЗИЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к интерференционным измерениям линейных перемещений. Целью изобретения является повышение точности измерения.

Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один иэ которых направляют на отра„„Я0„„1425434 жающее покрытие светоделителя 2, а другой — на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражения его от боковой грани поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе из него — на четвертьволновую пластину 7, затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляризацию. Указанный поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, который отклоняет его на основание трехгранного угплкового отражателя 3 и т.д. Далее поток проходит по тому же пути но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину перемещения. 1 ил.

1425434

Составитель Н

Техред M,Äèäû.Захаренко к Корректор Л.Патай

Редактор Л.Зайцева

Заказ 4756/35 Тираж 680

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к интерфе" ренционным измерениям линейных перемещений.

Цель изобретения — повышение точ5 ности йзмерения.

На чертеже представлена схема иитерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 в ниде к б-призмы с зеркальным покрытием грани I-I противоположной источнику

1 iизлучения, делящий излучение на два отока, трехгранный уголковый отражаель 3 с отражающим покрытием 4 в сечении со стороны вершины, параллельном основанию, отражатель 5, состоящий из последовательно установленных плоского зеркала 6, четвертьволновой пласти ны 7, двоякопреломляющего кристал- 2О ла 8 и ориентированных параллель1 но друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя 3, отражатель 5 установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от 25 светоделителя 2 со смещением относительно трехгранного уголкового отражателя 3 и фотоприемник 9, установленный в другом потоке от светоделит ля 2. ЗО

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 раз1 д ляется на два потока, один иэ кото35 рых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой — на трехгранный уголковый отражатель 3.

После отражения от его боковой грани пбтока направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе из него— на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему циркулярную поляризацию, а затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляриза" цию. Указанный поток направляют на, двоякопреломляющий кристалл 8, рый отклоняет его на угол(90 - a), где — угол преломления потока, в двоякопреломляющем кристалле 8 и в свою очередь направляет на основание трехгранного уголкового отража" теля 3 и т.д. Поток, отраженный от покрытия 4, направляют на двоякопреломляющий кристалл 8 по тому же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину перемещения. Величина перемещения определяется либо способом счета интерференционных полос, либо способом нулей функции Бесселя .

Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта, содержащий источник излучения, светоделитель, делящий излучение от источника на два потока, два отражателя, один иэ которых выполнен в виде трехгранного уголкового отражателя с отражающим покрытием в сечении со стороны вершины, параллельном основанию, второй установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от светоделителя в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фотоприем" ник, установленный в другом потоке, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен последовательно расположенными четвертьволновой пластиной и двоякопреломляющим кристаллом, второй отражатель выполнен в виде плоского зеркала, четвертьволновая пластина и двоякопреломляющий кристалл ориентированы параллельно друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя", а второй отражатель, четвертьволновая пластина и двоякопреломляющий кристалл смещены относи" тельно трехгранного уголкового отражателя.