Способ получения порошка нитрида кремния

 

.Изобретение относится к производству тугоплавких соединений, а именно к получению нитрвда кремния термообработкой азотсодержащего силана - триметилтривинилциклотрисилазана в газовой среде, содержащей азот, и позволяет повысить выход нитрида кремния. Азотсодержащий силантриметилтривинилциклотрисилазан термообрабатйвают при 1400°С и давлении 200 атм в течение 3 ч. Продукт представляет породюк нитрида кремния с размером частиц 0,1-0,5 мкм и содержанием примесей мас.%. Выход продукта составляет 62,3%. Способ позволяет увеличить выход продукта в S 4-6 раз при сохранении высокой чистоты и дисперсности. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК д11 4 С О1 В 21/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21 ) 411 3920/31-26 (22) 31. 07.86 (46) 30.10.88. Бюл. У 40 (71) Московский инотитут тонкой химической технологии, Институт физики

АН КиргССР и Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им. И.П. Бардина (72) Р .А. Андриевский, Ж.И. Дзнеладзе, Г.И. Казанец, М.А. Леонтьев, И.P. Невский и В.И. Таланов (53) 546.171.1.661.55(088.8) (56) Патент США 11 4346068, кл. С 01 В 21/068, 1982.

Патент США Ф 4387079, кл. С.01 В 21/068, 1983. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА НИТРИДА КРЕМНИЯ

„„SU„„1433893 А l (57) .Изобретение относится к производству тугоплавких соединений, а именно к получению нитрида кремния термообработкой аэотсодержащего силана — триметилтривинилциклотрисилазана в газовой среде, содержащей азот, и позволяет повысить выход нитрида кремния ° Аэотсодержащий силан— триметилтривинилциклотрисилазан термообрабатЫвают при 14000С и давлении

200 атм в течение 3 ч. Продукт представляет порощок нитрида кремния с размером частиц 0,1-0,5 мкм и содержанием примесей 10 мас.%. Выход продукта составляет 62,3%. Способ поз воляет увеличить выход продукта в ®

4-6 раз при сохранении высокой чистоты и дисперсности. 1 s.ï. ф-лы, 1 табл. С:

1433893 воляет получить очень чистые порошок нитрида кремния с уровнем микропримесей на уровне 10 мас.X. В то же время за счет повышения давления азота в процессе синтеза получен значительный технико-экономический эффект способа, который заключается в увеличении выхода готового продукта в 4-6 раз. В таблице представлены сравнительные данные получения нитрида по известному и предложенному способам.

Формула изобретения

Вес исходного Давление Вес полученсырья (силан) атм ного нитрида г кремния, г

Способ по примерам

Выход

Известный

Предлагаемый

4,7

9,6

48,9

4,28

44,6

9,6

10,8

45,8

4,95

100

62,3

29,2

46,7

200

48,2

65,6

400

31,6

430

65,6

31,2

3l,2

Составитель В. Лукьянов

Техред М.Дидык Корректор Э. Лончакова

Редактор И. Сегляник

Подписное

Заказ 5509/24

Тираж 446

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к производству тугоплавких соединений, а именно к получению нитрида кремния термообработки азотсодержащего силанаS утриметилтривинилциклотрисилазана в газовой среде, содержащей азот.

Цель изобретения — повышение BbI хода нитрида кремния.

Пример. Азотсодержащий силан триметилтривинилциклотрисилаэан в количестве 46,7 г термообрабатывают при 1400 С и давления азота 200 атм в течение 3 ч. Полученный продукт представляет собой порошок нитрида кремния в количестве 29,2 г с размером частиц 0,1-0,5 мкм и содержанием примесей 10 мас.X. Выход го-.3 тового продукта составляет 62,37.

Таким образом применение высоких 20 давлений газовой среды, содержащей азот, при получении порошков нитрида кремния методом термообработки азотt содержащих силанов увеличивает выход продукта в 4-6 раз при сохранении 25 высокой чистоты и дисперсности. Применение азотсодержащих силанов позс

1. Способ получения порошка нитрида кремния, включающий термообработку триметилтривинилциклотрисилаэана в газовой среде содержащей азот, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода продукта, термообработку ведут при давлении газовой среды 10-400 атм.

2. Способ по и. 1, о т л и ч а ю— шийся тем, что термообработку ведут при 1400 С.