Интегральный тензопреобразователь давления

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет улучшить метрологические характеристики тензопреобразователя, а также уменьшить его геометрические размеры.Из- .меряемоё давление прогибает прямоугольную мембрану с выполненными на ней углублением и прямоугольными выступами . При этом тензорезисторы, расположенные на периферии мембраны и в ее центральной части между выступами также деформируются, изменяя свое сопротивление. О величине давле- ., НИН судят по изменению сопротивления S тензорезисторов. 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (511 4 0 01 1 9/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H A BTGPCHGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3924707/?4-10 (22) 09.07.85 (46) 07.11.88, Бил, Р 41 (71) Московский инженерно-физический институт (72) В.И.Ваганов и Г.Д.Пряхин (53) 531.787 (088.8) (56} Патент CD1A У 4065970, кл. 73/727,, 1976.

Патент США N 4023562, кл. 128/2.05, 1975.

„„SU„„1435967 А 1 (54) ИНТЕГРАЛЬНЬП1 ТЕНВОПРЕОБРАВОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет улуч шить метрологические характеристики тензолреобразователя, а также уменьшить его геометрические размеры.Из.меряемое давление прогибает прямоугольиум мембрану с выполненными на ней углублением и прямоугольными выстулами. При зтом тензорезисторы, расположенные на пери@ерин мембраны и в ее центральной части между выстулами также деформируются, изменяя свое сопротивление. 0 величине давления судят ло изменению сопротивления тензорезисторов. 2 ил, 1435967

Изобретение относится к измерительной технике, н частности к интегральным измерительным тенэопреобразователяш, Цель изобретения вЂ” улучшение метрологических характеристик преобразователя и уменьшение геометрических размеров.

На фиг. 1 и 2 изображен интегряль- Ið ный тенэопреобрязователь.

Интегральный тензопреобраэователь содержит прямоугольную кремниевую мембрану 1 с тензореэисторами 2 и 3.

Плоскость мембраны 1 совпадает с 15 кристаллографической плоскостью (100), а стороны мембраны ориентированы вдоль взаимно перпендикулярных кристаллогряфических направлений семейства (110 7. Тензорезисторы 2 одного знака чувствительности расположены на периферии мембраны в середине ее длинных сторон, а тензорезисторы 3 противоположного знака чувствительности расположены в цент- 25 ральной части мембраны, при этом все они ориентированы вдоль длинных сторон мембраны. Ня всей площади мембраны 1 выполнено углубление 4 с образованием двух идентичных прямо- 3р угольных выступов 5, расположенных параллельно длинной стороне мембраны 1. Тензорезисторы 2 расположены по периферии мембраны 1 у длинной стороны, я тензорезисторы 3 расположены между выступами 5.

Интегральный тенэопреобразователь работает следующим образом.

При действии давления на мембрану с углублением 4 и выступами 5 последняя прогибается, в результате чего деформируются тензореэисторы 2 и 3, с которых снимается сигнал, характеризующий измеряемое давление. формула и э о,б р е т. е н и я

Интегральный тензопреобраэователь давления, содержащий прямоугольную мембрану, на которой параллельно длинной стороне расположены четыре тензорезисторя, при этом два тензореэистора одного знака чувствительности размещены по периферии мембраны в середине ее длинных сторон, а два тензо-реэисторя другого знака чувствительности размещены в центральной части мембраны, отличающийся тем, что, с целью улучшения метрологических характеристик и уменьшения геометрических размеров, в нем на всей площади мембраны со стороны расположения тензорезисторов выполнено углубление с образованием двух прямоугольных выступов, длинные стороны которых параллельны длинным сторонам прямоугольной мембраны, а тензорезисторы, размещенные в центральной части мембраны, расположены между выступами.

1435967

Составитель В.Казаков

Техред М.Моргентал Корректор С.Шекмар

Редактор Н.Тупица

Заказ 5637/41

Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Интегральный тензопреобразователь давления

Изобретение относится к приборостроению , в частности к измерительной технике, может быть использовано при исследовании моделей в гидродина шческих бассейнах и позволяет повысить точность измерения давления за счет уменьшения габаритных размеров диафрагмь

Датчик давления газа // 1434288

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам измерения давления газа

Датчик давления и способ его настройки // 1434287

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частнос- ,ти к нeoxлaждae iым малогабаритным датчикам для измерения быстроперемен-: .ных давлений высокотеьотературньвс сред

Интегральный преобразователь давления // 1433172

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к интегральным преобразователям, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления

Тензометрический преобразователь давления // 1433170

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить чувствительность устройства

Тензометрический преобразователь давления и способ его изготовления // 1431470

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить стойкость устр-ва к агрессивным средам, а также повысить его надежность при эксплуатации

Цифровой измеритель давления // 1428959

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений давления за счет устранения мультипликативной погрешности и введения режимов измерения пикового давления и контроля источника питания

Датчик давления увакина // 1428958

Изобретение относится к области измерительной техники, в частнэсти к датчикам давления

Устройство для измерения давления // 1428957

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность измерений путем компенсации температурной погрешности

Интегральный преобразователь давления // 1425487

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным тензопреобразователям,предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Датчик давления // 2115101

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Тензометрический преобразователь давления // 2120116

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Тензорезисторный дифференциальный преобразователь давления // 2127875

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Преобразователь давления // 2134408

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления