Переменный резистор

 

Изобретение относится к микроэлектронике . Цель изобретения - повьшение разрешающей способности и уменьшение габаритов резистора. На изоляционную подложку 1 наносят проводящий слон, часть которого удаляют, образуя токосъемные полоски (ТП) 2. Затем формируют резистивный слой 3 до толгщны, не превышающей тол1цины ТП 2, и получают изменяющиеся по ширине резистивные полосы. Резистивный слой удаляют с ТП 2 под токосъемным контактом 5 и оставляют в промежутках между ТП 2, Резистивные участки и ТП 2 формируют не превыщаюв1ими по ширине длины области токосъемного контакта 5. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 Н 01 С 10 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

IlPH ГКНТ СССР (21) 4020455/24-? 1 (22) 11.02.86 (46) 07.01.89. Бил. ¹ 1 (72) В.Н.Коломыцев (53) 621.316.8(088.8) (56) Мартюшов К.И. и др. Прецизионные непроволочные резисторы. M,:.

Энергия, 1977, с. 177-180, Патент Японии ¹ 58-20157, кл. Н 05 К 3/22, опублик. 1983, (54) ПЕРЕМЕННКЙ РЕЗИСТОР (57) Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения — повьппение разрешающей способности и

ЛК„,1449999 А1 уменьшение габаритов резистора. На изоляционную подложку 1 наносят проводящий слой, часть которого удаляют, образуя токосъемные полоски (ТП) 2.

Затем формируют резистивный слой 3 до толщины, не превышающей толщины

ТП 2, и получают изменяющиеcH IIo QIH» рине резистивные полосы. Резистивный слой удаляют с ТП ? под токосъемным контактом 5 и оставляют в промежутках между ТП ?, Резистивные участки и ТП 2 формируют не превышающими по ширине длины области токосъемного контакта 5. 1 ил.

l449999

Ооставитель ю. Волков

Техред А.Кравчук Корректор 0 Кравцова

Редактор В. Данко

Заказ 6970/49 Тираж 746 Подписное

КНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ (:C(:p

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. ужгород, у:t. Нр. ктная, Изобретение относится к конструктивному исполнению и технологии изготовления изделий микроэлектроники, в частности переменных резисторов, использованием толсто- или тонкопле5 ночной технологии их изготовления.

Цель изобретения — повышение разрешающей способности и уменьшение габаритов путем размещения в промежутках между токосъемными полосками в токосъемной области материала резистивного слоя, толщина которого не должна превышать толщины токосъемных полосок, что обеспечивает устранение разрывов контактирования, ступенеобразные изменения величины сопротивления, технологичности изготовления.

На чертеже представлен переменный резистор, общий вид.

На диэлектрической подложке 1 методом фотолитографии сформированы радиально расположенные токосъемные полоски 2. Между этими полосками и ! на них расположен резистивный слой 3 переменной ширины.

По центру диэлектрической подложки 1 расположена ось 4 с токосъемным контактом 5, конец (не показан) ЗО которого скользит.по концам 6 токосъемных полосок 2, обращенных к центру H образующих область ToKocъемного участка (не показан).

Особенностью переменного резистора является то, что резистивный слой расположен и в области токосъемного участка.

0!ирина конца токосъемного контакта должна превышать ширину про40 межутка между концами токосъемных по1 . лосок в области токосъемного участка, При работе предлагаемого переменного резистора конец токосъемного контакта 5 попеременно контактирует как с оголенными концами токосъемных полосок, так и с резистивным слоем, если его толщина равна толщине этих полосок. Если меньше, то непрерывность (без скачков) изменения величин сопротивления все равно сохраняется.

Расположение части резистивного слоя в области токосъемного участка позволяет уменьшить габариты резистора.

Формула и з о б р е т е н и я

Переменный резистор, содержащий диэлектрическую подложку, на одной из сторон которой сформирован набор радиально расположенных токосъемных полосок, на поверхности которых и на подложке между ними размещен резистивный слой переменной ширины, и токосъемный контакт, расположенный с возможностью скольжения по концевым участкам токосъемных полосок, обращенных к оси вращения токосъемного контакта и образующих токосъемную область, при этом на подложке в токосъемной области между концевыми участками токосъемных полосок размещен пленочный материал, примыкающий к резистивному слою, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и уменьшения габаритов, в-качестве пленочного материала, расположенного между концевыми участками в токосъемной области, использован материал резистивного слоя, при этом его толщина не превышает толщины токосъемных полосок.