Устройство совмещения и экспонирования

 

Изобретение относится к микроэлектронике и м.б. использовано для многократного переноса изображения с фотошаблона на подложки. Цель изобретения - повьппение производительности устр-ва. На съемной платформе 16 устр-ва расположен поворотный стол с фиксаторами его угла поворота. Магазин 20 фотошаблонов установлен на опорных роликах 21, кинематически связанных с реверсивным приводом 24. Между магазином 20 фотошаблонов и транспортирующим устр-вом установлены затворы приема 14 и вьщачи 15 фотошаблонов. Время экспонирования определяется датчиком 4, расположенным на основании 1. 2 з.п.ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (П) 5 360 A t (5D 4 G 03 В 27/44

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Т 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4123199/24-10 (22) 07.07.86 (46) 23.01,89. Бюл. У 3 (72) Н.М.Кобыэев, В.Г.Лукин, А.И.Пантелеев и В.М.Ружицкий (53) 778.644 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 959020, кл. G 03 В 27/02, 1981.

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-576. — Электронная промышленность, 1978, Р 6, с. 42. (54) УСТРОИСТВО СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ (57) Изобретение относится к микроэлектронике и м.б. использовано для многократного переноса изображения с фотошаблона на подложки. Цель изобретения - повьппение производительности устр-ва. На съемной платформе

16 устр-ва расположен поворотный стол с фиксаторами его угла поворота. Магазин 20 фотошаблонов установлен на опорных роликах 21, кинематически связанных с реверсивным приводом

24. Между магазином 20 фотошаблонов и транспортирующим устр-вом установлены затворы приема 14 и выдачи 15 фотошаблонов. Время экспонирования определяется датчиком 4, расположенным на основании 1. 2 з.п.ф-лы, 3 ил.

1453360

f5 ложек 7, направляющие склизы 8 с уст-20 ройствами 9 обдува подложек 7 и фотошаблона 10, привод 11, кинематически связанный с транспортирующим устройством 12 для загрузки подложек 7 н фотошаблона 10 и аналогичным транспортирующим устройством 13 для выгрузки их, затворы 14 и 15 приема и выдачи фотошаблона, съемную платформу 16 с поворотным столом 17,фиксаторы 18 углов поворота стола 17 и блоком 19 совмещения, магазин 20 фотошаблонов, который установлен на опорных роликах 21, и водило 22, киI нематически связанное с датчиком 23 угловых перемещений, реверсивный привод 24 и фиксирующие ролики 25. На внешней части платформы 16 размещены опоры 26 для регулирования по высоте блока 19 совмещения, который установлен на цапфах 27 и 28 (фиг.2) закреп.40 ленных на платформе 16. Платформа 16, выполненная в виде сварной рамы, сое.динена с основанием 1 (не показано) и является несущей .конструкцией для блока 19 совмещения.

Устройство работает следующим об-.. разом.

Устанавливаются кассета 4 с под-. ложками 7 и приемная кассета 5. На пульте 2 управления задается номер позиции магазина.20 фотошаблонов .10.

1. Устройство совмещения и экспо нирования фотошаблона и.подложки, содержащее основание, установленные на нем осветитель и..фотодатчик контроля освещенности, подающую и приемную кассеты для подложек, их транспортирующее устройство и механизм фиксации подложки и фотошаблонов, о т55

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других областях промышленности при производстве тонкопленочных ГИС, например для многократного переноса иэображения с фотошаблона на подлож» ки.

Целью изобретения является повышение производительности.

На фиг.1 показано устройство, общий вид; на фиг.2 — вид А на фиг.1; на фиг.3 - вид Б. на фиг.1.

Устройство содержит основание 1, пульт 2 управления, осветитель 3 с фотодатчиком 4 контроля освещенности, расположенные на.основании 1, подающую и приемную кассеты 5 и б для подВключается автоматический цикл работы устройства. Привод 24 поворачивает. магазин 20 до совмещения. позиции заданного фотошаблона с транспортирующим устройством 12. Срабатывает затвор 15 и фотошаблон под действием силы собственного веса поступает на транчпортирующее устройство 12, которое подает фотошаблон 10 в блок

19 совмещения, где он фиксируется.

После фиксации фотошаблона включает" ся механизм совмещения (не.показан) .

Одновременно из. подающей кассеты 5 подложка 7 под действием. силы собственного веса поступает на направляющий склиз 8, где обдувается устройством 9 обдува и через магазин 20 поступает на нижний уровень транспортера 12, который подает подложку 7 в блок совмещения, где она фиксируется вакуумным прижимом (не. показан) в требуемом положении. Включается осве титель 3. После окончания экспонирования, время, которого определяется при помощи датчика 4, осветитель выключается и поворотный стол 17 по ворачивается в. положение выгрузки, Выключается фиксация подложки, которая.под действием силы собственного веса поступает на нижний уровень транспортирующего устройства 13., которое подает экспонированную подложку 7 через, магазин 20. в приемную кассету 6. Поворотный стол 17 возвращается в первоначальное, положение.

Циклы повторяются до подачи в блок

19 совмещения последней подложки. 7 из кассеты 5 Одновременно с подачей последней подложки 7 включается привод 24, который поворачивает магазин 20 фотошаблонов f0 до совмещения позиции, в которой находился поданный

s блок 19 совмещения фотошаблон 10, с транспортирующим устройством 13.

После окончания экспонирования пос» ледней подложки 7 поворотный стол поворачивается в положение выгрузки.

Выключается фиксация подложки 7 и фотошаблона 10, которые под действием собственного веса поступают соответственно на нижний и верхний уровни транспортирующего устройства 13, которое подает фотошаблон 10 в магазин

20, а экспонированную подложку через магазин 20 в приемную кассету 6.

Формула из обр ет ения

1453360

20 л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено расположенной на основании сьемной платформой с установленным на ней поворотным столом с фиксаторами егб угла поворота, магазином для фотошаблонов, установленным на опорных роликах, кинематически связанных с реверсивным приводом, и фиксирующих роликах, закрепленных на основании, дополнительным транспортирующим устройством, расположенным перед приемной кассетой, а также затворами выдачи и приема фотошаблонов, установленными между мага» энном фотошаблонов и соответствуюЩим транспортирующим устройством.

2, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что каждое транспортирующее устройство выполне" но в виде ступенчатых валиков, диаметр средней части каждого из которых меньше диаметра. крайних частей, при этом ширина средней части соответствует ширине подложки.

3. Устройство по п.1, о т л и.ч а ю щ е е. с я тем, что подающая и приемная кассеты, основное и допол= нительное транспортирующие устройства расположены симметрично относительно плоскости, проходящей через центр магазина фотошаблонов и под углом, совпадающим с углом вращения поворотного стола.

1453360

Составитель Б.Денисов

Техр ед М. Дидык Корректор В.Гирняк

Редактор Л.Гратилло

Заказ 7282/43 Тираж 412 Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5