Способ изготовления акселерометра

 

Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам изготовления акселерометров с упругим подвесом чувствительного элемента. Целью изобретения является повышение технологического процесса изготовления акселерометра путем исключения поломок упругого подвеса чувствительного элемента прибора на этапе сборочно монтажных работ. Указанная цель достигается тем, что перед креплением собранного узла чувствительного элемента, состоящего из пластины 3, грузиков 4, упругого подвеса 5 и рамки 6, в корпусе 1 акселерометра упругий подвес обволакивают легкоплавкой защитной смесью 10, например смесью углеводоров, а после выставки ограничителей 7 выхода чувствительного элемента дополнительно заполняют той же смесью полость 11 корпуса акселерометра, прогревают акселерометр до 70 90°С и определяют резонансную частоту акселерометра, помещают акселерометр в деионизованную воду, нагретую до 70 90°С, выдерживают, промывают акселерометр бензином, производят заполнение акселерометра демпфирующей жидкостью и затем осуществляют герметизацию прибора. Способ позволяет обеспечить предохранение от поломки упругого подвеса с ограниченной прочностью на этапе сборочно регулировочных работ. 3 ил.

Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам изготовления акселерометров с упругим подвесом чувствительного элемента. Целью изобретения является повышение технологичности процесса изготовления акселерометра путем исключения поломок упругого подвеса чувствительного элемента прибора на этапе сборочно-монтажных работ. На фиг. 1 представлен собранный акселерометр, внутренняя полость которого заполнена легкоплавкой защитной смесью; на фиг. 2 узел чувствительного элемента акселерометра; на фиг. 3 узел чувствительного элемента с упругим подвесом, залитым легкоплавкой защитной смесью. Изготавливаемый предлагаемый способом акселерометр содержит основание 1 и крышку 2, образующие разъемный корпус прибора. Внутри корпуса расположен узел чувствительного элемента, состоящий из пластины 3 с укрепленными на нем грузиками 4, упругий подвес 5 и жесткую рамку 6, установленную (например приклеиванием) на основании 1. Пластина 3 с грузиками 4 образуют чувствительный элемент акселерометра. В корпусе прибора имеются ограничители 7 хода чувствительного элеметна и технологическое отверстие 8. Способ изготовления акселерометра реализуется следующим образом. Пластину 3, упругий подвес 5 и жесткую рамку 6 узла чувствительного элемента изготавливают из единой пластины, например из пластины кремния. На пластине 3 закрепляют, например, с помощью клея 9 (см. фиг. 2) грузики 4. Упругий подвес чувствительного элемента имеет толщину порядка 25-100 мм. Для предохранения упругого подвеса от поломок в процессе изготовления акселерометра после сборки узла чувствительного элемента осуществляют обволакивание упругого подвеса легкоплавкой защитной смесью 10 (например, углеводородов) с помощью шприца. В качестве смеси углеводородов в зависимости от конфигуpации упругого подвеса целесообразно использовать твердые углеводороды, например парафин или жидкие высоковязкие, например полиметилсилоксановые. При 70-90^оС вязкость смеси по величине близка к вязкости воды, что обеспечивает проникновение парафина в профилированные участки упругого подвеса и узкие зазоры конструкции акселерометра. Далее узел чувствительного элемента устанавливают закреплением рамки 6 в основании 1 и собирают корпус акселерометра. Рабочий ход чувствительного элемента регулируют выставкой зазоров между ограничителями 7 и грузиками 4. После выставки ограничителей производят дозаполнение через технологическое отверстие 8 акселерометра легкоплавкой защитной смесью полость 11 (например, горячим парафином) с помощью шприца или воронки. Затем, предварительно прогрев акселерометр до 70-90^оС определяют резонансную частоту прибора на вибростенде. При 70-90^оС вязкость защитной смеси снижается до величины, обеспечивающей регистрацию амплитудно-частотной характеристики акселерометра. Кроме того, наличие жидкой смеси в полости акселерометра предохраняет упругий подвес чувствительного элемента от поломок при определении амплитудно-частотной характеристики прибора. После определения резонансной частоты акселерометра его опускают в емкость с горячей деионизованной водой, выдерживают в течение 5-10 мин, далее промывают последовательно в бензине и хладоне. Затем заполняют полость акселерометра демпфирующей жидкостью в зависимости от ранее определенной резонансной частоты прибора и производят герметизацию акселерометра. Использование предлагаемого способа позволит обеспечить предохранение от поломки упругого подвеса с ограниченной прочностью на этапе сборочно-монтажных работ, т. е. повысить технологичность процесса изготовления акселерометров.

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКСЕЛЕРОМЕТРА, включающий изготовление упругого подвеса чувствительного элемента, сборку узла чувствительного элемента и его крепление в корпусе акселерометра, электромонтаж, выставку ограничителей хода чувствительного элемента, определение резонансной частоты подвеса чувствительного элемента, заполнение полости акселерометра демпфирующей жидкостью и герметизацию прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности процесса изготовления путем исключения поломок упругого подвеса чувствительного элемента прибора, перед креплением узла чувствительного элемента в корпусе прибора осуществляют обволакивание упругого подвеса легкоплавкой защитной смесью, а после выставки ограничителей хода чувствительного элемента дополнительно заполняют той же смесью полость корпуса акселерометра, прогревают акселерометр до 70 90^oС и определяют резонансную частоту акселерометра, помещают акселерометр в деионизованную воду, нагретую до 70 90^oС, выдерживают, промывают акселерометр бензином, производят заполнение акселерометра демпфирующей жидкостью и затем осуществляют его герметизацию.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000

Извещение опубликовано: 27.12.2000        

---