Способ измерения толщины диэлектрических изделий

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической , химической и электронной пр01 1птенности. С целью повышения точности измерения подают на измерительный конденсатор с измеряемым изделием и компенсирующий конденсатор с эталонным изделием переменное напряжение, ток в измерительном конденсаторе поддерживают постоянным путем изменения поданного напряжения и измеряют ток в термокомпенсируклцем конденсаторе. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) (594 С 01 В 7 08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

21) 4053006/24-28 (22) 07.02.86 (46) 30.01.89. Бюл, В 4 (71) Карагандинский политехнический институт (72) М.С.Косилов, С.П.Слухаевский

В.Ф.Беженар, Н.С,Косилов, А.А.Чурсин и О.Ф.Сидорин (53) 531.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 904420, кл. G 01 В 7/12, 1980. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической, химической и электронной промышленности.

Цель изобретения — повышение точности измерения за счет получения линейной зависимости измеряемого тока от толщины изделий, На чертеже изображено устройство для осуществления предлагаемого способа.

Устройство для осуществления предлагаемого способа содержит генератор

1 переменного тока, выходное напряжение (или частота) которого может регулироваться. Генератор 1 подключен параллельно к большим электродам

2 и 3 измерительного и компенсирующего конденсаторов. Меньшие электроды

4 и 5 измерительного и компенсирующего конденсаторов соединены с вхо(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической, химической и электронной проььппленности. С целью повышения точности измерения подают на измерительный конденсатор с измеряемым изделием и компенсирующий конденсатор с эталонным изделием переменное напряжение, ток в измерительном конденсаторе поддерживают постоянным путем изменения поданного напряжения и измеряют ток в термокомпенсирующем конденсаторе, 1 ил. дами первого 6 и второго 7 преобразователей ток — напряжение с нулевым входным сопротивлением. Охранные кольца 8 и 9 подключены на "Землю".

Электроды измерительного и компенсирующего конденсаторов в виде фольги приклеены к упругим подкладкам 10 °

Эталонное изделие 12 выполнено из того же материала, что и измеряемое иэделие ll но известной толщины.

Выходы преобразователей 6 и 7 ток напряжение соединены с первым 13 и вторым 14 цифровыми вольтметрами .

Упругие подкладки прикреплены к поршням 15, расположенным в гидроцилиндрах 16.

Способ осуществляют следующим об20 разом.

Между электродами 2 и 4 измерительного конденсатора располагают измеряемое изделие 11, а между электСоставитель А. Куликов

Техред И.Ходанич

Корректор С.Черни

Редактор А.Ревин

Заказ 7446/49 Тираж 683 Под пи с но е

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r . Ужгород, ул. Проектная, 4 з 14552 родами 3 и 5 компенсирующего конденсатора располагают эталонное иэделие 12..

Создав избыточное давление в гидфоцилиндрах 16, зажимают изделия между электродами, Изменяя напряжение генератора 1 переменного тока, добиваются равенст- 10

Ва тока через измерительный конденсатор заданному значению и измеряют значение тока через компенсирующий онденсатор с помощью преобразователя 7 ток — напряжение и цифрового 15 вольтметра 14.

31

Формула из обр ет ения

Способ измерения толщины диэлектрических изделий, заключающийся в том, что помещают изделие в измерительный конденсатор, подают на измерительный конденсатор и компенсирующий конденсатор с эталонным из" делием переменное напряжение, о тличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения ток в измерительном конденсаторе поддерживают постоянным путем изменения поданного напряжения, а толщину изделия определяют по току в компенсирукщем конденсаторе,