Способ получения кремнийорганических покрытий
Способ получения кремнийорганических покрытий путем нетермической активации паров кремнийорганического мономера в смеси с инертным газом, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, в качестве кремнийорганического мономера используют гексаметилдисилоксан или гексаметилдисилазан, нетермическую активацию проводят ультрафиолетовым излучением с длиной волны 160 - 195 нм при использовании гексаметилдисилоксана или с длиной волны 160 - 230 нм при использовании гексаметилдисилазана при давлении парогазовой смеси 6 
10-2 - 50 Торр и температуре 50 - 500oC.
Похожие патенты:
Изобретение относится к деревообрабатывающей промышленности
Способ получения покрытий // 1123745
Способ получения покрытий // 1018289
Изобретение относится к лакокрасочной промышленности, в частности к способам получения покрытий, и может быть использовано для отделки изделий из металла, дерева, бумаги, картона
Установка для сушки изделий // 532733
Карусельная сушилка для штучных изделий // 423992
Патент 415467 // 415467
Изобретение относится к способу нанесения полифторуглеродного покрытия на режущий край лезвия бритвы путем покрытия края лезвия водной дисперсией полифторуглерода, а также к покрытому полифторуглеродом режущему краю лезвия бритвы
Способ получения алмазоподобных покрытий // 2111292
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания проводящих покрытий с уникальными механическими и термическими свойствами, высокой устойчивостью к химическим, электрохимическим воздействиям и воздействию окружающей среды, а также в других областях техники для создания механически прочных, износостойких и химически стойких функциональных и защитных покрытий
Изобретение относится к способу образования полифторуглеродного покрытия режущей кромки бритвенного лезвия
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания углеродсодержащих покрытий с новыми уникальными свойствами
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий, покрытий, устойчивых к химическим воздействиям и воздействию окружающей среды
Способ нанесения покрытия на режущие кромки // 2146565
Способ нанесения оптических покрытий // 2148268
Изобретение относится к нанесению оптических покрытий ионно-плазменными методами, в частности магнетронным способом, преимущественно для получения периодических оптических элементов
Способ обработки полимеров // 2154654
