Электродуговой испаритель металлов

 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретения является повышение качества покрытий за счет увеличения равномерности толщины. Устройство для нанесения покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, двух экранов 3 и поджигающего электрода 6. Положительная клемма источника 4 постоянного тока подключена через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Электродуговой испаритель работает следующим образом. При давлении в камере порядка Па включаются источники литания 4 и с помощью переключателя 5 токоподводов обеспечивается управление перемещением катодных пятен дугового разряда от одной секции анода к другой. Для предотвращения погасания дуги переключатель работает следующим образом: на первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику , на втором - одну из них, на третьем - снова обе, на четвертом - одну vi3 них и т.д. В случае погасания одной из дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и автоматически инициируется дуговой разряд. При осаждении металла на движущуюся ленту 8 материал катода осаждается на ней, образуя равной толщины покрытие. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ч)5 С 23 С 14/32

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4201369/21 (22) 07.01.87 (46) 23.12.92. Бюл. N 47 (71) Институт электроники им. У.А.Арифова и Специализированное конструкторско-технологическое бюро Института электроники

АН УЗССР (72) М; Х.Эстерлис, П.Ф.Кирсон. В,Е.Булат, Г,К;Лемищенко. А.В.Абдулов и Е.У.Гершович (56) Авторское свидетельство СССР

N. 461163, кл. С 23 С 13/06, 1972, Авторское свидетельство СССР

М 1096963, кл. С 23 С 15/00, 1982. (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ METAJl Jl0B (57) Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретения является повышение качества покрытий за счет увеличения равномерности толщины.

Устройство для нанесения покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного иэ двух электроизолированных

5U 1466264 А1 секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода. двух экранов 3 и поджигающего электрода 6. Положительная клемма источника 4 постоянного тока подключена через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Электродуговой испаритель работает следующим образом.

При давлении в камере порядка 10 -10 Па включаются источники питания 4 и с помощью переключателя 5 токоподводов обеспечивается управление перемещением катодных пятен дугового разряда от одной секции анода к другой. Для предотвращения погасания дуги переключатель работает следующим образом: на первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику, на втором — одну из них, на третьем— снова обе, на четвертом — одну из них и т.д, В случае погасания одной иэ дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и автоматически инициируется дуговой разряд. При осаждении металла на движущуюся ленту 8 материал катода осаждается на ней, образуя равной толщины покрытие. 2 ил.

1466264

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий и может найти применение в машиностроении и станкоинструментальной промышленности, Целью изобретения является повышение качества покрытий за счет повышения равномерности толщины.

На фиг. l сoхxеeм а т и чно представлена конструкция электродугового испарителя; на фиг.2 — вид по стрелке А на фиг.1.

Электродуговой испаритель состоит из катода 1, съемная часть которого выполнена из испаряемого материала. Катодом может служить стержень, пластина или протяженный тигель с помещенным в него испаряемым материалом. Вдоль катода расположен анод, состоящий из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, Между катодом

1 и секциями 2 анода с двух сторон расположены электроизолированные экраны 3.

Источники 4 постоянного тока отрицательным полюсом подключены к катоду 1 так, чтобы на его поверхности обеспечить поле одинакового потенциала, а положительным полюсом подключены через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Поджиг дуги осуществляется с помощью поджигающего электрода 6. который через токоограничивающее сопротивление 7 подключен к .положительному полюсу источника 4, Нанесение покрытия осуществляют на движущуюся перпендикулярно продольному катоду ленту 8. Отключение злектродугового испарителя осуществляется с помощью выключателя 9.

Электродуговой испаритель металлов работает следующим образом.

8 технологической камере создается рабочее давление 10 -10 Па. Включаются источники 4 питания дуги. При помощи поджигающего электрода 6 инициируется дуговой разряд между катодом 1 и каждой секцией 2 анода. Переключатель 5 токоподводов обеспечивает управление перемещением катодных пятен на катоде, принуждая их перемещаться от одной секции анодов к другой.

5 Для предотвращения возможности погасания дуги переключатель 5 работает следующим образом. На первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику 4 тока, на втором — одну из них, на

"0 третьем — снова обе, на четвертом — вторую их них и т,д. 8 случае погасания одной из дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и осуществляется автоматическое инициирование дугового разряда. При осаждении ме15 талла на движущуюся ленту 8 материал расходуемого катода осаждается на ней, образуя покрытие равной толщины.

Переключение токоподвода к секциям анода обеспечивает повышение качества

20 покрытий вследствие равномерного распределения катодных пятен в зазоре между секциями анода, что соответственно обеспечивает равномерное истечение парового потока в пространство и равномерное его

25 осаждение на движущейся подложке. При осаждении материала катода:на подложку, движущуюся перпендикулярно размещению продольного катода, образуя покрытие равной толщины, З0 Формула изобретения

Злектродуговой испаритель металлов, содержащий расходуемый протяженный катод, аноды с токоподводами, размещенные. вдоль катода, экраны и поджигающий элекЗ5 трод, отл ича ющи йс ятем,что, с целью повышения качества покрытий, аноды выполнены в виде двух секций, каждая из которых размещена симметрично по обе стороны катода, причем каждый анод снаб40 жен источником питания и переключателем токоподводов с возможностью последовательного попарного подключения секций к источнику питания и последующего подключения каждой из них, 1466264 авиа 2

Составитель В. Милославская

Редактор В. Трубченко .Техред М.Моргентал . Корректор М. Куль

Заказ 567 Тираж . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101