Вакуумный молекулярный насос

 

Изобретение позволяет повысить экономичность насоса путем сокращения времени выхода на режим. В период прогрева насоса и увеличения потока откачиваемого газа увеличивается угол установа лопаток 5. Это происходит за счет различия в коэффициентах теплового расширения лопаток 5 и установленных на их кромках накладок 9. 3 з.п.ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„,Я0„„1481478 А 2 (51)4 F 04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

ЕНИ

OMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Н ABTOPCH

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (61) 1240957 (21) 4312308/25-29

° (22) 05.10.87 (46) 23.05.89. Вюл. Р 19 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов и В.Н.Христачев (53) 621.521 (088 ° 8) (56) Фролов Е.С. Турбомолекулярные вакуумные насосы. — M.; Машиностроение, 1980, с.7, рис.3.

Авторское свидетельство СССР

N 1240957, кл. F 04 D 19/04, 1984.

2 (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет повысить экономичность насоса путем сокращения времени выхода на режим. В период прогрева насоса и увеличения потока откачиваемого газа увеличивается угол установа лопаток 5. Это происходит за счет различия в коэффициентах теп-. лового расширения лопаток 5 и установленных на их кромках накладок 9.

2 з.п. ф-лы, 2 ил.

1481478

Изобретение относится к насосостроению, а именно к конструкции .высоковакуумных насосов, и является усовершанствованиам известного насоса по авт.св. Р 1240957.

Цель изобретания — повышание экономичности путам сокращания времани выхода на режим.

На фиг,1 представлан молекулярный насос, продольный разрез; на фиг.2— лопатки роторных дисков с накладками, установланными на внешних кромках.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и размащенные в нем роторные 2 и статорныа 3 диски. Пос ледниа имеют на боковых повархностях спиральные канавки 4, причем роторные диски 2 снабжены по парифарии лопатками 5 с внешними 6 и внутренними 7 кромками (фиг.2). Зазор между статорными дисками 3 образован при помощи проставочных колец 8 между ними, которые могут быть выполнаны в вида обода на парифарии статорных 25 дисков 3. На кромках 6 и 7 лопаток

5 роторных дисков 2 установлены накладки 9, выполненные из материала с коэффициантом теплового расширения, отличным от коэффицианта теплового расширения лопаток 5. Накладки с коэффициентом теплового расширения маньшим, чам у лопаток 5, установланы на внешних кромках 6 лопаток 5 (фиг.2), а накладки с большим, чам у матариала лопаток 5, коэффициантом теплового расширения (на показаны) установлены на внутренних кромках 7 лопаток 5.

Насос работает сладующим образом.

Роторные диски 2 приводятся во вращение, откачиваемый газ по спиральным канавкам 4 статорных дисков

3 перемещается от центра к периферии насоса, а затем от периферии к центру. Далае процесс повторяется на каждой ступени откачки и газ перемащается со стороны всасывания на сторону нагнетания.

Для. обезгаживания насос nporpeaaezcs внешними пачами цо, 400 С. При этом резко возрастает поток газа с поверхности проточной части насоса и откачиваемого объема. Поскольку накладки 9 и лопатки 5 имеют различные коэффицианты теплового расширания, при нагреве они по-разному удлиняются. 3а счет появления момента сил лопатки 5 разворачиваются в сторону уваличания угла установа, что обаспачивается соответствующим расположением накладок 9. При этом производительность насоса возрастает, а врамя, за котороа удаляется газ, сокращаатся.

После окончания обезгаживания и выключания прогрева насос остывает и лопатки 5 возвращаются в исходное положание, котороа выбрано оптимальным для достижения трабуемого вакуума.

Формула изобретения

1 ° Вакуумный молекулярный насос, по авт.св. Р 1240957, о т л и ч а— ю шийся там, что, с целью повышения экономичности путем сокращения времени выхода на режим, на кромках лопаток установлены накладки выполс

Э ненные из матариала с коэффициентом таплового расширения, отличным от коэффицианта теплового расширения лопаток.

2. Насос по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что накладки, выполненныа из материала с меньшим коэффициентом теплового расширения, чем у материала лопаток, установлены на внешних кромках лопаток.

3. Насос по п.2, о т л и ч а ю— шийся там, что накладки, выполненные из матариала с большим коэффициентом таплового расширения, чем у материала лопаток, установланы на внутранних кромках лопаток.

1481478

Составитель Ю. Никитченко

Техред Л.Сердюкова Корректор O.Кравцова

Редактор И.Дербак

Заказ 2658/36 Тираж 523 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д . 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 1