Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника

 

Изобретение может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок. Цель изобретения - повышение точности процесса измерения - достигается за счет введения дополнительной операции измерения участка цепи контактного соединения, образованного проволочным выводом и пленочным проводником. Согласно данному способу измеряют сопротивление участка проволоки заданной длины путем подсоединения к проволоке пары зажимов, измеряют сопротивление участка тонкопленочного проводника также заданной длины путем установки на пленке пары щупов, затем определяют длины участков проволоки и тонкопленочного проводника от контактного соединения, равные половине от первоначально заданных, измеряют сопротивление цепи: половина участка проволоки - контактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника, путем подсоединения к ним первого зажима и первого щупа и измеряют сопротивление участка цепи: половина участка проволоки - контактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника путем подсоединения к ним второго зажима и второго щупа, а сопротивление контактного соединения определяют по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (> пГ

Г

° 1г т (:.. 4 !!-. !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

Г% И ГКНТ СССР (21) 4296087/24-21 (22) 11.08.87 (46) 07 . 07 .89. Бюл . М 25 (72) Д. Т. Дяч ок, В .А. Павлиш, Я.М, Сенишин и Л.M. Смеркло (53) 621 .317.75(088 8) (56) Ющук С.M., Попенко А.И. Измерение электросопротивления тонкопленочнЫх контактов. — Заводская лаборатория. 1973 М 4, с. 450.

Авторское свидетельство СССР

9 1250982, кл. G 01 R 27/00, 1984. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТНОГО СОЕДИНЕНИЯ ПРОВОЛОКИ

И ТОН КОПЛЕНОЧНОГО ПРОВОДНИКА (57) Изобретение может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок.

Цель изобретения — повышение точности процесса измерения — достигается эа счет введения дополнительной операции измерения участка цели контактного соединения, образованного проволочным выводом и пленочным провод—

Изобретение относится к электротехнике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок.

Цель изобретения — повышение точности определения сопротивления контактного соединения.

„„SU„„1492309 д1 (51) 4 С О1 R 27/00 ником. Согласно данному способу измеряют сопротивление участка проволоки заданной длины путем подсое— динения к проволоке пары зажимов, измеряют сопротивление участка тонкопленочного проводника также заданной длины путем установки на плейке пары шупов, затем определяют длины участков проволоки и тонкопленочного проводника от контактного соединения, равные половине от первона— чально заданных, измеряют сопротивление цепи: половина участка проволоки — контактное соединение — половина участка тонкопленочного проводника, путем подсоединения к ним первого зажима и первого щупа и измеряют сопротивление участка цепи: половина участка проволоки — контактное соединение — половина участка тонкопленочного проводника путем подсоединения к ним второго зажима и второго щупа, а сопротивление контактного соединения определяют по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил .

На чертеже схематически изображен

4 объект измерения.

Согласно чертежу проволока 1 че.— рез контактное соединение 2 соединена с тонкопленочным проводником

3, расположенным на подложке 4, причем 5 и 6 — места подсоединения зажимов измерительного прибора к проволоке I, а 7 и 8 — места установ!

4с»2309

15 виде

Кл < R к39

Виде

Клщ< 1 Клщ2

45 водник, соответствующих 1 -му и 2-му ки щупов нл тонкс><шеи чном провод—

<гике 3.

Определение сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника осуществляется следующим образом.

Измеряется «.>протинлег<ие R < отдельного участка проволоки 1 путем подсоединения к ней двух зажимов нл заданном расстоянии 1» . Проводится замер сопротивления нл изме— ритепьном приборе и регистрируется измеренный результат. При этом ре— зультлт измерения представляется в

+ R»1q +RлР + Rw 2 + R <>P (1) где R », К<2 — сопротивления 1-го и 20

2-го зажимов соотнетственно, — переходные сопротивпения контактов зажжим — проволока, со- 25 отнетстнующих 1 -му и

2-му зажимам, R„p — сопротивление участка проволоки.

Измеряется сопротивление Х<> отдель-30 ного участка тонкопленочного проводника 3 путем установки на пленку двух щупов нл злданном расстоянии 1.

Проводится замер сопротинления измерительным прибором и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения представляется в

R < + R„<2 +R„ <+R„ 2+R„„> (2) 40 где Кщ», R «<,2 — сопротивление 1-го и 2-г о щупов соотнетственно, переходные сопрот><вления контактов щуптонкопленочный прощупам, R«>, — сопротивление участка тонкопленочного проводника.

Далее последовательно измеряются сопротивления К и К4 участка цепи проволока 1 — контактное соединение 2 — тонкопленочный проводник 3, путем соответствующего подсоединения 1 ãо ипи Р-го зажимов к проволске 1 нл рлсс гоянии 1

» о1 »« 1л

2 контлктн ого соединс ния 2 и сс><>тне гствующей устлнон< и 1-гс или 2-г<> щупон на ппег<очг<ь>й< провод><<<к 3 нл

pace r<>ftHHH — 1 OT ME. cT;l контлктггог r>

2 соединения 2. Проводится злмер сопротивления измерительным прибором

И РЕГИСтРИРУЕтСЯ ИзМЕРЕННЫй РРЗУЛЬ— тат.

При этом результаты измерения можНо представить в виде

1 1

R 3 R1< R«<» 2 г<р 2 <>Л

+ К..„+ R„,<, (3) 1 1

2 + КЛР+ КпР + R + Кпл+

3 2 2

Клщ2+ +R ш 2, (4) где К)<,2 R»<<1<,2 R «p > R „„е

К„„, Кщ < 2 — coc l

R — сопротивление контактного соединения.

Суммируя уравнения (3) и (4) с соответствующей подстанонкой в их правые части значений из (1) и (2), находят сопротивление контактного соединения.

Таким образом, сопротивление контактного соединения находят, пронедя четыре отдельных замера. сопротивления участка проволок<» Rg, сопротивления участка тонкопленочного проводника Rqи сопротивления участка цепи половина участка проволоки контактное соединение — половина участка тонкопленочного проводника при соответствующем подключении к ним пары измеритеЛьных зондов: 1-й зажим и 1-й щуп и пары измерительных зондов . 2-й зажим и 2-й щуп R л и R4 по формуле

2(К, + R4 — К вЂ” КЯ) (5) Для обеспечения необходимых расстояний при установке зондов используют инструмент или прибор для измерения линейных размеров, например микроскоп УИИ-23.

При использовании предлагаемого способа повь<пгается точность опреде! <9 230$

J1< ния «.ч<р< тинл< ttlttl, It/«>ll< н < ных< ла

t <>дняlx tt << отанл<<в;« Mtitx l < 1 p«tt(тtt также удешевляется проне< с иэгот ив ления измерительных эонлон.

««д<. оединенпя измерителя сс противления через второй зажим и второй щуп, а сопротивление контактного соединения определяют по формуле б — 2®q+ R

Ф о р м у л а и э о б р е т е н и я гле В< — измеренное сопротивление участка проволоки;

Rq — измеренное сопротивление участка тонкопленочного проводника;

R1 — сопротивление участка цепи: половина участка проволоки — контактное соединение — половина участка тонкопленочного ночного проводника измерителя сопро— половнна участка проволоки — кон— тонкопленочного проводника путем

Составитель В. Бобров

Техред А. Кравчук КорректорИ. Горная

Редактор И. Горная

Заказ 3873/48 Тираж 713 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина,101

Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника, эаклю10 чающийся в том, что измеряют сопротивление участка проволоки путем подсоединения к участку проволоки измерителя сопротивления через пару за15 жимов, измеряют сопротивление уч ас тка тонкопленочного проводника путем подсоединения к участку тонкоплетивления через пару щупов, из20 меряют сопротивление участка цепи: тактное соединение — половина участка тонкопленочного проводника путем подсоединения измерителя сопротивления через первый зажим и первый щуп, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что с целью повышения точности,измеряют сопротивление участка цепи: половина участка проволоки — контактЭО ное соединение — половина участка проводника, измеренное путем подсоединения к ним измерителя сопротивления через первый зажим и первый щуп;

R