Устройство для измерения комплексной проводимости

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля параметров двухполюсников. Целью изобретения является повышение точности и расширения функциональных возможностей. Устройство содержит блок 1 управления, три генератора 2, 7, 9, десять усилителей 3, 12, 16, 20, 27-29, 33, 36, 42, пять смесителей 4, 8, 14, 31, 32, шесть фильтров 5, 6, 10, 13, 25, 46, преобразователь 11 напряжения в частоту, делитель 15 частоты, источник смещения, три источника 18, 34, 52 опорного напряжения, два нуль-органа 19, 51, измерительный конденсатор 21, клеммы 22, два конденсатора 23, 24, пять синхронных детекторов 26, 44, 45, 49, 50, два фазовращателя 30, 43, три Д-триггера 35, 39, 40, два переключателя 37, 47, два сумматора 38, 41 и потенциометр 48. Устройство обеспечивает автоматическую подстройку частоты, амплитуды и фазы испытательного сигнала, что позволяет создать оптимальные условия для измерения комплексной проводимости, добротности. Потенциометр 48 с градуированным лимбом позволяет осуществлять допусковой контроль по заданному отклонению измеряемого параметра при заданном напряжении смещения, частоте или в диапазоне частот. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИК

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11). (51) 4 G 01 R 27/26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (6!) 1257566 (21) 4134123/24-21 (22) 18.06.86 (46) 23.07.89. Вюл. й.- 27 (71) Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР и Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР (72) В.И.Усик, Г.С.Усик и В. А. Тальппев ,(53) 621.317.33(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

119 1257566, кл. G 01 R 27/26,.1986.

° (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОМП ЛЕКСНОЙ ПРОВОДИМОСТИ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля параметров двухполюсников. Целью изобретения является повьппение точ. ности и расширение функциональных возможностей. Устройство содержит блок 1 управления, три генератора 2, 7, 9, десять усилителей 3,12,16,20, 27-29,33,36,42,.пять смесителей 4, 8,14 31,32, шесть фильтров 5,6,10,13, 25,46, преобразователь 11 напряжения в частоту, делитель 15 частоты, ис5722

10

3 I49 точник 17 смещения, три источника IS

34, 52 опорного напряжения, два нульоргана 19, 51, измерительный конденсатор 21, клеммы 22, два конденсатора 23, 24, пять синхронных детекторов 26,44,45,49,50, два фазовращателя 30, 43, три D-триггера 35, 39, 40, два переключателя 37, 47, два сумматора 38, 41 и потенциометр 48. Устройство обеспечивает автоматическую подстройку частоты, амплитуды и фазы испытательного сигнала, что позволяет создать оптимальные условия для измерения комплексной проводимости, добротности. Потенциометр 48 с градуированным лимбом позволяет осуществлять подпусковый контроль по заданному отклонению измеряемого параметра при заданном напряжении смещения, частоте или в диапазоне частот. 1 ил.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, может быть использовано для автоматического измерения и контроля параметров двухполюсников, в частности для измерения комплексной проводимости полупроводниковых структур (ИДИ, диоды, варикапы, барьеры Шотки, фотодиоды, транзисторы и др.) в зависимости от величины поляризующего напряжения и частоты тест-сигнала, и является усовершенствованием устройства по авт. св.М 1257566.

Целью изобретения является увеличение точности измерений и расширение функциональных возможностей путем обеспечения допускового контроля по заданному параметру.

На чертеже приведена блок-схема устройства.

Устройство содержит блок 1 управления, перестраиваемлй генератор 2 высокой частоты, регулируемый усилитель 3, первый балансный смеситель

4, второй фильтр 5 низких частот, первый RC-фильтр 6, второй генератор

7, четвертый балансный смеситель 8, первый генератор 9, первый фильтр 10 низких частот, преобразоЪатель ll частота — напряжение, первый усилитель 12 постоянного тока, третий

RC ôèëüòð 13, пятый смеситель 14, делитель 15 частоты, усилитель 16, источник 17 смещения, первый источник 18 опорного напряжения, первый нуль-орган 19, третий селективный . . усилитель 20, измерительный конденсатор 21, клеммы 22 для подключения измеряемой комплексной проводимости, нагрузочный конденсатор 23, эталонный конденсатор 24, второй RC-фильтр

25, пятый синхронный детектор 26, первый 27 и второй 28 широкополосные усилители, второй усилитель 29 постоянного тока, управляемый фазовра-. щатель 30, второй и третий балансные смесители 31 и 32, первый селективный усилитель 33, второй источник 34 опорного напряжения, третий D-триггер 35, второй селективный усилитель

36, первый переключатель 37, второй сумматор 38, первый D-триггер 39, второй D-триггер 40, первый сумматор

41, линейно регулируемый усилитель

42, фазовращатель 43, первый 44 и третий 45 чинхронные детекторы, четвертый RC-фильтр 46, второй переключатель 47, линейно регулируемый потенциометр 48, второй и четвертый синхронные детекторы 49 и 50, второй нуль-орган 51, третий источник 52 опорного напряжения.

Блок 1 управления соединен с входом перестраиваемого генератора 2, выход генератора подключен к второму входу четвертого балансного смесителя 8 и к первому входу первого балансного смесителя 4, выход которо40 го соединен с входом первого фильтра

10 низких частот, выход фильтра 10 подключен к входу усилителя 16, первый выход которого подключен к входу преобразователя 11 частотанапряжение и является выходом для регистрации частоты,. выход преобразователя 11 служит для подключения к внешнему регистратору, выход усилите". ля 16 подключен к первому выводу из50 мерительного конденсатора 21, первой клемме 22 и первому выходу источника

17, второй выход которого служит для регистрации напряжения, второй вывод конденсатора 21 подключен к входу второго широкополосного усилителя

28 и к первому выводу эталонного конденсатора 24, второй вывод которого подключен к общей шине, выход второго широкополосного усилителя 28 соеУстройство работает следующим образом.

Высокочастотный сигнал с выхода кварцевого генератора 9 с частотой

f, = Q, j2 п (например, 5 мГц) поступа45 ет на второй вход смесителя 14, на первый вход которого поступает напряжение с выхода автоподстраиваемого генератора 7, частота которого может регулироваться в небольших пределах изменением напряжения на регулирующем входе f =Я /2ii = 5 мГц (0-200 Гц). С второго выхода кварцевого генератора 9 сигнал с частотой:Q, поступает на вход делителя 15 частоты, где происходит деление частоты Я, с коэффициентом 2 по третьп — 1 ему выходу, 2 — по первому выходу п-2.

2 — по второму выходу. Таким обра5 1495 динен с первым входом третьего балансного смесителя 32, второй выход которого подключен к второму входу второго балансного смесителя 31 и через фильтр 5 низких частот — к выходу четвертого балансного смесителя

8, первый выход третьего балансного смесителя 32 соединен с входом первого селективного усилителя 33, выход lð которого соединен с входами фазовращателя 43 и сумматора 38, первый вьг ход сумматора 38 соединен с общей шиной, а второй — с первыми входами первого и второго синхронных детек- 15 торов 44 и 49, выход второго синхронного детектора соединен с первым входом первого усилителя 12 постоянного тока, второй вход которого соединен с выходом источника 18, выход усили- 20 теля 12 соединен с входом первого

RC-фильтра 6, выход которого соединен с вторым входом. регулируемого усилителя 3, выход усилителя 3 подключен к второму входу первого балансного смесителя 4, а вход соединен с первым выходом первого генератора 9,втоipoH выход которого соединен с входом делителя 15 частоты, а третий выходс вторым входом смесителя 14, первый 30 выход делителя 15 .подключен к входу

D-триггера:.35, второй выход — к первому входу управляемого фазовращателя 30, третий выход подключен к второму входу пятого синхронного детектора 26 и D-входам первого и второго D-триггеров 39 и 40, выход первого D-триггера 39 подключен к вторым входам второго и четвертого синхронных детекторов 49 и 50, выход второго D-триггера подключен к вторым входам первого и третьего синхронных детекторов, выход третьего синхронного дететора 45 служит для подключения к внешнему регистратору, . выход управляемого фазовращателя 30 подключен к входу С третьего D-триггера, первый выход которого соединен с входом С первого D-триггера 39, а второй выход — с входом С второго

D-триггера 40. Первый вход усилителя

29 соединен с выходом первого син-,. хронного детектора 44, второй вход— с выходом источника 34 опорного напряжения, а выход через RC-фильтр

25 — с вторым входом управляемого фазовращателя 30, выход четвертого синхронного детектора 50 является вы722 6 ходом для регистрации измеряемой «мкости и через соеди нные последоо-*тельно нуль-орган 51 u RC-фильтр 46 подключен к первому выводу переключателя 47, второй вывод переключателя

47 соединен со средним выводом линей-. но регулируемого потенциометра 48, один вЬ|вод которого соединен с вы.ходом источника 52 опорного напряжения, а другой — с общей шиной, третий вывод переключателя 47 является выходом для регистрации измеряемой емкости и соединен с первым входом усилителя 42, второй вход которого соединен с выходом фаэовращателя 43, а выход — с первым выводом переключателя 37, второй вывод переключателя 37 соединен с общей шиной, а третий вывод — с первым входом сумматора 41 выход которого соединен с вторыми входами третьего и четвертого синхронных детекторов 45 и 50, а второй вход через усилитель 36 соединен .с выходом второго балансного смесителя 31, первый вход которого через усилитель 27 соединен с второй клеммой 22 и первым выводом нагрузочного конденсатора 23, вторым выводом подключенного к общей шине, выход смесителя 14 через усилитель 20 соединен с первым входом синхронного детектора 26, выход которого через последовательно соединенные нуль-арган 19 и RC-фильтр 13 подключен к входу автоподстройки генератора "7, выход которого соединен с первым входом балансного смесителя 8 и вторым входом смесителя 14.

7 14957 н зом, имеем на первом выходе I« f=f, /2 на втором 2lif=f< /2, на третьем

П-1

4 h f = f, /2" „Си гнап с перво го выхода делителя 15 поступает на второй вход пятого синхронного детектора 26.

Сигналы с частотами (2,, Я поступа" ют на входы смесителя 14, разностная частота у, - Я выделяется селективным усилителем 20 и далее посту- 1р пает на первый вход синхронного де" тектора 26, на второй вход которого поступает опорное напряжение с частотой рСО, сигнал с выхода синхронного детектора 26 и через нуль-орган 15

19 и RC-фильтр 13 поступает на регулируюший вход автоподстраиваемого генератора 7, замыкая цепь отрицательной обратной связи автоподстройки частоты генератора 7. Обратная 2Q связь работает таким образом, что разностная частота на выходе смесителя 14, поступающая на первый вход синхронного детектора 26, через селективный усилитель 20 поддерживает- 25 ся,равной спорной частоте, поступающей на второй вход синхронного детектора 26, сигнал на выходе синхронного детекторе 26 через нуль-орган

19 и RC-.ôèëüòð 13 поддерживается 3О равным нулю. Это означает, что разностная частота равна опорной частоте du и частоте У генератора 7, которая поддерживается равной CQ< ==И, — hag с большой точностью.

Сигнал- с частотой Ю< от кварцевого генератора 9 через регулируемый усилитель 3 поступает на второй вход балансного смесителя 4, на первый вход которого поступает высокочастот- 40 ный сигнал от перестраиваемого генератора 2, частота которого может авю томатически (или в ручном режиме) изменяться от я до СО» (например, от

5 до 8 мГц), что обеспечивается блоком 1 управления.

После смешивания в балансном смесителе 4 и прохождения через фильтр

10 на входе выходного усилителя 16 появится сигнал, частота которого равна Я и может автоматически изменяться от Ы<, = И .— Я, ро Mв = Я»

-И„ таким образом на выходе усилителя 16 и на клемме 22 появится напряги« Р A 55 жение UA ° е е, где Up - амплитуда переменного сигнала, которая может регулироваться изменением ампли; туды сигнала частоты (,1,, поступаюше22 го на второй вход балансного смесителя 4 через регулируемый усилитель

3, а Ц вЂ” фаза этого сигнала.

Напряжение высокочастотного сигнала с выхода перестраиваемого генера-. тора 2 также поступает на второй

I вход балансного смесителя 8, на первый вход которого поступает напряжение с частотой Я = Я, — ЬИ с выхода генератора 7, после смешивания в балансном смесителе 8 и прохождения через фильтр 5 низких частот на вторых входах балансных смесителей 31 и

32 появляется сигнал, частота которого равна Я + АИ и может изменяться в следующих пределах:

1 ,Цч — ь - д =(з Ы< + d> и 1

+ =+4 + ЬИ =

Сизм

С выхода усилителя 28 усиленный сигнал с частотой Я (И„(О сЯз) поступает на первый вход третьего балансного смесителя 32, на второй вход котороro поступает напряжение с выхода фильтра 5 низких частот.

Сигналы смешиваются в балансном смесителе 32 и с его выхода сигнал поступает на вход селективного усилителя.33, где происходит выделенйе частоты (Я +dQ )- И = ЬИ .

Таким образом, на выходе селективного усилителя 33 появляется напряжение с частотой dQ равное

С, t Ч в i И(G)) — е е А(сд)е (3) c. 7

Сэт < р где U — — и е " — соответственно

Спазм амплйтуда и фаза сигнала на входе широкополосного усилителя 28, а множители А(Я) и dqt (Q) определяют ам- плитудно-частотную и фазочастотную.

1495722

10 харак терис тики трак то в усиления и преобразования частоты. Это напряжение через первый вход сумматора 38 поступает на первые входы первого и второго синхронных детекторов 44 и

49. Второй вход второго сумматора

38 соединен с общей шиной устройства.

С первого выхода делителя 15 частотыы сигнал с часто той 2 ц по ступает на вход D-триггера 35, где синхронизирует по фазе сигналы управления триггерами 39 и 40. С третьего выхода делителя 15 частоты сигнал с частотой 2 bg поступает на второй вход управляемого фазовращателя 30, с выхода которого управляемый по фазе сигнал с частотой 4 bQ подается на вход С триггера 35. На выходах триггер 35 имеет противофазные сигналы с частотой 2hQ управления триггерами 39 и 40. На входы D триггеров

39 и 40 подан сигнал синхронизации с частотой bQ с третьего выхода делителя 15 частоты. На выходах тригге-, ров 39 и 40 имеем два меандра с частотой 5Q фазовый сдвиг между которыми составляет 90 и сохраняется о строго постоянным при работе фазовой автоподстройки. Таким образом, на вы" ходах триггеров 39 и 40 присутствуют два квадратурных сигнала с частотой

bQ „ сигнал с выхода триггера 39 поступает на вторые входы синхронных детекторов 49 и 50, а сигнал с выхода триггера 40, сдвинутый на 90, поступает на вторые входы синхронных детекторов 44 и 45.

Синхронный де тек то р 44 настроен . на активную компоненту сигнала так, что на его выходе появляется постоянное напряжение, пропорциональное

11, ° А(сд) - sin (q>„+by ((д)). (4)

С изм

Это напряжение поступает на усилитель 29 постоянного тока, где сравнивается с опорным напряжением, поступающим от источника 34 опорного напряжения. Величина опорного напряжения источника 34 не превьппает

+ 5 мВ и служит для компенсации напряжения смещения усилителя 29. Сигнал рассогласования усиливается усилителем 29 и через RC-фильтр 25 поступает на управляющий вход фазовращателя 30, замыкая цепь отрицательной обра!.Ной связи фазовай авто"1сдстройки.

Обратная связь работает таким образом, чтб напряжение па выходе синхронного детектора 44 поддерживается равным нулю, т.е. выполн ется условие

П„А(а) - — cos ((PA +q (у)), Сизм что с учетом (5) равно

U A(Q)

Сэт (6)

Сиам

Это постоянное напряжение поступает иа первый вход усилителя 12 но30 стоянного тока, где сравнивается с опорным напряжением источника 18 опорного напряжения, и через RC- н фильтр 6 поступает на второй регулирующий вход усилителя 3, изменяя в небольших пределах его усиление и соответственно величину сигнала с частотой Я,, поступающего на второй вход балансногс смесителя 4 от генератора 9, и замыкая отрицательную

40 обратную связь автоподстройки амплитуды. Эта связь работает таким образом, что напряжение на выходе синхронного детектора 49 поддерживается равным опорному от источника 18

45 опорного напряжения с точностью лучше О,IX или, учитывая, что С г и С„ постоянные величины, имеем на выходе синхронного детектора 49

U А(63) = const. (?) Таким образом, нелинейность амплитудно-частотной характеристики усилительных н частотопреобразовательных блоков, а также нестабильность амплитуды кварцевого генератор и неидеальность передаточной характеристики фильтров 5 и 10 низких з1п (Cp< +б ср (Ц) ) =0; СР< +he)(43) =0, (5) так что набег фазы в усилительных трактах bq (с ) при изменении частоты сигнала автоматически компенсируется изменением фазы управляемого

15 фазовращателя на частоте 4 56) и соответственно фазы опорных квадратурных сигналов с частотой bQ.

Синхронный детектор 49 настроен на реактивную компоненту сигнала

20 так, что на его выходе появляется напряжение, пропорциональное

5722

10 () 0

ll 149 частот автоматически компенсируются изменением a>"плитуды тест-сигнала на первой клемме 22 вследствие изменения напряжения с частотой (11,, поступающего на второй вход балансного смесителя 4 через регулируемый усилитель 3 от кварцевого генератора 9.

Одновременно сигнал с выхода усилителя 16 поступает на измеряемый дяухполюсникх при этом на нагрузочном конденсаторе 23, емкость которого выбирается в зависимости от емкости С» измеряемого двухполюсника и требуемой точности измерений, возникает напряжение, пропорциональное току, текущему через измеряемый двухполюсник, так что напряжение на второй клемме равно

1 Я t 1 Р4 1

U .11 е е, " — (С вЂ” iG /Q). (8) с С м к о

С выхода широкополосного усилителя 27 усиленный сигнал частоты

41 cQ сЯ поступает на первый вход балансного смесителя 31, на второй вход которого поступает напряжение с выхода фильтра 5 низких частот. Сигналы смешиваются в балансном смесителе 31 и с выхода смесителя сигнал поступает на вход селективного усилителя 36, где происходит выделение частоты Ы . Таким образом, на выходе усилителя 36 появляется сигнаЛ с частотой 1(Q» равный

14ßt,Ц „

U ° А((,1) е е ° — х

Ceo

1Ь|(Сд) (С„- iG„/О) е

Это напряжение с выхода селективного усилителя 36 через первый вход сумматора 41 поступает на первые входы синхронных детекторов 45 и 50.

На вторые входы синхронных детекторов

45 и 50 поступает опорное квадратурное напряжение с выходов триггеров

39 и 40. Второй вход сумматора 41 через переключатель 37 соединен с общей шиной устройства. !

Работа и настройка детекторов 45 и 50 полностью аналогична работе в настройке соответственно детекторов

44 и 49. Синхронный детектор 50 (аналогично детектору 49) настроен на реактивную компоненту сигнала так, что на его выходе имеет место постоянное напряжение

12

,А(Ы) (С„с..(«„+><(«q /„, "sin (P„+b,× (СД)), (10)

Синхронный детектор 45 (аналогич,но детектору 44) настроен на активную компоненту сигнала так, что на

lего выходе имеет место постоянное ,напряжение, равное

UA А(И)(C„sin (Cp4+(P(M))+Gê Йд "

i cos (1 „+ Ь(р (Я)) . (11) Так как каналы, содержащие усилитель 28, смеситель 32, селективный усилитель 33 и сумматор 38, и усилитель 27, смеситель 31, селективный усилитель 36, сумматор 41 выпол" иены идентичными, и учитывая выполнение условий (5) и (7), при изменейии частоты переменного тест-сигнала имеем на выходе синхронного детектора 45 согласно (11) сигнал, пропорциональный (GÄ(Q)), а на выходе синхронного детектора 50 согласно (10) " сигнал, пропорциональный С».

При измерении зависимости С» измеряемых объектов с большой добротностью на измеряемой частоте, когдаизмеряемый сигнал, пропорционалъный проводимости, в 10-100 раз меньше емкостного сигнала, амплитуда которЬго изменяется в больших пределах, к синхронному детектору 45 предъявляются очень высокие требования в отношении разделения малого сигнала проводимости на фоне большого, изменяющегося по амплитуде сигнала, определяемого емкостью измеряемого объекта.

Для повышения точности измерений

С ((д) сигнал с выхода селективного усилителя 33,. определяемый из (3) с учетом (7), через фазовращатель 43, линейно регулируемый усилитель 42 и переключатель 37 подается на первый вход первого сумматора 41. При этом на первом входе сумматора 41 появится напряжение

G» t (94- 1 Iq(<)

U †-- Ке е А(Я)е

С иэм

= — const К, (12) где («4- 4) — условие, обеспечиваемое фазовращателем 43, а К вЂ” коэффициент передачи усилителя 42, величину которого можно регулировать, изменяя напряжение на его втором входе.

13 14

Коэффициент передачи К усилителя

42 изменяется прямо пропорционально напряжению на его втором регулирующем входе, которое поступает через переключатель 47 с выхода RC-фильтра 46, вход которого через нуль-орган 51 соединен с выходом четвертого синхронного детектора 50, замыкая цепь отрицательной обратной связи фазовой автоподстройки, поддерживающей напряжение на выходе синхронного детектора 50 равным нулю.

Напряжение с выхода синхронного детектора 50 поступает на вход нульоргана 51, который вырабатывает сигнал ошибки и через фильтр 46 и переключатель 47 поступает на второй вход линейно регулируемого усилителя

42, изменяя его коэффициент усиления таким образом, чтобы напряжение на выходе синхронного детектора 50 поддерживалось равным нулю, т.е. выполнялось условие

-const К = — —--А(Я) Cx (13)

С о

Тогда из (13) К Gq и с учетом линейно регулируемой характеристики усилителя 42 напряжение с выхода переключателя 47 пропорционально емкости G и поступает на вход регистратора. Из (9) с учетом (13) напряжение, поступающее на вход синхронного детектора 45, при этом пропорционально только проводимости G продетектированное напряжение Gv/ с выхода синхронного детектора 45 поступает на внешний регистратор.

При переключении переключателя 47 на второй вход линейно регулируемого усилителя 42 подается напряжение со среднего вывода линейного потенциометра 48, первый вывод которого соединен с источником 52 опорного напряжения, а второй — с общей шиной устройства. Потенциометром 48,лимб которого проградуирован в значениях измеряемой емкости, устанавливают на выходе синхронного детектора 50 напряжение, равное нулю. Изменяя частоты тест-сигнала блоком 1 управления,можно регистрировать малые изменения С> измеряемых двухполюсников, регистрируя и усиливая напряжение разбаланса с выхода син1 хронного детектора 50, поступающее на внешний регистратор. При этом отсчет измеряемой емкости можно про! 4

9572? изводить по градуировочнсму лимбу потенцнометра 4 ::. Измере".èÿ в этом режиме позволяют производить допусковый контрбль и разбраковку измеряемых двухполюсников на произвольно выбранной частоте или в заданном диапазоне частот. Шкала внешнего регистратора может быть при этом програ-!

О дуирована в +, С первого выхода выходного усилителя 16 сигнал поступает на внешний регистратор (частотомер) и на вход преобразователя 11 частота — напряжеI5 ние, где происходит логарифмическое преобразование частоты (,) — Я в напряжение, которое далее может подаваться на один из входов двухкоординатного самописца, для записи зависимости G /M — 1g 63 и С вЂ” 1g(d .

С выхода блока 1 управления на вход перестраиваемого генератора 2 поступает постоянное или пилообразное напряжение для электронной пере" стройки частоты генератора 2.

В первом случае снимаются С„/Я от

U, С от U зависимости при выбранной фиксированной частоте M„— Я, во втором случае С /43 от и, С „от я

30 зависимости при фиксированном поляризующем напряжении. С выхода источника 17 смещения на измеряемый двухполюсник поступает поляризующее напряжение, которое также может изменяться пилообразно для записи соответствующих зависимостей G„/(ä от U и С от U. Одновременно к выходу источника 17 может подключаться внешний цифровой вольтметр. Таким обра40 зом, устройство обеспечивает высокую точность измерений проводимости (добротности) С„/И вЂ” U и С„/Я -U, а также возможность проводить допусковый контроль или разбраковку из45 меряемых двухполюсников по параметру ЬС при заданном напряжении смещения, при фиксированной частоте или заданном диапазоне частот, что расширяет его функциональные возмож50 ности. Формула изобретения

Устройство для измерения комплексной проводимости по авт.св.М 1257566, 55 отличающее ся тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения функциснальных воэможностей путем обеспечения допускового

Составитель П.Мельников

Техред Л.Олийнык Корректор Э.Лончакова:

Pедактор С.Пекарь

Заказ 4260/43

Тираж 713

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Гагарина, 101

1) 14957 контроля по заданному параметру, в него введены два сумматора, два переключателя, фазовращатель, линейно регулируемый усилитель, линейный потенциометр, .третий источник опорного напряжения, четвертый RC-фильтр, нульорган, вход которого подключен к выходу четвертого синхронного детектора, выход нуль-органа через четвер- 10 тый RC-фильтр соединен с первым выводом второго переключателя, второй вывод которого соединен со средним выводом линейного потенциометра, второй вывод линейного потенциометра 15 соединен с общей шиной, первый вывод — с третьим источником опорного напряжения, третий вывод второго пе" реключателя подключен к внешнему регистратору и соединен со средним вы- 20 водом линейно.регулируемоro усилите22

Ib ля, первый вывод которого через фазовращатель соединен с первым выводом второго сумматора и выходом селективного усилителя, второй вход второго сумматора соединен с общей шиной, выход линейного регулируемого усили" теля соединен с первым выводом первого переключателя, второй вывод которого соединен с общей шиной, третий вывод соединен с вторым входом первого сумматора, первый сумматор первым входом соединен с выходом второго се" лективного усилителя, выход сумматора — с первыми входами четвертого и третьего синхронных детекторов, выход второго сумматора соединен с первыми входами первого и второго син" хронных детекторов, а средний вывод потенциометра соединен механически с лимбом.