Патент ссср 152997

Авторы патента:

C23C14/22 - характеризуемые способом покрытия

Класс С 2ЗЬ; 48Ь, 11,в

М 152997

СССР

1 !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 110

Ю. М. Дашкевич,.Э. Г. Ахмедов, В. Д. Богушевич, В. П. Губанов, Б. K. Ежов, Б. Д. Поволоцкий, Л. С. Сибирев и С. И. Эпельмаи

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ КАТОДНЫМ

РАСПЫЛ ЕН И ЕМ

Заявлено 2 июня 19б1 г. за № 733074/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 19 за И64 г.

Известны способы нанесения покрытий катодным распылением в вакуумных аппаратах с предварительной очистой заготовок в поле тлеющего разряда.

Особенность предлагаемого способа состоит в том, что катод-распылитель помещают в вакуумный объем рабочей камеры, а процесс напыления осуществляют в непрерывном цикле без сообщения с атмосферой до полного расхода электрода. Это позволяет оздоровить условия труда обслуживающего персонала и повысить качество покрытий.

Для повышения производительности труда и экономии распыляемого металла предлагается обрабатывать одновременно два листа расположенных вертикально по обе стороны от электродов-распылителей.

Перед нанесением покрытия поверхность листов подвергают предварительной очистке в поле тлеющего разряда. Оптимальный режим цоля тлеющего разряда обеспечивает необходимый прогрев листов перед нанесением на них металла.

Покрытие наносят с помощью вертикально расположенных в рабочих вакуумных камерах катодов-распылителей, по обе стороны которых параллельно перемещаются два обрабатываемых листа.

Процесс очистки листов в поле тлеющего разряда с последующим напылением покрытия, осуществляемым до полного расхода электродараспылителя, идет непрерывно в вакуумной автоматической линии.

Представляющая собой один вакуумный объем, она разделена уплот№ 152997 нительными заслонками на шлюзовые, промежуточные и рабочие камеры. При обработке изделий вакуумные камеры полностью изолированы от атмосферы.

Предмет изобретения .1. Способ нанесения покрытий катодным распылением с предварительной очисткой заготовок в поле тлеющего разряда, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью оздоровления условий труда обслуживающего персонала и повышения качества покрытий, катод-распылитель помешают в вакуумный объем рабочей камеры, а процесс напыления осуществляют в непрерывном цикле без сообщения с атмосферой до полного расхода электрода. .2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения производительносги труда и экономии распыляемого металла, одновременно обрабатывают два листа, расположенные вертикально по обе стороны от электродов-распылителей.

Редактор В. П. Липатов Гехред А. А. Камышиикова Корректор И. А. Шпынева

Поди. к печ, 10/Х1 вЂ” 64 г. Формат бум. 70Х108 /жв Объем 0,18 изд. л.

Заказ 2425/7 Тираж 1200 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме, а более точно к способу формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме

Способ вакуумного нанесения тонких пленок // 2135633

Изобретение относится к технической физике, в частности к способу вакуумного нанесения тонких пленок на поверхность твердого тела

Способ обработки металлических лент или проволоки в вакууме и устройство для его реализации // 2153025

Изобретение относится к области очистки поверхности лент или проволоки в вакууме с последующим нанесением на нее защитных покрытий и можетт быть использовано в металлообрабатывающих отраслях промышленности

Электропроводящий наполнитель // 2199556

Изобретение относится к электропроводящему наполнителю для проводящего синтетического материала для использования в качестве экранирующего уплотнения

Способ электронно-плазменного нанесения металлических покрытий // 2218449

Изобретение относится к технике нанесения покрытий и может быть использовано в металлургии, машиностроении и других областях техники для создания защитных покрытий из цинка, никеля, хрома или их комбинаций

Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме // 2240376

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме и может найти применение при изготовлении режущего, формообразующего, измерительного инструмента, деталей узлов трения и деталей точного машиностроения

Способ получения алмазоподобной пленки // 2254397

Изобретение относится к получению сверхтвердых покрытий в вакууме, к способам формирования алмазоподобного покрытия и может быть использовано в электронной и эмиссионной технике, в качестве покрытий оптических деталей и в качестве декоративных покрытий

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 2271409

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к установкам для нанесения покрытий в вакууме, и может быть использовано в электрографии, машиностроении, радиоэлектронной и других отраслях промышленности

Способ изготовления тонких металлических пленок // 2276697

Изобретение относится к области получения тонких металлических пленок и может быть использовано как для получения свободных сверхтонких металлических пленок, например, сусального золота, платины и др., так и последующего нанесения этих пленок на разнообразные подложки

Способ изготовления на подложке из специального сплава защитного покрытия, образующего тепловой барьер, со связующим подслоем и изделие, полученное этим способом // 2287609

Изобретение относится к изготовлению изделий, содержащих защитное покрытие, образующее тепловой барьер, и которое может быть использовано для изготовления деталей газовых турбин, таких как турбинные лопатки турбореактивных двигателей