Патент ссср 154963
№ 154963
Класс F 04g; 21g, 13ав
F 04g; 21g, 13вв
1 11 !
СССР
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная группа М 97
В. Ф. Ульянов и М. И. Виноградов
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ТИТАНА
Заявлено 30 января 1962 г. за М 762889/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете,Чипистров СССР
Опубликовано в «Б1оллетене изобретений и товарных знаков» Мв 11 за 1963 г.
Известны устройства для испарения титана, в которых титан нагревается при оомбардировке его электронным пучком. Известны также источники электронов, которые работают в сильном магнитном поле.
Электронная пушка в них установлена так, что прямопакальный термокатод в виде накаливаемои металлической нити располагается пара,7лельпо магнитному полю, в результате чего удается избежать механ:iческого воздействия магнитного поля па катод. Скорость испарения в этих испарителях недостаточная и срок их слуи(бы ограничен.
В предлагаемом устройстве для испарения титана в сильном магнитном поле электронная пушка выполнена В виде двух параллельных пластин и расположена так, чтобы вылетевшие из катода электроны двигались сначала в скрещенных мапп1тпом и электрическом по7ях
ПОПЕРЕК Магпитиого ПОЛЯ. ПОСЛЕ ВЫХОДа ИЗ ЭЛЕКТРН»! ЕСКОГО ПОЛЯ Э.! er(троны под влия11ием магнитного поля изменяют направления,7впже1гня !
Ia,0 и фокусируются в ленточный пучок. При этом катод может бь1ть защищен от запыления титаном и от бомбардиро ки ио.1амп, что повысит продолжительность непрерывной работы испарителя.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема предлагаемого устройства для испарения титана; на фиг. 2 — схема электронной пушки в двух проекциях.
Описывается принцип работы предлагаемого x cTpo!1ства .7,7r! испаренияя титана.
Титановая проВолока 1, находяIцаяся па кату1пке 2, роликовым механизмом 8 подачи по направляющей трубке 4 подается в ох,7аи(даемый водой медный наконечник 5. Конец проволоки 1, выходящий пз охлаж¹ 154963 даемого наконечника о, нагревается электронным пучком, сфокусированным продольным магнитным полем, плавится и образует на наконечнике каплю б, с которой испаряется титан. Проволока 1 непрерывно подается в зону распыления через наконечник 5 с заданной постоянной скоростью.
Для получения ленточного пучка электронов используется электронная пушка 7, состоящая из двух электродов 8 и 9, между которыми на расстоянии 1 я.11 от электрода 9 помещен катод 10 из вольфрамовой проволоки. Электрод 8 служит анодом, электрод 9 находится под потенциалом катода 10. Оба электрода 8 и 9, как видно из горизонтальной проекции, имеют с одной стороны срез 11 под углом а. Пушка 7 размещается в магнитном поле так, чтобы направление силовых линий 12 последнего совпадало с указанным на фиг. 2, При работе электронной пушки 7 электроны, находясь в скрещенных электрическом и магнитном полях, дрейфуют вдоль электрода 9.
Достигнув углового среза 11 и выйдя из межэлектродного пространства в область, где нет электрического поля, электроны движутся дальше вдоль магнитного поля, образуя ленточный пучок, который и нагревает каплю б титана до температуры испарения (около 2000 ). В конструкции пушки 7 катод 10 вынесен из зоны запыления и пе разрушается ионами титана. Катод 10 расположен вдоль силовых линий 12 магнитного поля, благодаря чему он не испытывает действия пондеромоторных сил. Дополнительным экраном 18 можно защитить основные узлы пушки 7 от запыления титаном.
Предмет изобретения
Устройство для испарения титана электронной бомбардировкой в вакууме, работа1ощсе а мя1П1итном IEO. le, содер:кащее >replrt.!rr охлаждаемыl! накОнечник, через который В зону распыления подается титановая проволока, и электронную пушку с прямонакальным термокатодом, о тл и ч а юr i,ее си тем, что, д. я предотвращения разрушения катода парами и ионами титана путем вынесе1шя катода пушки из зоны запыления ряспыляющнмся титаном, электронная пушка выполнена в виде двух параллельных пластин, одна из которых находится под потенциа:lом катода, а ня друl ую подан положительный по QTnolilcHHEo к катоду потенциал, причем эти пластины расположены таким образом, что образующееся между ними электрическое поле перпендикулярно внешнему магнитному полю, а прямонакальный катод расположен между пластинами параллельно последним. № 154963.7п.п ч,5 Д
1 /!
Рыf
Поди. к печ. 3/VII — 63 г. Формат бум. 70 Q 108 /ц Объем 0,26 изд. л, 3ак 177о!12 Тпрахк 1225 Цена 4 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Редактор Г. А. Горохова Техрсд А. А. Камышникова Корректор Ю. М. Федулова
