Патент ссср 159088

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОпИС нИЕ

ИЗ ОБ РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

go 159088

Класс 48b, 11вз

МПК С 23с

Заявлено ОI.Х.1962 (№ 797036/22-2) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Онубликовано 22.XI.1963. Бюллетень № 23

УДК

Подписная группа ЛВ 211

М. С. Блудов, К. М. Татанов, Г. Ф. Антонов, П. М. Киселев, Г. Н. Лехтинен и Ю. Ф. Шмелев

УСТАНОВКА НЕПРЕРЫВНОГО ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известные установки непрерывного действия для нанесения покрытий испарением в вакууме, состоящие из системы вакуумных шлюзовых камер, позволяют получать покрытия из легкоплавких металлов и сплавов, Особенность описываемой установки заключается в том, что. с целью нанесения покрытий из тугоплавких металлов и сплавов, рабочая камера ее снабжена электронным испарителем, над которым установлен экран, ограничивающий наиболее интенсивную часть потока испаряемого вещества.

На фиг. 1 изображен общий вид предлагаемой установки; на фиг. 2 — поперечный разрез рабочей камеры; на фиг. 3 — экран.

Установка состоит из пяти вакуумных шлюзовых камер, каждая из которых имеет свою систему откачки.

На фиг. 1 показаны загрузочная камера 1, камера 2 предварительного подогрева изделий с нагревательным элементом 8, рабочая камера 4 с электронным испарителем 5, камера подогрева изделий с нанесенными покрытиями б с нагревательным элементом 7, разгрузочная камера 8, кассеты 9 с укрепленными в них изделиями, роликовый механизм транспортировки кассет 10, экран 11 и система вакуумных насосов 12 и 18.

Камеры разделяются вакуумными заслонками 14. При нанесении покрытий на цилиндрические детали 15 (см. фиг. 2) в рабочей камере устачавливается механизм вращения 1б спиц с нанизанными на них деталями.

Процесс нанесения покрытий осуществляется при непрерывной транспортировке изделий.

Кассета 9 с деталями помещается в загрузочную камеру 1, где с помощью механического насоса 12 создается вакуум. Затем открывают заслонку 14, и кассета передвигается в камеру 2, где производится предварительный нагрев изделий. Кассета с нагретыми деталями поступает в рабочую камеру 4, где осуществляется процесс нанесения покрытий.

Стержень испаряемого вещества 17 подается штоком 18 в зону испарения. Сфокусированный электронный луч 19 электронной пушки 20 направляется электромагнитом 21 на торец стержня. Пушка защищена от запыления экраном 22.

Экран 11, расположенный над испаритепем, ограничивает наиболее интенсивную часть потока:паров таким образом, чтобы детали, помещенные в середине кассеты, находились в потоке паров меньшее время, 1. Установка непрерывного действия для нанесения покрытий испарением в вакууме, № 159088

// 4 Х б 2 д /4

Я / 2 .7

Фиг / быг д

Составитель Т. Г, Фирсова

Техред А. А. Камышникова Корректор Т. В. Муллина

Редактор Якубович

Подп. к печ. 22 !1 — 64 г. Формат бум. 60, 00 /8 Объем 0,23 нзд. л.

Заказ 3257/13 Тираж 1775 Цен ". 5 кзп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Тип отр афин, и р. Сап уно в а, 2 состоящая из системы вакуумных шлюзовых камер и механизма транспортировки изделий, отличающаяся тем, что, с целью нанесения на изделие покрытий из тугоплавких металлов и сплавов, рабочая камера снабжена электронным испарителем.

2. Установка по п. 1, отл и ч а ю щая с я тем, что, с целью получения на изделиях равномерных по толщине покрытий, над испарителем установлен экран, ограничивающий наиболее интенсивную часть потока испаряемого вещества.