Патент ссср 159293

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

C0U NAANCTH× ЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

О П И С Н И К

ИЗ ОБ РЕТЕНИ Н

К АВТОРСКОМУ CBNAETEAbCTBV № 159293

Класс 40d, 1ав

МПК С 22f

Заявлено 14.I.1963 (Ko 813600/22-2)4

ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЪ|ТИЙ

СССР

УДК

Опубликовано 07.XII 1963. Бюллетень K 24

Подписная группа № 1б1

Б. А. Мовчан и А. В. Злотин

ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ РАДИАЛЬНЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ

ПЕЧЕЙ ВЫТЯГИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ПО СПОСОБУ

ЧОХРАЛЬСКОГО

Предмет изобретения

Известен радиальный электронно-лучевой нагреватель, состоящий из нескольких электронных пушек с линейными проволочными катодами, расположенными в щели отрицательного электрода электростатической системы фокусировки.

Предлагаемый нагреватель отличается от известного тем, что отклоняющие пластины электростатической системы фокусировки выполнены с краем в виде дуги. Это дает возможность при бестигельном расплавлении исходного материала в печах вытягивания монокристаллов по методу Чохральского создать строго кольцевую зону нагрева и получить равномерное тепловое поле.

На чертеже изображена схема бестигельного вытягивания монокристалла с помощью предлагаемого нагревателя.

Нагреватель состоит из шести — восьми электронных пушек 1, формирующих вертикальные плоские пучки электронов. Каждая электронная пушка имеет линейный вольфрамовый катод 2, расположенный в щели фокусирующего электрода т, ускоряющий анод 4, отклоняюшую пластину б и экран б.

Отклоняющая пластина 5 находится под потенциалом фокусирующего электрода и выполнена с краем в виде дуги. Плоский пучок электронов 7, выходящий из щели анода, отклоняется и одновременно меняет форму поперечного сечения. Электростатическое отклонение луча и наличие экрана исключают гопадание паров эмиттера в расплав.

Электронно-лучевой радиальный нагреватель для печей вытягивания монокристаллов по способу Чохральского, представляющий собой кольцевой блок из нескольких электронных пушек с линейными катодами и электростатической системой отклонения, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью создания кольцевой зоны нагрева, обеспечивающей получение в расплаве равномерного теплового поля, отклоняющая пластина каждой пушки выполнена с краем в виде дуги.

Л% 159293

Составитель T. Г. Фирсова

Редактор В. П. Липатов Техред А. А. Кудрявицкая Корректор T. Д. Хромцева

Подп. к печ. 13/1 — 64 г. Формат бум. 60 90 /а Объем 0,23 изд. л.

Заказ 3293/2 Тираж 675 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2