Устройство для испытаний изделий на герметичность
Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить производительность испытаний. Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14. Входная магистраль 4 соединена с входом механического насоса 14 и выходом масс-спектрометрической камеры 10. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 8 многократно поглощает атмосферные газы, кроме водорода и гелия, в циркулирующем потоке и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин потоков газа от течей. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
С00ИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1504527 (5l)4 G 01 M 3/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А STOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ПИНТ СССР
1 (21) 4361434/25-28 (22) 11.01„88 (46) 30 ° 08,89. Бюл. II 32 (72) А.А.Шорин, В,Ф.Суворкин, В.М.Гребенкин н В.В.Котиков (53) 620.165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
11 1310657, кл. G 01 M 3/02, 1987, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ HCIlblTAHHA ИЗДЕЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить производительность испытаний, Устройство содержит последова2 тельно соединенные вакуумную камеру
1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14, Входная магистраль 4 соединена с входом механического насоса 14 и выходом масс-спектрометрической камеры 10..При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос, . 8 многократно поглощает атмосферные газы, кроме водорода и гелия, в циркулирующем потоке и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин потоков газа от течей . 1 ил.
Составитель В,Черноусов
Редактор М.Циткина Техред Л.Кравчук
Корректор В. Гирняк
Заказ 5243/42 Тираж 789 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101
3 1504527
Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.
Цель изобретения — повышение про5 изводительности испытаний путем снижения времени получения достоверного сигнала течеискателя.
На чертеже представлена схема предлагаемого устройства. 10
Устройство для испытаний иэделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым иэделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной магистрали 4, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом диффузионного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом адсорбционного насоса 8, Выход . 20 последнего через вентиль 9 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 10, выход которой через вентипь
ll соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13 соединен с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4, Устройство работает следующим образом. 30
Иэделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру I магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентили 7, 9, 11 и вккуумируют объемы насосов 35
6, 8 и масс-спектрометрической камеры 10. Закрывают вентиль ll, заливают в адсорбционный насос 8 жидкий азот и включают диффузионный насос
6. После выхода на рабочий режим . 40 диффузионного насоса 6 закрывают вентиль 13, открывают вентили 5 и 11 и заполняют изделие 2 контрольным газом. Диффузионный насос Ь обеспечивает циркуляцию пробного газа, например гелия, а адсорбционный насос
8 поглощает все атмосферные газы, кроме гелия, и предохраняет массспектрометрическую камеру 10 от попадания в нее продуктов газовыделения нагретых поверхностей диффузионного насоса 6. Через масс-спектрометрнческую камеру 10 таким образом прокачивается пробный газ в концентрации, определяемой степенью сжатия диффузионного насоса. Поэтому при поиске малых течей время получения достоверного сигнала течеискателя снижается во столько раэ, во сколько парциальное давление пробного газа на выходе диффузионного насоса больше, чем его парцнальное давление на входе.
Использование предлагаемого устройства позволит не менее чем в
20 раэ повысить производительность испытаний.
Формула изобретения
Устройство для испытаний иэделий на герметичность, содержащее входную магистраль, диффузионный насос, адсорбционный насос, масс-спектрометрическую камеру, вход которой соединен с выходом адсорбционного насоса, и механический насос, вход которого соединен с входной магистралью, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход — с входом адсорбционного насоса, выход масс-спектрометрической камеры соединен с входной магистралью и входом механического насоса.
