Интегральный преобразователь давления
Изобретение относится к приборостроению и позволяет упростить конструкцию интегрального преобразователя давления. Для этого наряду с мембраной из монокристаллического полупроводникового материала с тензорезисторами 1-4, включенными в мостовую схему 5, устройство содержит управляемый источник 9 напряжения, дифференциальный интегратор 10, блок 11 деления, опорный резистор 6 и делитель напряжения из двух резисторов 7 и 8. Тензорезисторы 1-4 используются одновременно в качестве тензочувствительных, термочувствительных и нагревательных элементов, благодаря чему уменьшается количество элементов, сформированных на мембране монокристаллического полупроводника и тем самым достигается упрощение конструкции интегрального преобразователя давления. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 4 С 01 L 9/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЧНРЫТИЯМ
ПРИ П(НТ СССР (21) 4224007/24-10 (22) 17.02.87 (46) 07.11,89. Бюл. Ф 41 (?2) А,И. Жучков, Е.М. Белозубов, С.Е. Тельпов и N.È. Павлов (53) 531.787 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 1196705, кл. С 01 L 9/04, 1983. (54) ИНТКГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к приборостроению и позволяет упростить конструкцию интегрального преобразователя давления. Для этого наряду с мембраной из монокристаллического полупроводникового материала с тензо„„SU„„1520365 А 1
2 резисторами 1-4, включенными в мостовую схему 5, устройство содержит управляемый источник 9 напряжения, дифференциальный интегратор 10, блок 11 деления, опорный резистор 6 и делитель напряжения из двух резисторов 7 и 8. Тензорезисторы 1-4 используются одновременно в качестве тензочувствительных, термочувствительных и нагревательных элементов, благодаря чему уменьшается количество элементов; сформированных на мембране монокристаллического полупроводника и, тем самым достигается упрощение конструкции интегрального преобразователя давления. 1 ил.
1520365
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения давления газообразных сред.
Целью изобретения является упрощение конструкции.
На чертеже представлен интегральный преобразователь давления.
Интегральный преобразователь давления содержит тензорезисторы 1-4, включенные в мостовую схему 5,опорный резистор 6,.делитель напряжения из двух резисторов 7 и 8, управляемый источник 9 напряжения, дифференциальный интегратор 10, блок 11 деления.
Преобразователь работает следующим образом, Диагональ питания мостовой схемы
5 включена во вторую мостовую схему, образованную опорным резистором 6 и резисторами 7 и 8. Измерительная диагональ второй мостовой схемы подключена к входам дифференциального 25 интегратора 10. Рассогласование второго моста происходит при отклонении температуры тензорезисторов 1-4 от номинального значения за счет изменения сопротивления диагонали питания мостовой схемы 5. Сигнал рассогласования через дифференциальный интегратор 10 поступает на вход управления источника 9 напряжения; Измене-, ние выходного напряжения управляемого источника 9 напряжения приводит
35 к изменению нагрева тензорезисторов и температуры мембраны из монокристаллического полупроводникового мате" риала, на которой сформированы тенэорезисторы 1-4. При этом тензочувствительная мостовая схема, сформированная на мембране из монокристаллического полупроводникового материала, используется одновременно в качестве
45 тензочувствительного, термочувствительного и нагревательного элемента.
Выходной сигнал снимается с измерительной диагонали мостовой схемы 5 и делится на напряжение с диагонали питания этой схемы в блоке 11 деления °
При этом в зоне воздействия изменяющейся температуры измеряемой среды могут находиться только тензорезисторы измерительной мостовой схемы 5, а остальные элементы 6-11 мо— гут быть расположены в зоне умеренного изменения температуры .
Благодаря совмещению функций термочувствительных и нагревательных элементов в тензорезисторах 1-4 уменьшается количество элементов, сформированных на мембране монокристаллического полупроводника, и, тем самым, достигается упрощение конструкции интегрального преобразователя давления.
Формула изобретения
Интегральный преобразователь давления, содержащий мембрану из монокристаллического полупроводникового материала, выполненную за одно целое с опорным основанием, и тензорезисторы, сформированные на мембране и соединенные в мостовую измерительную схему, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, он снабжен управляемым источником напряжения, дифференциальным интегратором, блоком деления, опорным резистором и делителем напряжения из двух резисторов, причем первые входы блбка деления подключены к измерительной диагонали мостовой измерительной схемы, диагональ питания которой подключена к вторым входам блока деления и первому входу дифференциального интегратора, второй вход которого подключен к вьмоду делителя напряжения, выход дифференциального интегратора подключен к управляющему входу управляемого источника напряжения, выход которого подключен к входу делителя напряжения и через опорный резистор, к диагонали питания мостовой измерительной схемы, а выход блока деления является выходом интегральногб преобразователя давления.
