Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме

Авторы патента:

C23C14/28 - с использованием волновой энергии или облучения частицами (C23C 14/32-C23C 14/48 имеют преимущество)

Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее вакуумную камеру, испарители, подложкодержатель и натекатель воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения качества селеновых слоев, оно содержит ионизатор, оптически непрозрачный экран и активатор кислорода, электрически соединенный со стенками вакуумной камеры, включающий замкнутую полость, внутри которой расположены ионизатор и натекатель, стенки полости снабжены отверстиями, причем отношение суммарной площади всех отверстий к суммарной площади внутренней поверхности полости составляет 0,01-0,001, а экран расположен между активатором и рабочей поверхностью подложкодержателя.

Способ получения кристаллического материала // 738425

Способ получения двухслойных структур на основе сплошных сверхтонких пленок // 717926

Способ получения аморфного твердого тела // 681982

Способ получения тонких пленок при помощи оптического квантового генератора // 646578

Способ изменения и стабилизации магнитных характеристик тонких магнитных пленок // 475670

Способ получения окисных пленок // 2110604

Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения // 2205893

Изобретение относится к области плазменной техники, связанной с вакуумной металлизацией поверхностей и синтезом неорганических пленок при распылении твердого вещества пучком заряженных частиц, и предназначено для нанесения упрочняющих покрытий на режущий инструмент, для синтеза неорганических покрытий, в том числе многокомпонентных и многослойных

Способ получения защитного покрытия на деталях // 2305034

Изобретение относится к покрытиям, защищающим детали от воздействия высоких температур, и может быть использовано в авиадвигателестроении, машиностроении, энергетике и других отраслях техники

Способ получения пленочных покрытий посредством лазерной абляции // 2316612

Изобретение относится к способу получения пленочных покрытий и может найти применение при изготовлении мелкозернистых порошков и других изделий с покрытиями

Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав // 2333086

Изобретение относится к восстановлению распыляемой мишени из тантала и может быть использовано в производстве интегральных схем и других электрических, магнитных и оптических продуктов

Способ получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции // 2350686

Изобретение относится к способу получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий и активных слоев тонкопленочных приемников УФ-излучения в микроэлектронике

Способ получения антифрикционных тонких пленок // 2365672

Изобретение относится к области технологии нанесения защитных антифрикционных покрытий, в частности к способу получения антифрикционных тонких пленок и может быть использовано в вакуумной, авиационной и космической технике, микромеханике, изготовлении металлорежущего и металлообрабатывающего инструмента

Способ получения анодной фольги // 2391442

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам изготовления анодной фольги, которая может быть использована в твердых электролитических конденсаторах с электролитом из проводящего полимера

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 2404285

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы при производстве электродной фольги для алюминиевых оксидно-электролитических конденсаторов, суперконденсаторов, аккумуляторов и подобных изделий

Способ защиты лопаток газовых турбин // 2404286

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в энергетическом и авиационном турбостроении, преимущественно для защиты пера лопаток промышленных газотурбинных установок ГТУ от высокотемпературной коррозии