Датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - расширить диапазоны измеряемых давлений, повысить надежность и допустимое перегрузочное давление тензорезисторных датчиков давления. Датчик содержит мембрану 1, выполненную с утолщенной периферийной частью 2. На мембране сформирована тензорезисторная мостовая схема. Над поверхностью мембраны, параллельно ей, установлена защитная пластина 8 с толщиной, значительно большей по сравнению с гибкой частью мембраны. Между мембраной и защитной пластиной с помощью калиброванных по толщине прокладок 17 установлен зазор, величина которого превышает на 10-20% максимально заданное перемещение гибкой части мембраны. Защитная пластина 8 приварена к утолщенной периферийной части мембраны не менее чем в трех точках. Поверхность защитной пластины, обращенная к мембране, покрыта слоем диэлектрика, обеспечивающего защиту тензоструктуры от механических повреждений и коротких замыканий при воздействии на мембрану перегрузочных давлений. Датчик давления может быть использован при разработке ряда унифицированных датчиков низких, средних и высоких значений давлений. 1 ил.

СОЮЗ 008ЕТСННХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН!!9! (l!>

SU, 4 119 А1 (51)5 С 01 L 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ! !, !

l!g; !

1á

ГОСТ@ СтВЯННЫй НОЦИ1 Г

ПО ИЗОВЕНИНИЯМ И Отк1 ЫтИЯМ

nPH fHHT СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4470993/24-10 (22) 12.05 88 (46) 23.02.90. Бюл, И 7 (72) В.А.Солотов и Г.В.Клочихин (53) 531. 787(088.8) (56) Авторское свидетельство .СССР

11 1264015, кл. С 01 L 9/04, 1986. (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель иэобретения раснирить диапазон измеряемых давлений, повысить надежность и допустимое перегрузочное давление тензорезисторных датчиков давления. Датчик

>содержит мембрану 1, выполненную с утолщенной периферийной частью 2. На мембране сформирована тензорезистор" ная.мостовая схема. Над поверхностью мембраны, параллельно ей, установлена защитная пластина 8 с толщиной, зна"

2 чительно большей по сравнению с гибкой частью мембраны. Нежду мембраной и защитной пластиной с помощью калиброванных по толщине прокладок 17 установлен зазор, величина которого, превышает на 10-20 максимально заданное перемещение гибкой части мембраны. Защитная пластина 8 приварена к утолщенной периферийной части мембраны не менее чем в трех точках. ПоI верхность защитной пластины, обращенная к мембране, покрыта слоем диэлектрика, обеспечивающего защиту тензоструктуры от механических повреждений и коротких замыканий при воздействии на мембрану перегрузочных давлений.

Датчик давления может быть использован при разработке ряда унифицированных датчиков низких, средних и высоких значений давлений. 2 ил.

154511

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано при измерении давления жидких и газообразных сред.

Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых давлений и повышение надежности.

На фиг.1 приведена конструктивная схема датчика давления; на фиг.2 - 1О разрез А-А на фиг.l;

Датчик содержит мембрану 1 цилинд рической формы, выполненную эа одно целое с утолщенной периферийной час" тью 2, утоненной частью 3 и основанием 4. К последнему крепятся цилиндр 5, кожух 6 и штуцер 7. К цилиндру 5 крепится пластина.-, 8, содержащая изолированные контакты 9, к которым присоединяются тонкие проводники 10 с одной стороны и толстые проводники

ll с другой стороны. Проводники 11 соединяются с разъемом 12. На гибкой части мембраны расположены тенэореэисторы 13 в количестве не менее двух 25 пар, причем тензореэисторы R< и R асположены в зоне отрицательных дермаций, R и R - a зоне положиельных деформаций, Тензорезисторы оединены токопроводящими дорожками

4 с контактными площадками 15, расоложенными на утолщенной периферийной части мембраны. Защитная пластийа 16 с пазами, через которые выходят онкие проводники 10 от контактных лощадок 15, крепится к краям утоленной периферийной части мембраны ереэ металлические прокладки 17 с помощью сварки. Между защитной пласиной 16 и мембраной 1 устанавлива- 40 тся зазор с помощью калиброванных о толщине металлических прокладок 17, еличина зазора превышает на 10-203 максимально заданное перемещение гиб" кой части мембраны. Например, при хо9 де мембраны 50 мкм толщина прокладок составляет 55-60 мкм.

Датчик работает следующим образом.

Измеряемое давление P через штуцер 7 подводится во внутреннюю полость датчика, воздействует на мембрану и деформирует ее.

При подаче питания на мостовую схему деформация тенэореэисторов, расположенных на гибкой части мембраны, преобразуется в электрический сигнал, изменяющийся пропорционально изменению давления, При воздействии на мембрану давления выше допустимого мембрана .касается защитной пластины и дальнейшая ее деформация не превышает величины установленного зазора, При снятии перегрузки мембрана возвращается в исходное состояние, при этом работоспособность датчика сохраняется. формула изобретения

Датчик давления, содержащий установленную в корпусе мембрану с утолщенной периферийной частью и закрепленные на мембране тензореэисторы, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и повышения надежности, в него введена размещенная параллельно мембране со стороны;тенэорезисторов пластина, выполненная жесткой. с толщиной, большей толщины мембраны, причем пластина установлена с зазором от мембраны, превышающим на 10-20 максимально заданное рабочее перемещение мембраны, и закреплена с помощью металлических прокладок по крайней мере в трех местах, равномерно расположенных по периферийной части иембрайы, при этом поверхность плас,тины со стороны тенэорезисторов по» крыта слоем диэлектрика.

1545119

Составитель О.Слюсарев

Техред Л.Сердюкова

Корректор В.Гирикк

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Уигород, ул. Гагарина, 101 Редактор ИКГорная.

° иеймъ е«

Заказ 486

ВНИЙПИ Государственного

113035 °

Тираж 465 Подписное комитета по изобретениям и открмткям при ГЕНТ СССР

Москва, В-35, Рауиская наб., д. 0/5