Устройство для испытания изделий на герметичность

 

Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискателя и позволяет улучшить эксплуатационные характеристики устройства при накоплении пробного газа в газе-носителя путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя. К испытательной камере 1 с изделием 2 последовательно подключены первый высоковакуумный насос (ВВН) 4, селективно настроенный второй ВВН 5 и форвакуумный насос (ФВН) 6, вход которого соединен с входом селективно настроенного третьего ВВН 7, выход которого соединен с входом ВВН 4. В течеискатель 9 поступает поток газа, обогащенного пробным газом. Часть последнего возвращается на вход ВВН 4, а поток, обогащенный газом-носителем, откачивается ФВН 6. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 С 01 И 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ П1НТ СССР (21) 4320692/25-28 (22) 27.10.87 (46) 23.03.90. Бюл. ¹- 11 (72) Е.А. Борисов, В.А. Уфаев, Э.Г. Алехин, В.И. Киреев и P.В.Бизяев (53) 620.165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ .1310657, кл. t 01 М 3/02, 1985. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЖЙ

НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискателя и позволяет улучшить зксплуатационные характеристики устройства при накоплении пробного газа

„.SU,, 1552 Ù A 1

2. в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя. К испы тательной камере 1 с изделием. 2 последовательно подключены первый высоковакуумный насос (ВВН) 4, селективно настроенный второй ВВН 5 и форвакуумный насос (ФВН) 6, вход которого соединен с входом селективно настроенного третьего ВВН 7, выход которого соединен с входом ВВН 4. В течеискатель 9 поступает поток газа, обогащенного пробным газом. Часть последнего возвращается на вход ВВН 4, а поток, обогащенный газом-носителем, откачивается ФВН 6. 1 ил.

1552026

Изобретение относится к испытатель-, ной технике, в частности к испытаниям на герметичность изделий с помощью масс-спектрометрического течеискателя.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик устройства при накоплении пробного газа в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Устройство для испытания изделий на герметичность включает испытатель- 15 ную камеру 1 с изделием 2, подсоединенные к ней последовательно входную магистраль 3, первый высоковакуумный насос 4, селективно настроенный второй высоковакуумный насос 5 и форвакуумный насос 6. Вход последнего соединен с входом селективно настроенного третьего высоковакуумного насоса 7, включенного в магистраль 8 возврата пробного газа, соединенную с 25 входной магистралью.

Масс-спектрометрический течеискатель 9 соединен с выходом первого высаковакуумного насоса 4 и имеет свой селективно настроенный четвертый высоковакуумный насос (не показан), Устройства работает следующим образом.

Испытуемое изделие 2 помещают в ис- пытательную камеру 1, после чего вакуумируют ее высоковакуумными насосами 4 и 5, и механическим насосом 6.

Включают высоковакуумный насос 7 и вакуумные насосы масс-спектрометричес- кого течеискателя 9. Испытательную камеру 1 вакуумируют до заданной сте- . пени разрежения, например, 10 -10 старр, подцерживают эту степень разрежения и подают в испытательную камеру 1 газноситель, напримеР углекислый газ, а 45 изделие 2 заполняют пробным газом, например гелием. Высоковакуумным насосом 5 отбирают, путем селективной настройки последнего, из потока газа, поступающего в течеискатель 9, часть потока с повышенной концентрацией газа-носителя. При этом вакуумные насосы течеискателя 9 селективно настраивают на максимальную скорость откачки по пробному газу. Затем ор55 ганизуют отбор части потока с повышенной концентрацией пробного газа из потока, поступающего в механический насос 6. Отбор части потока с повышенной концентрацией гелия осуществляют селективной настройкой на максимальную скорость откачки по гелию высоковакуумного насоса 7 и подают эту часть потока в поток, поступающий из испытательной камеры 1, который снова попадает в высоковакуумные насосы 4 и 5.

При регулировке нагревателей (не показаны) высоковакуумных насосов 5, 7 изменяют температуру рабочего тела, например вакуумного масла BM-5, что ведет к изменению скорости истечения паров последнего и, как следствие, к различной скорости откачки молекул с разными молекулярными массами. Причем используют в качестве газа-носителя и пробного газа газы с максимальной разницей молекулярных масс например для СО молекулярная масса равна 44, а для Не — 4, что обеспечивает эффективное разделение газов по массам.

Высокая чувствительность испытаний достигается за счет того, что от бирают часть пробного газа, поступающего в механический насос 6, и вновь подают его в течеискатель 9.

Предлагаемое устройство свободно от накопления всего потока газа и необходимости периодической регенерации средств, селективной откачки, т.е. работает неограничено долго в режиме измерения.

Формула изобретения

Устройство для испытания изделий на герметичность, содержащее входную магистраль, средство селективной откачки, течеискатель, первый высоковакуумный насос, форвакуумный насос и соединенную с входом форвакуумного насоса магистраль возврата пробного газа, соединенную с входной магистралью, отличающее с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик при накоплении пробного газа в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя, средство селективной откачки выполнено в виде селективно настроенного второго высоковакуумного насоса, первый высоковакуумный насос, второй высоковакуумный насос и форвакуумный насос,последовательно соединены с входной магистралью, течеискатель

Составитель Л. Рвсянникова

Техред А. Кравчук КоРРектоР Т, Малец

Редактор А. Шандор

Заказ 323

Тираж 446

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

5 1552026 6 соединен с выходом первого высоко- умными насосами, первым из которых вакуумного насоса, а устройство установлен в магистрали возврата снабжено селективно настроенными пробного газа, а второй - в течеистретьим и четвертым высоковаку- . кателе °