Угловой сканирующий интерферометр

 

Изобретение относится к оптическим измерениям, может быть использовано как датчик пространственного положения источника излучения, а также в оптических сканирующих устройствах ввода и вывода информации. Цель изобретения - уменьшение габаритных размеров устройства и упрощение конструкции. Это достигается тем, что излучение лазера 1 разделяется на два потока излучения в формирователе 2 пучков и направляется на объектив 5, за которым расположен зеркальный дефлектор 6. Потоки излучения направляются зеркальным дефлектором 6 на дифракционную решетку 7 и фокусируются вблизи ее поверхности. Взаимодействуя в симметричных порядках интерференции, потоки излучения от дифракционной решетки 7 возвращаются на зеркальный дефлектор 6 и направляются им на фотоприемник 8, формирующий импульсные сигналы в процессе сканирования зеркального дефлектора 6. 1 ил.

СС!ОЭ СОБЕТСН il

СО(..(ИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУ ЛИН

А i

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H A BTOPCHGMY СВУ ДЕП.=.Г1ЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HOM)4T;=T

ПС ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТ).(РЬТИЯ, 4

ПРИ ГННТ СССР (2! ) 4343784/24-28 (22) 15.! 2.87

46) 30.05.90. В .л .% ?О ,71) Инст !туг гехническ >й кибернегики

АН ЬО.Р (72) K). В. Ларченко. Л. М. Леонов, Г . К. Табака:.««i. Б. Бори< в <, 53) 531.7 088 8) (56) Приб. ры лля научных ясс,!снований, 9:6, N> 1, 10! (54) УГЛО!30Й (.КАНИРУЮЩИГ(ИНТЕР ФЕРОМЕ Р (57) Изоьрс-ение относи1ся h опт ческим измсрениям и может быть использовано как татчнк просгрансгаенпого положения ист >яника изл ения, а также н г пт. -:еских ::. !г!пыО;!!и i строиствах !3s0!", и вывода информации. Цель изобретения — уменьшение габаритных размеров устройства и упрощение конструкции. Это достигается тем, что излучение лазера 1 разделяется на два потока излучения в формирователе 2 пучков и направляется на объектив 5, за которым расположен зеркальный дефлектор 6. Потоки излучения направляются зеркальным дефлектором 6 на дифсакционную решетку 7 и фокусируются вбл изи ее поверхности.

Взаимодействуя в симметричных порядках ингерференции, потоки излучения от дифракционной решетки 7 возвращаются на зеркальный дефлектор 6 и направляются им н» фотоприемник 8, формирующий импульсные сигналы в процессе сканирования зеркального дефлектора 6. 1 ил.

1567868

Формула изс<б)ретения

6=i. F, !< (Т< — Л ), с,«. и <нит«.1< 11. М«м<и«-<н<

I «,«)лt<)p К) <,«р«,j

;3;<к tз l:3(4 I èð;tè 4<3<.1 (илии«tt<)«

I3ll (Ill(Ill <>«;и,:р«ти< нн<). <«i tttt< t t tt« tt : ip«t< нни) и <вкрн<тии< i!pi< («I(! С.С P! >t)3), М<)<к«;t., +. 3), <)!! к)< н

Изобретение относится к оптической обработке информации и может быть ис((оль«)hHIHo в системах угловой развертки лаIepIIt)I. пучка при вводе и выводе инфорX1 H lI HH. ,1елью изобретения является уменьшение габаритных размеров интерферометра и упрощение его конструкции.

На чертеже показана оптическая схема предлагаемого углового сканирук(щего интер ферометра.

Устройство содержит лазер 1, оптически связанный с формирователем 2 пучков, включающим полупрозрачное зеркало 8 и зеркало 4, объектив 5, зеркальный дефлектор 6, дифракционную решетку 7 и фотоприемник 8.

Устройство работаег следующиxl образом.

Излучение лазера 1 направляется в формирователь 2 пучков, состоящий из полупрозрачного зеркала 3 и зеркала 4. 11Hillloщий на формирователь 2 пучков поток излучения лазера разделяется полупрозрачным зеркалом 3, стоящим на входе на два 1(oтока прямой и отраженный. Отраженныи от полупрозрачного зеркала 8 поток излучения направляется на обьектив 5, и прямой на зеркало 4, расположенное под углом к оптической оси лазера 1. Отраженный от зеркала 4 поток излучения направляется также на об ьектив 5. Расстояние х3еждУ осями двуx HpHxotlRIHHx на объектив потоков излучения выбирается из условия гдс . длина волны излучения .(азсра;

F,„ пространственная часто га дифракционной решетки; фокусное расстояние объектива;

Л< и Л -номер» взаимодействуюп(их порядков дифракции.

Вышедшие из формирователя 2 ихчков потоки излучения попадают в об.HPI THB 5, направляются далее на зеркальный дефлектор 6, установленный под углом к оптической оси объектива и фокусируются вблизи поверхности дифракционной решетки 7. Дифракционная решетка 7 выполнена отражательной на сферической поверхности и расположена таким образом, что ее центр совпадает с осью вращения зеркального дефлектора 6. В результате взаимодействия с дифракционной решеткой каждый из потоков, дифрагируя на ней, образует дифракционную картину. Одновременно потоки излучения взаимодействуют между собой, интерферируя и приходя на зеркальный дефлектор, попадают в объектив 5. Однако в данном случае рабочими могут быть только симметричные порядки дифракции: 1, 2я

r.ä., при этом (Nt--Ъ2) =2,4,6,... Это вызвано тем, что только при этом условии интерф! p(3pvnIIIHe порядки дифракции от дифракционной ре(иетки 7 направляются по нормали к поверхности этой решетки и попадают на зеркальный дефлектор 6, направляю(ций данный пу юк на фотоприемник 8.

Ука.(анный фотоприемник будет постоянно осве(цен изображением сменяющейся интерференционной картины.

Угловой сканируюший интерферометр, содержащий оптически связанные лазер, формирователь пучков, объектив, зеркальный дефлектор, дифракционную решетку и фото30 приемник, отличающийся тем, что, с целью уменья(ения габаритных размеров интерферометра и упрощения конструкции, дифракци<я(ная p<. Il(E тка выполнена сферической, с отражающим покрытием и установлена так, что IN. IITp сферической поверхности

35 совпадает с осью вращения зеркального дсфлектopH, расположенного на оптической

t>eH объектива, объектив установлен между формирователем пучков и зеркальным дефлектором та, что его фокус совпадает с

4р поверхностью дифракционной решетки, а фотоприемник оптически связан с объективом и установлен на его оптической оси со стороны формирователя.

Угловой сканирующий интерферометр Угловой сканирующий интерферометр 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении плоских перемещений диффузно отражающих объектов

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к интерференциальным измерениям и может быть использовано при измерении рефракции, перемещений, давления и т

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к голографии, а именно к методам голографической интерферометрии, и может найти применение при интерферометрических измерениях в различных отраслях науки и техники

Изобретение относится к оптическому приборостроению, конкретно к оптическим измерениям на основе спекл-интерферометрии

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах
Наверх