Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов с микроканальной пластиной

 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для изготовления фотоэлектронных приборов с микроканальной пластиной. Целью изобретения является повышение производительности и надежности. Устройство содержит камеру 1 загрузки катодных узлов с передающим манипулятором 2, соединенную посредством вакуумного затвора 3 с камерой 4 формирования фотокатода. Камера снабжена передающим манипулятором 5 и соединена через затворы 6 с многопозиционными камерами 7 герметизации. 1 ил.

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам для изготовления фотоэлектронных приборов (ФЭП) с микроканальной пластиной. Целью изобретения является повышение производительности и надежности. На чертеже схематически изображен общий вид устройства. Устройство содержит камеру 1 загрузки катодных узлов с передающим манипулятором 2, соединенную посредством вакуумного затвора 3 с камерой 4 формирования фотокатода, которая снабжена передающими манипулятором 5 и соединена через затворы 6 с многопозиционными камерами герметизации 7. Устройство работает следующим образом. Катодные узлы прибора помещаются в камеру загрузки 1, а анодные узлы и оболочки приборов с микроканальными пластинами в многопозиционные камеры герметизации 7, с числом позиций n. Количество позиций n выбирается по конструктивным соображениям (обычно n ≅ 10). При первой загрузке устройства длительный процесс термоэлектронного обезгаживания оболочек приборов одновременно осуществляется во всех камерах 7. Параллельно с этим процессом загруженные катодные узлы передаются манипулятором 2 из камеры 1 через открытый вакуумный затвор 3 в камеру формирования 4, в которой осуществляется последовательная обработка каждого поступающего катодного узла и передача его по мере готовности посредством передающих манипуляторов 5 через затворы 6 в одну из камер 7 для герметизации с остальными частями прибора, расположенными в каждой из n позиций этой камеры. После окончания процессов герметизации всех n приборов, осуществляемых в одной из камер 7, производится выгрузка из нее готовых приборов и загрузка каждой из n ее позиций следующей партией оболочек и анодных узлов приборов. При этом операция выгрузки-загрузки, а также длительный процесс термоэлектронного обезгаживания вдоль загруженных в камеру 7 оболочек приборов с микроканальной пластиной, производится параллельно с процессами герметизации n приборов, производимых в одной из дополнительных камер 7, причем общее число R камер обработки оболочки прибора с микроканальной пластиной определяется из условия обеспечения непрерывности работы устройства с учетом разницы в длительности временных циклов обработки катодного узла и оболочки прибора с микроканальной пластиной.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ С МИКРОКАНАЛЬНОЙ ПЛАСТИНОЙ и анодным узлом, содержащее камеру формирования фотокатода, соединенную затворами с противоположно расположенными камерами для загрузки катодного узла и герметизации прибора, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, в него введена по крайней мере одна дополнительная камера герметизации прибора, при этом число N дополнительных камер герметизации выбирается из соотношения где Т_а.у время обработки оболочек с микроканальной пластиной и анодным узлом, с; Т_к.у время формирования фотокатода, с; n количество оболочек с микроканальной пластиной и анодным узлом, одновременно обрабатываемых в камере герметизации.

РИСУНКИ

Рисунок 1

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 10-2002

Извещение опубликовано: 10.04.2002        

---