Мишень для магнетронного распыления в вакууме

Авторы патента:

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

Мишень для магнетронного распыления в вакууме, содержащая диск из распыляемого немагнитного материала с углублениями и концентричные полюсные наконечники, расположенные в углублениях, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет уменьшения деформации мишени при ее разогреве, углубления выполнены с нераспыляемой стороны диска, а полюсные наконечники выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого превышает коэффициент линейного расширения материала диска, и жестко соединены с поверхностью углублений, причем их толщина составляет 0,3-0,5 толщины диска.

Изобретение относится к области вакуумно - плазменной технологии и может найти применение в электронной промышленности

Электродуговой испаритель // 1552687

Изобретение относится к нанесению покрытий и может быть использовано в машиностроении при нанесении износостойких защитных покрытий, а также в вакуумной технике, в частности, при разработке новых средств безмасляной откачки газов

Способ получения покрытия из никелида титана в вакууме // 1549108

Способ упрочнения металлорежущих инструментов из быстрорежущих сталей // 1536857

Устройство для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных цилиндрических изделий // 1529765

Изобретение относится к области вакуумно - плазменной технологии нанесения покрытий и может найти применение в машиностроении

Материал катода для получения износостойких покрытий // 1508606

Электродуговой испаритель // 1505064

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении

Способ формирования износостойкого покрытия // 1501534

Износостойкое покрытие и способ его получения // 1495390

Способ изготовления мишени для распыления в вакууме // 1494559

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов