Интерферометр
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных системах станков с ЧПУ. Цель изобретения - повышение точности за счет введения оптической развязки между входом и выходом интерферометра. Пучок света лазера 1 делится на два на грани 4 со светоделительным покрытием. Отраженный пучок от грани 4 падает на световозвращатель 6, проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 6 возвращается на грань 4 с поперечным смещением. Прошедший через грань 4 световой пучок падает на грань 5 призмы 2, отражается от нее и попадает на световозвращатель 7. После световозвращателя 7 пучок проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 7, призму 2 БС-О возвращается на грань 4 с поперечным смещением, равным смещению пучка, отраженного гранью 4. Благодаря поперечному смещению выходного пучка устраняется оптическая обратная связь. 3 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
<я >5 G 01 В 9/02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
° >
3 }
II
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Фиг.1 (2 1) 4444464/24-28 (22) 12,04.88 (46) 23,08.90 Бюл. N. 31 (72) Ю.А.Салоид и О.Н.Мирошниченко (53) 631.715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
N 879289, кл. G 01 В 9/02, 1981. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных системах станков с ЧПУ. Цель изобретения—
I повышение точности за счет введения оптической развязки между входом и выходом ичтерферометра. Пучок света лазера 1 деБ0 1587327 А1 лится на два на грани 4 со светоделительным покрытием. Отраженный пучок от грани
4 падает на световозвращатель б, проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 6 возвращается на грань 4 с поперечным смещением. Прошедший через грань 4 световой пучок падает на грань 5 призмы 2, отражается.от нее и попадает на световозвращатель 7. После световозвращателя 7 пучок проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 7, призму 2 БС-0 возвращается на грань 4 с поперечным смещением, равным смещению пучка, отраженного гранью 4. Благодаря поперечному смещению выходного пучка устраняется оптическая обратная связь. 3 ил.
1587327
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных системах станков с ЧПУ. 5
Цель изобретения — повышение точно- сти за счет введения оптической развязки между входом и выходом интерферометра;
На фиг.1 представлена схема интерферометра, вид спереди; на фиг.2 — то же, вид 10 слева; на фиг,3 — то же, вид сверху, Интерферометр содержит лазер 1, светоделительный блок, выполненный в виде призмы 2 БС-О и жестко связанной с ней прямоугольной призмы 3 БР— 180, на малые 15 грани 4 и 5 призмы 2 нанесены, соответственно, светоделительное и зеркальное покрытия, светоделители 6 и 7, оптически связанные с компенсатором 8 и, соответственно, с гранями 4 и 5 призмы 2, компенса- 20 тор выполнен в виде призмы БР-180 и жестко связан с большой прямоугольной гранью призмы 2, и фотоприемник, установленный, по ходу совмещенных пучков (не показан), 25
Интерферометр работает следующим образом.
С лазера 1 когерентное излучение поступает на границу раздела воздух-стекло под углом, близким к нормальному паде- 30 нию, на равнобедренную призму 3 с углом при вершине 90, При этом траектория прохождения излучения не меняется. На малой грани 4 призмы 2 происходит деление потока излучения на два. Один поток, отразив- 35 шись от светоделительного покрытия через уголковый отражатель 6, попадает на ком- пенсирующую призму 8 и после отражения проходит все указанные элементы 4 и 3 в обратном направлении. Прошедший же че- 40 рез светоделительное покрытие поток про. ходит последовательно элементы 2, 7 и 8 в прямом направлении, После отражения в компенсирующей призме 8 лазерный луч проходит элементы 7 и 2. Можно подобрать 45 такое положение лазера 1, моноблока, состоящего из элементов 2, 3 и 8, при котором лучи, пришедшие от двух отражателей 6 и 7, совмещаются в точке на светоделительном покрытии грани 4, в которой происходит 50 интерференция лучей, прошедших по периметрам измерительного и референтного плеч.
Смещение уголковых отражателей в горизонтальной плоскости не вызывает смещения интерферирующих лучей и не приводит к потере информации о перемещении уголковых отражателей 4 и 7 в вертикальной плоскости. Наклоны уголковых отражателей, вызванные вибрацией, то же не влияют на качество сигнала интерференции. Наклоны моноблока интерферометра, состоящего иэ элементов 2, 3 и 8, не приводят к потере качества интерференционной картины, Благодаря поперечному смещению выходного пучка устраняется оптическая обратная связь, из-за которой часть энергии попадала в капилляр лазера и появлялась неопределенность значения длины волны светового пучка лазера.
Формула изобретения
Интерферометр, содержащий лазер, оптически связанный с ним светоделительный блок, выполненный в виде призмы БС-О, на одну малую грань которой нанесено светоделительное, а на другую — зеркальное покрытие, и установленный так. что световой пучок от лазера проходит через грань со светоделительным покрытием, два световозвращателя, выполненные s виде уголковых отражателей и установленные соответственно по одному в пучке. отраженном от грани со светоделительным покрытием, и в пучке, отраженном от грани с зеркальным покрытием, и фотоприемник, установленный после световозвращателей по ходу совмещенных пучков, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен прямоугольной призмой БР-180, установленной между лазером и светоделительным блоком так, что гипотенузная грань прямоугольной призмы расположена на грани призмы БСО, и компенсатором. оптически связанным с обоими световозвращателями, выполненным в виде призмы BP — 180 и установленным на большой прямоугольной грани призмы БС вЂ” О.
1587327
Составитель М.Минин
Техред М,Моргентал Корректор В.Гирняк
Редактор В.Данко
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 2411 Тираж 490 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
