Лазерный проекционный микроскоп
Изобретение относится к квантовой электронике, а именно к лазерным проекционным системам, и может быть использовано для визуального контроля БИС, фотошаблонов для исследования микрообъектов в медицине и биологии. Цель изобретения - увеличение контраста и яркости изображения, предотвращение паразитной генерации. Излучение от элемента 1 лазера освещает образец 3. Отраженный от образца 3 свет через микрообъектив 2 проходит через активную среду элемента 1 лазера, усиливается и проецируется оптической системой 4 на плоскопараллельную пластину 6 и далее на экран 5. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„яц„„1597831 (51)5 G 02 В 21/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4275012/31-10 (22) О!.07,87 (46) 07.10.90. Бюл. № 37 (71) Специализированное конструкторское бюро с опытным производством Отдела теплофизики АН УЗССР (72) Д. Т. Алимов, А. М. Бакиев и Г. Г. Юсуф (53) 535.822.1 (088.8) (56) Беляев и др. Установка визуального контроля ИС с лазерным проектором.—
Электронная промышленность, 1976, т. 53, с. 39 — 40. (54) ЛАЗЕРНЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ МИК
РОСКОП
2 (57) Изобретение относится к квантовой электронике, а именно к лазерным проекционным системам, и может быть использовано для визуального контроля БИС, фотошаблонов для исследования микрообъектов в медицине и биологии. Цель изобретения — увеличение контраста и яркости изображения, предотвращение паразитной генерации. Излучение от элемента 1 лазера освещает образец 3. Отраженный от образца 3 свет через микрообъектив 2 проходит через активную среду элемента 1 лазера, усиливается и проецируется оптической системой 4 на плоскопараллельную пластину 6 и далее на экран 5.
1 ил.
1597831
Формула изобретения
Составитель С. Орешин
Редактор С. Патрушева Техред А. Кравчук Корректор С. Шевкун
Заказ 3054 Тираж 452 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР ! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
Изобретение относится к квантовой электронике, а именно к лазерным проекционным системам, и может быть использовано для визуального контроля БИС, фотоугла блоков, для исследования микрообъектов в медицине и биологии.
Цель изобретения — увеличение контраста и яркости изображения, предотвращения паразитной генерации.
На чертеже приведена схема лазерного проекционного микроскопа.
Предлагаемый лазерный проекционный микроскоп содержит активный элемент 1 лазера, по одну сторону которого расположен микрообъектив 2 и исследуемый образец 3, а по другую — оптическая линзовая проекционная система 4 с экраном 5. В центр каустики системы 4 перпендикулярно оптической оси активного элемента 1 лазера (оптической оси проекционной системы) помещена плоскопараллельная прозрачная пластина 6.
Устройство работает следующим образом.
Излучение активного элемента 1 лазера проходит через микрообъектив 2 и освещает исследуемый образец 3. Отраженный от образца 3 свет, несущий информацию о поверхности этого образца, через микрообъектив 2 снова попадает в активную среду элемента 1 лазера, где происходит его усиление. Усиленное по яркости изображение образца 3 при помощи оптической системы 4 проецируется через плоскопараллельную пластину 6 на экран 5.
Лазерный проекционный микроскоп, содержащий микрообъектив, активный элемент лазера, проекционную оптическую систему с экраном, отличающийся тем, что, с целью увеличения контраста и яркости изображения, предотвращения паразчтной генерации, в центре каустики проекционной оптической системы установлена плоскопараллельная прозрачная пластина, перпендикулярная оптической оси.
