Патент ссср 162403

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

GDNCAHNE

ИЗОБРЕТЕН И. Н

K АВТОРСКОМУ СВИД,ЕТЕЛЬСТВУ

go 162403

Класс

48d, 1

МПК

С 28Ь

Заявлено 05.Ч11,1962 (¹ 785681/22-2) ГОСУДАРСТВЕННЫИ! КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Опубликовано 16.1Ч.1964. Бюллетень № 9

УДК

Подписная группа Л3 112

М. И. Осовский и М, Д. Любалин

ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, НАПРИМЕР, МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ГЕРМАНИЯ

Известны способы химического травления, например, металлического германия в раство-, рах, состоящих из 30%-ного раствора перекиси водорода и 10 /о-ного раствора щавелевой кислоты, или в растворах, состоящих из азотной и плавиковой кислот и бората натрия.

Предложенный способ травления отличается тем, что используют травитель следующего состава: 5%-ный раствор перекиси водорода и 0,5о/о-ный раствор марганцевокислого калия в соотношения 8: 1. Это исключает необходимость применения дорогостоящей платиновой и кварцевой посуды.

В сосуд из винипласта, полиэтилена, фторопласта или другого материала, стойкого к действию перекиси водорода, маргенцевокислого калия и соляной кислоты, погружают без предварительной пескоструйной очистки германий и заливают вначале раствором, содержащим марганцевокислый калий, а затем до полного покрытия металла раствором перекиси водорода.

В результате химических реакций выделяется атомарный кислород, который окисляет поверхность германия. Образуется двуокисная пленка.

Через 4 — б мин травитель сливают. Для снятия двуокисной пленки и растворения осадков германий заливают на 1 мин б — 7 н. раствором соляной кислоты.

После этого германий тщательно промывают ионоочищенной водой.

Предмет изобретения

Электролит для травления, например, металлического германия, отличающийся тем, что, с целью замены дорогостоящей платиновой и кварцевой посуды, используют травитель следующего состава; 5%-ный раствор перекиси водорода и 0,50/о-ный раствор марганцевокислого калия, взятые в соотношении

8: 1.

Патент ссср 162403 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к очистке поверхности полупроводниковых пластин от металлических загрязнений, а также к регенерации отработанных травильных растворов и может быть использовано в радиотехнической, электротехнической и других отраслях промышленности
Наверх