Патент ссср 169285

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Кл. 42l, 4qq

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17.1.1963 (№ 814056/23-4) МПК G 01п с присоединением заявки ¹

Приоритет

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

Опубликовано 11,111.1965. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 28Л I.1965

УДК 620.1.087.4: 621.

384.8 (088.8) Авторы изобретения М. И. Меньшиков, Г. Ф. Ивановский, А, С. Назаров, Л. E. Левина, В И Карпов и В В Пименов

Подписная группа № 178

Известны масс-спектрометрические течеискатели, состоящие из азотной ловушки и подключенных к ней посредством вентилей массспектрометрической камеры, калиброванной гелиевой течи, механических насосов, ионизационного и термопарного манометров и сильфона.

Чувствительность известных масс-спектрометрических течеискателей, например типа

ПТИ-6, МХ-1101, не удовлетворяет повышенным требованиям производства. Используемый в течеискателе ПТИ-6 насос НВО-40 позволяет достигнуть дискриминации в скорости откачки гелия по сравнению с воздухом в отношении 1: 6. Для увеличения чувствительности необходимо уменьшить величину этого отношения.

Предлагаемый течеискатель снабжен гетерно-ионным насосом, который позволяет достигнуть дискриминации в скорости откачки гелия по сравнению с воздухом в отношении

1: 100 и тем самым увеличить чувствительность течеискателя.

На чертеже показана схема предлагаемого течеискателя.

Он содержит масс-опектрометрическую камеру 1, вентиль ДУ-24 2, ионизационный манометр 8, азотную ловушку 4, калиброванную гелиевую течь 5, вентиль ДУ-8 б, сильфон 7, вентиль ДУ-40 8, насос ДВН-5-2 9, термопарный маномер 10, насос МГВН-50 11, вентиль

ДУ-14 12, дросселирующий вентиль 18, испытуемый объект 14, гетерно-ионный насос 15 и прогреваемый высоковакуумный вентиль

ДУ-25 1б.

Испытания проводят следующим образом.

Испытуемый объект 14 присоединяют к дросселирующему вентилю 18. Гелий откачивают механическими насосами 9 и 11 через вентили

N 18, 8 и 12. Вентили 2 и 1б при этом закрыты.

По достижении рабочего давления, измеряемого с помощью ионизационного манометра 8, открывают вентиль 2 и проводят испытания объекта по обычной методике. Поток гелия

15 Q, проникающий через течь в объекте, вызывает повышение парциального давления гелия в масс-спектрометрической камере 1, что регистрируется течеискателем.

20 После устранения всех течей, доступных обнаружению обычным методом, течеискатель перестраивают на повышенную чувствительность. Вентиль 8 закрывают, а вентиль 1б открывают. После установления равновесного

25 сигнала течеискателя продолжают испытания объекта.

Дискриминация в откачке гелия приводит к тому, что наименьшее регистрируемое парциальное давление гелия создается меньшим

30 потоком гелия, чем без дискриминации.

)69285

Предмет изобретения

Составитель Ю. Власов

Техред Т. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина

Редактор T. Ларина

Заказ 1547/18 Тираж 1100 Формат бум. 60)(901)8 Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Масс-спектрометрический течеискатель, состоящий из азотной ловушки и подключенных к ней посредством вентилей масс-спектрометрической камеры, калиброванной гелиевой течи, механических насосов, ионизационного и термопарного манометров и сильфона, отличаюи ийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, к азотной ловушке через выса5 ковакуумный вентиль подключен гетерно-.ион. ный насос.