Ультразвуковой способ измерения толщины пленки

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок в процессе их изготовления. Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключения погрешности, вызванной неидентичностью элементов. Для этого до нанесения пленки колебания, принятые первым приемником 3, через усилитель 5 направляют обратно на излучатель 2 в противофазе и получают нулевое результирующее колебание. О толщине растущей пленки судят по величине сигнала, возникающего в результате рассогласования колебаний с ростом пленки, принимаемого вторым приемником. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) I

А1 (51) 5 G 01 В 17/02ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

Г)О ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

>>РИ ПЯТ СССР

1 (21) 4437729/25-28 (22) 08, 06. 88 (46) 07,11.90. Бюл. И 41 (71) Восточно-Сибирский технологический институт (72) В.П.Базаров (53) 531.717(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

)) 198691, кл. G 01 В 17/02, 1963.

Авторское свидетельство СССР

»" 538233 > кл. G 01 В 17/02, 1976 . (54) УЛЬТРАЗВУКОВОЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ

ТОй)(ИНЦ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может

2 быть использовано для измерения толщины пленок в процессе их изготовления.,Целью изобретения является повыщение точности измерения за счет исключения погреаности, вызванной неидентичностью элементов. Для этого до нанесения пленки колебания, принятые первым приемником 3, через усилитель 5 направляют обратно на излучатель 2 в противоФазе и получают нулевое результирующее колебание.

О толщине растущей пленки судят по величине сигнала, возникающего в результате рассогласования колебаний с ростом пленки, принимаемого вторым приемником. 1 ил.

1605142 блоком 7> который можно проградуировать по толщине наносимой пленки.

С течением времени сигнал увеличивается в соответствии с ростом пленки, что позволяет контролировать толщину пленки во время ее роста.

Описанный способ позволяет повысить чувствительность и точность измерения толщины пленок в процессе изготовления, так как не требует геометрически идентичных и расположенных на определенном расстоянии двух излучателей.

Составитель В.Кольцов

Техред Jl. 0ëèéíûê Корректор И. Самборская

Редактор Л,Гратилло

Заказ 3449 Тираж 478 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, 8-35, Раувская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина,101

Изобретение относится к контрольно"измерительной технике и может быть использовано для измерения тол« щины пленок в процессе их нанесения.

Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключения погрешности, вызванной неидентичностью элементов.

На чертеже приведена блок"схема. 10 устройства, реализующего ультразву. ковой способ измерения .толщины пленки.

Устройство содержит подложку 1, на которую наносится контролируемая пленка, излучатель 2., приемники 3 и 4, размещенные по разные стороны .. излучателя, усилитель 5, генератор

6 и регистрирующий блок 7.

Способ заключается в следующем. 20

На подложку 1 наносят три одинаковых преобразователя упругих поверхностных волн, на один из которых (излучатель 2) подают исходный сигнал от генератора 6, а второй (при- 25 емник 3) принимает этот сигнал, который передают через усилитель 5 в . противофазе обратно на излучатель 2 для наложения на исходные. колебания,. с целью получения нулевого результи ;рующего колебания в подложке 1 (до нанесения пленки). В пространстве между излучателем 2 и приемником 3 наносят пленку, что приводит к рассогласованию колебаний и на приемнике 35

4 появляется сигнал, регистрируемый

Формула изобретения

Ультразвуковой способ измерения толщины пленки, заключающийся в том, что в подложке, на которую наносится пленка, с помощью подключенного к генератору излучателя возбуждают упругие поверхностные колебания, принимают посредством приемника колебания, проведшие подложку, суммируют сигналы и по величине результирующего сигнала судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, сигналы суммируют на излучателе, в качестве суммирующих сигналов используют сигнал с генератора и проинвертированный по Фазе сигнал приемника, а величину результирующего сигнала определяют по сигналу, принимаемому вторым приемником, размещенным с противоположной стороны излучателя.