Устройство для контроля микросхем
Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано как подключающее устройство при контроле электрических параметров микросхем. Цель изобретения - повышение надежности контроля. Перед заправкой устройства проверяемой микросхемой 21 переключением распределительного клапана 17 разряженная рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 и полость 14 корпуса 1 сообщаются с атмосферой. В итоге давления в камере расширения 8 и полости 14 выравниваются, а основание 9 с прикрепленной к ней проверяемой микросхемой 21 отодвигается от зондовых контактов 3 из-за возвратного действия пружинящих элементов 10. Одновременно с этим ввиду отсутствия разряжения в рабочей камере 15 пневмоцилиндра 5 пружина 13 перемещает исполнительный шток 12, который выводит подвижную каретку 4 из внутренней полости корпуса 1, открывая входное отверстие 7. Когда каретка 4 полностью выходит из корпуса 1 и останавливается, выполняется замена микросхемы 21. После переключения клапана 17, когда рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 сообщается с вакуумным насосом 16, исполнительный шток 12 начинает перемещаться в обратную сторону, вталкивая каретку 4 с камерой расширения 8 и микросхемой 20 во внутрь корпуса 1. С момента, когда каретка 4 полностью входит в корпус 1, ее крышкообразная часть 6 закрывает входное - выходное отверстие 7 и корпус 1 герметизируется. В этот момент через другой тракт распределительного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпуса 1. В ней образуется разряжение (вакуум). В итоге образования в полости 14 вакуума атмосферное давление в камере расширения 8, преодолевая упругую силу пружинящих элементов 10, начинает приподнимать вверх свою подвижную стенку основание 9 вверх, прижимая микросхему 20 к зондовым контактам 3. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (!9) 01) Al
ОПИСАНИЕ NSOE)PETEHNR Н А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 4443561/24-21 (22) 20.06.88 (46) 23.12.90. Бюл. Р 47 (71) Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса (72) А.И.Федаравичюс, К.М.Рагульскис, А.Л.Судинтас, К.К.Римшялис и В.В.Ротов (53) 62.396.049(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР У 728277, кл. Н 05 К 1/04, 1980. Патент С1ПА М 3970934, кл. С 01 R 1/06, 1976. 1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ К!КРОСХЕМ (57) Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано как подключающее устройство при конт3 21 2 2 роле электрических параметров микросхем. Цель изобретения — повышение надежности контроля. Перед заправкой устройства проверяемой микросхемой 21 переключением распределительного клапана 17 разреженная рабочая камера !5 пневмоцилиндра 5 и полость 14 корпуса 1 сообщаются с атмосАерой. В итоге давления в камере расширения 8 и полости 14 выравниваются; а основание 9 с прикрепленной к ней проверяемой микросхемой 21 отодвигается от зoíäoâûõ контактов 3 из-за возвратного действия пружинящих элементов 10. Одновременно с этим ввиду отсутствия разрежения в рабочей камере 15 пневмоцилиндра 5 пружина 13 перемещает исполнительный шток 12, который выводит подвижную каретку 4 1615897 из внутренней полости корпуса 1, откривая входное отверстие 7. Когда каретка 4 полностью выходит из корпуса 1 и останавливается, выполняется замена микросхемы 21. После переключения клапана t7, когда рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 сообщается с вакуумным насосом 16, исполнительный шток 12 начинает перемещаться в обратную сторону, вталкивая каретку 4 с камерой расширения 8 и микросхемой 21 во, внутрь корпуса 1. С момента, когда каретка 4 полностью входит в корпус 1, ее крышкообразная часть 6 закрывает Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано как подключающее устройство при контроле электрических параметров микросхем. Цель изобретения — повЬ шение на,", дежности контроля. На чертеже изображено устройство, общий вид. ЗО Устройство для контроля микросхем содержит корпус 1, в котором неподнижно установлен адаптер 2 с зондовыми контактами 3, подвижная каретка 4 и пневмоцилиндр 5. Подвижная каретка 4 соединена с крышкой 6, посред35 ством которой при движении каретка закрывает отверстие 7 корпуса 1. На каретке 4 жестко закреплена камера 8 расширения, имеющая вертикально-подвижнуй стенку-основание 9, связанную с остальной частью этой камеры посредством пружинящих элементов 10. Камера 8 расширения через патрубок 11 сообщена с атмосферным пространством. Горизонтальное продвижение каретки 4 обеспечивается с помощью пневмоцилиндра 5, исполнительный шток 12 которого, установленный с помошью пружины 13 сжатия, жестко соединен с крышкой 6. Разрежение в полости 14 корпуса 1 и рабочей камере 15 пневмоцилиндра обеспечивается с помощью вакуумного насоса 16, который 55 сообщен с ними через распред"чительный клапан 17 питания, Для обеспечения достаточной герметизации камеры при ее закрывании на крышкообразной чаr.òè предусмотрено уплотнение 18. входное — выходное отверстие 7 и корпус 1 герметизируется. В этот момент через другой тракт распределительного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпуса 1. В ней образуется разрежение (вакуум). В итоге образования в полости .14 вакуума атмосферное давление в камере расширения 8, преодолевая упругую силу пружинящих элементов 10, начинает приподнимать свою подвижную стенку-основание, прижимая микросхему 21 к зондовым контактам 3. 2 з.п. ф-лы, 1 ил. Устройство также содержит источник 19 инертного газа, сообщенный с внутренней полостью 14 корпуса 1, и блок 20 контроля, электрически соединенный с эондовыми контактами 3, осуществляющими контроль закрепленной на основании микросхемы 21. Устройство работает cëåäóþùèè образом. Перед заправкой устройства проверяемой микросхемой 21 переключением распределительного клапана 17 разреженная рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 и полость 14 корпуса 1 сообщаются с атмосферой. В итоге давления в камере расширения 8 и полости 14 выравниваются, и основание 9 с прикрепленной к ней проверяемой микросхемой 21 отодвигается от зондовых контактов 3 в результате возвратного действия пружинящих элементов 10. Одновременно с этим ввиду отсутствия разрежения в рабочей камере 15 пневмоцилиндра 5 пружина 13 перемещает исполнительный шток 12, который выводит подвижную каретку 4 .из внутренней полости корпуса 1, открывая входное отверстие 7. Когда каретка 4 полностью выходит из корпуса 1 и останавливается, выполняется замена микросхемы 21 и после переключения клапана 17, когда рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 сообщается с вакуумным насосом 16, исполнительный шток 12 начинает перемещаться в обратную сторону, вталкивая каретку 4 с камерой расширения 8 5897 6 ный с пс тип ттю 14 корттуга 1. В этом случае после вхот я кяр тки 4;т корпус 1 и зякрттвяттття отт ерстття 7 через распределительный тслагтя н 1 начинает5 ся вакуумный ттсос яозттухя т 3 полости 14, я нескоят.ко позднее при оп50 5 161 и микросхемой 21 вовнутрь корпуса 1. С момента, когда каретка 4 полностью входит в корпус 1, ее крышка 6 закры. вает входное-выходное отверстие 7, и корпус 1 герметизируется. В этот момент через другой тракт распределчтельного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпуса и в ней образуется разрежение (вакуум). В итоге образования в полости 14 вакуума атмосферное давление в ка— мере расширения 8, преодолевая упругую силу пружинящих элементов 10, начинает приподнимать свою подвижную стенку-основание 9, прижимая микросхему 21 к зондовым контактам 3. В таком состоянии устройства блоком контроля 20 осуществляется измерение электрических параметров микросхемы 21 Проверка происходит в герметических условиях без наличия пыли в вакуумной среде. Глубина вакуума обеспечивается в зависимости от конструкционной точности выпог пения устройства и мощности вакуумного насоса.16. Следовательно, в таких условиях контроль проводится более надежно и с более достоверными результатами, так кяк избегается наличие диэлектрической .тыли, влажность окружающей среды исключительно мала, что значительно уменьшает коррозию контактньтх зондов. Кроме того, в таких условиях силы механического прижатия микросхемы к зондовым контактам требуется меньше, а это служит для предохранения повреждения и контактных площадок микросхем и зондовых контактов. После проверки микросхемы переключением распределительного клапана 17 рабочая камера 15 и полость 14 сообщаются с атмосферой, давление в них поднимается, исполнительный шток 12 пневмоцилиндра 5 начинает выводить каретку 4, а камера 8 расширения, сжимаясь, отводит микросхему 21 от зондовых контактов 3. Галее действие устройства повторяется. В случае необходимости контроля микросхем, не подлежащих механическо-. му соприкосновению с зондовыми контактами 5, возможно проведение бесконтактного контроля с помощью электрического тлеющего разряда. Для его проведения при более низких напряжениях в устройстве предусмотрен источник 19 инертного газа, сообщен10 45 ределенттот1 рязреткентттт нячттттаез ся подзча инертного гязя nò источника 19. Падение дяттлеттия: полос ти 14 приостанавливается и расширение камеры 8 заметно уиеньшяется. При этом передвигающееся основание 9 также приостанявлигяется, не довс Ля микросхемы до зондовых контактов 3. В таком ттсзначительнои и чувствительном подводе микросхемы 21 к зондовыи коня актяи 3 блокотт контроля 20 осуществляется проведение процесса беск. Hòàêòíàão измерения п:-.ряметрсв микросхемы путем подачи к зонповыи контактам импульса напряжения определенной величины, способного ссздать тлеюшитт электр..ческий разряд. Сразу осле операции бесконтактного контроля подача инертного газа от источникя 19 прекряшяе".-..я (33Kpbl тиеи клапана в его тракте питания), а полость корпуса 14 и рябочяя камера 15 с переключением кляпяна 17 сообщаются с атмосферным;тространством. Далее операции выводя и ввода каретки 4 с микросхемой 21 и корпуса повторяются, как и в случае при контактном контроле. В реальных условиях контроля микросхем проверка осуществляется при следующих параметрах. При контактном контроле: сила статического прижима зонттоных контактов к тсонтактньти плоцядкяи микросхеи— че менее 35-40 при типовых ис.ольчатых зондах с иинимяльньттт зягружением рабочего конца. Нестабтт,т ттость измеряемого параметра в среднем диапазоне 0,05 — О, 12Х номинального значения. При бесконконтактном контроле в аргоновой среде: разрежение аргоновой среды 40-70 KIIR нягтр явление зажигания разряда в аргоновой среде 300400 В, зазор между поверхностью микросхемы и зондовым кон- яктом 35 45 мкм, нестабильность изисряеиого параметра около 0,17. При бесконтактном контроле в атмосферной среде: напряжентт зажигания разряда 300-1000 В, зазор между поверхностью микросхеиы и зот ттовым кон1б15897 тактом 35-45 мкм, нестабильность измеряемого параметра 0,5-1Õ. Формула изобретения Составитель Н,Шмелев Редактор М,Бланар Техред М,яндык Корректор В,Гирняк Заказ 3997 Тираж 695 Подписное ВНЯИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 с 1. Устройство для контроля микросхвм, содержащее корпус, адаптер с зондами и камерой расширения, снабжеиной патрубком для подвода газа и ос ованием для .размещения контролируем и микросхемы, о т л и ч а ю щ ее ц я тем, что, с целью повышения надежности контроля, корпус дополнительно содержит крышку,, выполненс ную заодно с камерой расширения, установленной в корпусе, патрубок кото рой соединен с атмосферой, а крышка 5 выполнена с возможностью вакуумного соединения с корпусом. 2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что крышка с камерой расширения смонтированы на 10 подвижной каретке, соединенной с приводом. 3. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что полость корпуса выполнена с возможностью соедине3 1>, íèÿ с источником инертного газа.
