Способ температурной компенсации начального уровня сигнала тензорезистора
Изобретение от поен г г ъ кчмоМеТрИН И ЧЧдеТ ИГПОПЬЧОГЛНО П тенэомчiрпчеci и ,. ме-тчнЧРСКИХ П П1Ч1Ш, ЧЛбОТЛЮШГ- Щ II РpeMonnif- i гмпер i ryi а . I PJIF. ч оп кТСНИЯ - ГНИ- РНИР . П Л I1 1 ( i 1 ление ге м К)1)рчип nfuin чл гчс , р мшН ЗОПроТРНИР О1НСГП1ГЯ I С iO ti lрич и по/.сг быг1 ис ю в гопзометри юсьих летчиках механических величин, рлГ 0-j ашцлл npii перс пснпчх темперягурлк. Поль изобретения - спи нн чгнрат на и чготовггенпе тен оре пстора за счег рассшрения лопуск ) iui отклонения электрофизических CJJOIICIR материален участков. Указа пая цель достигается р-я°мещением обпей точки лвух участком в геометрическом центре тенэореэистора, выполнением одного из участков рения допуска па .мкл чгннп t ГрОфИЗПЧРСКИХ CliOl lC ГН TUMI Ml I I част ков , что до ч in Л М с р i MCI i - нием o6i4,Pi i точки днух учи i ° i1 ометричРском цен i ре тгчпо{)ецц иц о ныlЮJlHPHиe одно о in уч;к гр i виде прямого отротм иротп т ика pt1- шепш, соедипяшг м о ooi iym IOMIV двух учас гкои с ITL IHHIM ь кот но тм подбором ма i (.чтя i, i гчпо у ч и i .. i О111О1Г1ОНПЮ 1ч Ma I (JMIDJIV. I flVl ir.i .. ка гаким, i oDu HOIHIIK-IDI i Пар( ТСрПО-ЧКЧч Г bOUJUDuM t,) I M i ЛПлСНИО рЛЬП П.К Ь ПО IK , чiO . iiin гельнч п iriMein нии it 14.1 ч,IK i . уронил HMMVUIOI о CHI на ia 01 ит1 i i i уры, и ос ii ос i пчсччк ч 11 ч и oi i i .. м ратуриоп ко-чкч аппп |пч .лир ш ,п 1 1ПрЯЖ(ЧП,1 П,| J ч 01 l.lH M.i;. , с ДИНРН1П1Х С К( ПИ 1ЧГ )( i1 11 П. ГЦОСЧ ОПИ ПС1К -|Ь ЧЦ 41 ЛТ1Я UpOi Н1Г- , ф(Ч f, j И I I 1Л I Ч Ь1 I тсчпорс ( i орчп . HI: . 14), I PI li ЧНД1. 1ФГМОГО v. 1 д/1 il ( Iipi Ь , 11),,, I , - ПОТКИ , ( C ПИН I i, i I ( i if 1 v in i ч J . , i i участков с lupitiM т ч аи л;- оч, ргм -ч я j ерн.тр .1чг, : iciha пч , i Ичиенпи) к ма ,, .ч ,и.ого / i. i , таким, чтобы no iiiiiK.un ЧРи и , , i , . тер-:оэлек j род Нлуца : си id nj пч ил - но рльнялас, по 1-ол|1чнне дчгк ii ь ч р ному изменении печального jioi4iM i ходного спгна .a or тем epaiypn, и осуществлением точной lerTUi компенсации регулирораннг м н, in i; ri на двух токовыводах, соедин ч, г концами решетки. iG О к% -ч. ;ю К ел ,„
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СО!.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
G 01 В 7/18
i..,;1Й(5!.. °,!
1а, - .,,I-ilgjg."". .) " ->А
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К Д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
УР 1! ИЯ )31!X(>!
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01НРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 44 F 7986, ;) 8 (22) 27.06.88 (46) 15. Г>2 ° 91. Iвл. 6 (71) I()IP}3CI(tlt. IIO;Ilf гехilllЧРCKIII! 11}l— сти1 уT им, )0 ис Iия Ве)иl!(О)! ()KTH6J)l— ской с Ош(лии!с г!1 (ес)со)1! J! å})oëloøíf (7?) l(). . Глу(яеико, )3. I(. IIII«ff T)IJr и Г.С.В>бабаян (53) 531.781,2(088.8) (56) Автгрск >Р <. (<и, Ь" 112322, к:(, (! (11 В 7/18, 1с} 7. )>ВтОРГ НОР с в;и<< ГРЛ: (!!3 (,(,(,! N 115009, ) . (01 1, 7/18 19)8 (54? (.J10(:(11> Tt:."JIII:I Ë"" 8110(< ()I II! jj(.. — ! 1И11 11)3<1<(,. 11>!1() !"0 У Р(! }(I I SI (. 111 l I Ë I, Т! I l . (iР Г 311 (."! 0 Р?> (57) Иэсбрс I (IIJIC Отио< I . гГH к тс н «>метрш(и ..o)(Рт б;.)т). НГпол).inгл»О и тенэо.l(Tpli lc:cf:l!x, i! Нкэ;; ?1Г.Х:1 !i! чРски;с во и! !!II! !>а бота!в! (Нх !f1,il НР ремРниl! . c?(и< р;1 г) j:и .. . !!Ри((I",i)i)p(°вЂ” TåIfJfя — c Il1l с.!tif(! эл)рлт I!;i ление геl ворс ис I и< в )и < (с . и;:<.! !ll If . 3 О и р (, т Г ) > и с О .! J! o (1 l c H I г! > i . 3 (i l! 1 рии и мо >ег б(!гь ис(ио:!ьэоил:< )3 теиЭОМЕтРП IQCKII:С ДЛ1ЧИКак МЕХЛ(И (CCI(ll:( вел)ии!и, рлбсггл! ((;(х гри псpPM
1!ель и э обре те}llfH — c! II .,",C I!If< (3(, !рат на изготовление теи о; с.э;!сторл за счет рлс(<п(рения допуск<1 )и, Отклонения эг(ектро()г(эических с )оиств млтериалои учлстко)3. Уклэл):нля цель достигается размещением об(;(е)! точки двух у (лстков В геометрическсм центре тенэореэисторл, выполнением одного из участков „„Я0„„1627825 М рения допуска нл, 1кл< ТРОЯНHlf>loci(! Ix с )<О((с т)3 учас1ков, чт<> до: 11(1 лгтся j л"?1
HHc и Об(>(Р)1! 1 Очки ((1)ух ; l l < 1 ометрическом центре тс иэорс и<Г»(О 1)bit)C>))EIPEIffP?. (ДНОГO ИЭ УЧЛС К(i: виде прямого Отрс )кл ир<)«<>,<и!(кл p<— ше i ки, cc! cij! Ifll Hl<>l го Ос>! (уiii тон K J г(вух учлс гкон c: 1!(. J!1! I IM т I <>13!, (3<:; иодборо .1 мл I (рпл I J . г< O1IJOiIlOШИВ I М((т< Рil(!ЛУ,<(РУ! < кл т;IKltM, I ойы 1 ; о:!!и!тс JJE)tl<>><) II Г(ll! IP)1)II IX (1 (1! I t?Ill Ji(!l! Тi.ll . (!IOC
>«СГ С 1 i)l i i l II(ll !;I!! i! i!i"! II < IH И >О И illl; il)(i!:J),I.< l (х Il !i(,(I-! II (P:i !i!!; IX тс ilэc рс".:,I!<. I < и ii, 2 >И(;(<. ИРЯ?(О!.<) (1;,! !! И Р! !3 li! i.„ ilCTi(1i > С<.(. Ifi!)!l.l! f! :! (Ci У<(ЛС Т К О)3 Г II C Р (3()I 1 >: ° i!!i .!3(! (i I НОГ(<)О" Р< М М 3 i PP!1!HH i! «Г<, lIO РЛИНЯ:(СIС! ПО ) !. !il!
НОМ < ИЗМЕН C !till ИЛ 1 1.11 )IО; С> Vi>ГJ!!! < I I .ОдногО Гиг!IH.!(1 О г т<3! (::(рсl гурl! > Ji осуШс твленисм т-очнои c!. .!i. р 3, .( комгенсл(в<и регу:и(ров (illfc? l НЛ ДВУХ ТОКО})ЫВОДЛХ СОС)Щ! ИР«Ei (:. концами решетки. 1627825.На фиг. 1 схематично представле(1 тензорезистор с термокомпенсацией нач:i»нного уровня выходного сигнала, на (1)1(г.2 -. схема его включения в и 3 5 меритепь((ую цепь. 1 (? н 3 О i) (з!10 1 c!j) co jiej))<(HT г(ОдпОжку 1 > злкреп.! ин ю нл i!ей рещетку тензере3 If C 1 0p.I ll ) J(I3V)! $ 1 ей то .,(1 . 4, и гоковыводы 5, 6 и 7, соеци (с?(ьнь;е с к()нцлми I(проh åæóòî÷1 1 n1! т О ч 1 0 и Ь 71 е > t P- T I(((С П О С О 6 0 С ° 1! e C Т 3 и я Ю Т (1 J t e д <у К)1((И М 0 f> разом. При изготовлении партии тензорезисторов ил иробшнх технологических э<1(3 .i .>,Bj,(!: . 0; бирлют !B t i>l!1,>(.0,;!РЕ 31(i tfj)OBO>,(tl)hз РС.ЩЕТКИ, с . 0(.,"lll(кгн Iс. 1 n <) и (ti 0$! i )< енн h> 13 1 с? ()Г(с- 1 20 p! I . (ск: . !(с ll l рс тен;Оре ;Ifc f oðo с бг(v13 у («еj> l: t! г ОкОвы(30,ot 1 5 1 л( i! (1i)! 1 !3 О ; :! И К.!!i f!Ë >1 V t! t j) <1 t <(ii C j) if )101110! 1 lj в 1 <1;1()l 0 уi! (С, ко(3 7 и 3 1 с .р— 100:!(к >! 1!1 311 <, <(ля (. I!! 1(7)! б:н!женнО 25 P)(11 13!< >i i < (> BЕПI(ЧI!!(Е ЦОПО 111 (f ГС Ьllо (1 эt:, !I! К IЮ НС)ЧЛЛ(,НОГО $ POBll i; 1>ЬI . ) Г(:,"fi .И (С !fë 30 (> ><1" i < . i! < (1 1 (: .1(1))спy lip()t (Pæó1(Ч jj(l< i (! i;О! <3 j)i !l!! тки If Гоецинснн(1>! С к .1 к 1<0(. 1 г i 1! п 1 (1 <<част кл 3 Tnf(013(
ДОГ< I, СГ си>1(!(с? !гие рл()породных материалов l3 06<1< с-й точке 4 Осу)" (?ст Влlяlат Г Вл7) кОй, Ток(Вывс;(5 1311<1!. .>(няют hfз млтерилпл liep ;ii ic1 к;1 2 TO!(013bl(3ortf< (1 31 7 it B Г ;3 T c.риллл и. Орос 0 участка 3. Нсе токо!3! и)о;(ы 5-7 также соединяют с помощью с(злрки., 1ля осуществления точной гермокомпенсации тензорезистор вк tfo teèT !3 мостовую схему тлк, ч гобы Выра батьп?аемля в общей точке 4 TepMoэл1Рк I рГг(вижущяя силл 6F((I 1 п7)иложена к токовьп)одам 5 и 7, я эле.;— трическля цепь была замкнута через резистор 9 смежного плеча моста и дополнительк((й регулировочный резистор 10, позволяющий регулировать нл50 пряжение нл концах рег(!етки тенэорезисторл. При этом точки соединения токовыводов 5 и 6 с проводниками из другого материлла термостатируют. Таким образом, предлагаемый(cnocná геыперлту1)!(ой компенсации начального урствня сигналя тензорезистора может быть использован для проВо.In !íûõ, (1)(71((.го!31(х и метяллопленочных тен.с>резисторов. Ф о р м у и i и з о 6 р е т е и и я Способ температурной компенсации (,ачального уровня сигнала тензоре=-исторл, злключающийся в том, что у генз >резистора с двумя участками решетки из 7)(3:3:!ич!(ь(х материалов и i Реми ток(>!3ы((оцлн(и, cnetll(ftehfi(i fr(I(cooT Bc . 1 с твс .!1(in с еn!11(!>111 и TIj>nhfeжу 1 очной I o (кой ге(нетки, 1!Одбирлют материалы у (лсткс>г г((к, чтобы эа()исимос ти эг!ек (ро(3>г!.)и>вских харяктерис.тик учлсткс)в От температуры бы(и(j) 2 BI! t
lIo з!лку, о г,! и ч л!(> ft и и с я 1 åì, что, с це. (в(<) сш(жс?ния 3 lтрлт нл изго10вление ген.)оре ?ис:торя зл счет рлснире(п(я;>Опус к: Il..)TIT:lníåíèÿ 11((?(сfpo()liш(ческftx pi)nйс.тв млтер((лIIoB $ ÷ëc T ) B 06><(ую 1 <)ч к ;,<(В<<х $ ÷clcт— ко)3 Р:3" (Оилг l!01 13 ГPO . .(ТРическом центре те:!>(ре.)исторл, первый учасгок (ни!олкяют !в(де прямс.го отрезка !!роводши(л p(B)å Tieè, cn(дпняюг(его общую гочку двух участкОВ с первым E0f,0f3tи3одом, промежугс>чную то !ку С. О(<ДIIН(? НИЯ Р 0(1(? 1 КИ Г В1 OP 1 IМ ТОI. ОВЬ( в одом размещают !(<3 прямом отрезке второго участка, вклю(лющем общую точку с первым участко(1, материал первого учлсткл Boj(63(ðÿi()T Ilo oT!loпению к матер((ллу второго учас1ка так, чтобы возникающая в этой паре Термоэлектроц(33(жун(ля сила приближенно равняллсь по Величине дополнительному изменению 13ь(ходного сигнала тензорезисторл с>т температуры, л точную темперлтурную компскслцию осуществляют регулированием напряжения H 1 T O Ii 0 B Û B n jI Ë Х C O e ) (И Н Р Н Н ЫХ С K O hf дам(.(рен
) 627825 162782>5 1 Юог.Г Составитель Н,Тимошенко Техред М.Дидык Корректор Н.Ревская Редактор 10.Ãåðåäà Заказ 330 Тираж 382 Подписное ВНИ1П1И Государственного к вп т та по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Ио< кн», iK-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственн< -издате. ьскпй комбинат П;тент, г, Ужгород, ул. Гагарина, 101
