Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля вогнутых эллипсоидов и параболоидов с рабочей центральной зоной и большими относительными отверстиями. Пель изобретения - повышение точности и производительности контрима . I. -от и :,;п ничшл затенения центральной «ас in контролируемой поверхности. Агп окодлимационное зеркало, выполненной в виде вогнуто 1 полусферы, ориентировано так, что центр кривизны п края ее отражающей поверхности совмещены с оптической осью ни i ерферометра, отражает в обратном напра:ленпи пучки лучей от ПОЛРЬППЫ патронируемой iTonepxiior.ii, г.рп :vi npiMO КОТОРОЙ Вокруг Г 1 ОСЧ О i IVI (413 Т L . ll но наблюдают mi iерферонппончую картину , сформпровагпую пучками, испытавшими двойное отр.ГАРНи .л всех зон, в TciM числе и централы, р половины контролируемой по, i-p---- ностп. 3 ил. (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

Al (131)(3 G 01 В 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К А BTOPGKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ 3

Я

««ч j с« 1

М

СО.-. a

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 46056?6/?8 (гг) 18.11.88 (46) 15.02.91. 1 юл. Р 6 (72) В,А.((>еоктистов и А.Г.ХуснутдиHO»3 (53) 531. 717. 2 (088. 8) (56)»1ухопел И. И. и др. Изготовление и методы контроля ясферических поверхностей. Л.: Ма»>!инос роение, 1975, с.80-8?. (54) И11ТЕР((>КРО(!1>ТР (1ЛЯ КОНТР((111

АСФЕРИ31Г«СКИХ ПО11ЕРХ((О(:Т1 .Р 1>Т.ОЕ>((ГО

ПОРЯДКА (57) Изобретение относится к II3»teptt тельной технике и предназначено ц !л контроля вогнутых эллипсоидов и няраболоидов с рабочей центральной зоной и большими относител»и!ыми отверстиями. Пель изобретения — IloИзобретение относится к измерительной технике и »!0>сет быть использовано. для технологического и аттестационного контролл вогнутых эллипсоидов и пяраболоидов с рабочей центральной зоной и большими относительными отверстиями.

Пель изобретения — повн»шение точности и производительности контроля за счет исключения затенения центральной части контролируемой поверхности.

На фиг. 1 приведена оптическая схема интерферометра для контролл вогнутых эллипсоидов, на фиг. 2— схема рабочей ветви интерферометра для контроля нараболоидов, на фиг.3-„„SU„„1627829 вышение точности и Iipntt «n;!It Test» - ности конт(>(>ч>: >. ((3 !!с к:ll >ч(!!ил затенения цен I («льной яс If f (1!тр(— л»!руемб!! rt(:II(pìt(lñ ти. А!>1(>ко.ts«t»taЦионное зерк lsl(! > ltt ill Os!lie!I! I(!(13 f!Itчс вогнуTotl нол С((>(.(>!1, ори«и Itp(!13;!1!0 так, что цеlllр кр!!лианы lt крал ее

o Tpe>F lI(>1>Jeй !!овер> ности сс н.>с ((3!!ы с OIITII(tå(:êntt осьf>;!нтс рферомсTр;i, OT p(t>t(;le T It об(><< 3 l! (. . It

»1уч1(и л >ч(!1! (!1 lln:!с<ь1!!111 к .Il (>(> Ill руемой lln!!L phtt((:1, l pll .;(. >Ро е которой нокруг:. ос ll l!(. (;I(>t!AT(s но няблюдяют i!ill (гррфс ()(н! tt!I .t!J картину, (фс>р.!1!Ро»3,>1:!! !л луч!.:! «(!1, ис.— пытавшими;и>о tltn(! отр(!х !Ill..!I »3(!ех

3011 13 T(>".! ЧI!С. 1С i1 1((11Т(> ":„: i t, >t!

»I0JIO13l11il l ! .(T(!;l p !: рез .

Интерферс !!етр со;!С(>(3:т»el 0 11!ик

1 1101toxpnt>, сбъект!!в 3, r(е,>едний! фокус I;nl Opnf.(3 сопмс г!с>! с ц1!я >-рягмой 3, ((>op»litpnfla reit! 6 tln;>!tom пучка луче!1, в»!полненн»!11, например, в виде светоделителл, yc Tat!0»tsletlllor( перпендикулярно o»!TI«leci(OI! оси интерферомечря, объектив 7, установленный с возмо>снnстью IIHFtnã \ из потока излученил, кс нтрол11рус.".:i;; !сталь обозна !еня позицией 8, Кроме того, устройст»30 содерж1!т явтоколлимационное зеркало 9 с отря>(яю(!ей лов

1627829 верхностью 10, которая выполнена в виде вогнутой полусАеры и блок 11 регистрации, оптически связанный через светлделитель 4 с объективом 5.

Лвтлколлимлционнае зеркало 9 установлено тлк, что центр 0 кривизны и края отражающей поверхности 10 соВ мещены с оптической осью АА интердiерометра. Контролируемая деталь 8 1р устанавливается так, что ее оптическая ась совмещается с оптической осью AA интерАерометра, ближний фоt кус F< детали . совмещается с центром

0 кривизны отражающей поверхности

10, л дальний Алкус Г совмещается с изображением дилАрлгмы 3. При контроле элпипсоидл (фиг.1) изображение дилАрлгмы 3 находится в Аокусе

l объектива 7. При t.oíòðoëå парлбо- 2р плидл (фиг.?) выкпючлющийся объектив

7 выводится из хлдл лучей, л изображение дилфрлгмы 3 переносится в бесконечность, где онл совмещается с дальним АокусoM плраболоида. Свето- 25 вой размер лвтлколлимлционнлгo зеркала мажет быть ограничен в осевом направлении (показано пунктиром на фиг.2 и 3) пл ходу луча от наружной световой зоны контролируемой Летали. 3р

Интерферсметр работает следующим образом. !!учли ..учей (фиг.1) источника 1 млнлхрлмлти есклгл излучения собираются канценслром 2 на диаАрагме 3, проходят через светоделитель 4 и объектив 5. Плрллпельные пучки частично отрлжлются светлделителем 6 и частично проходят его. Частично отражающая поверхность светоделителя 6 40 является эталонной плоскостью, Аормируюшей опорный пучок лучей интерд>ером .тра. При контроле эллипсоидов пучки, частично прошедшие светоделитель 6, попадают в объектив 7, и 45 пройдя длль|пш Аокус F после отражения от элпиисоида собираются в его ближнем фокусе F . При контроле плраболоидов (Аиг.?) объектив 7 выводится из хода лучей. Параллельные пучки, частично прошедшие светоделитель 6, попадают на контролируемый параболоид и после отражения от него собираются в фокусе F . Далее лучи, отраженные от верхней (применительно к чертежу) половины контролируемой поверхности 8, попадают на отражающую поверхность 10 автоколлимационного зеркала 9 и после отражения от нее идут по тому же пути в обратном направлении к светоделителю 6, где интерферируют с лучами опорного пучка, Затем лучи проходят объектив 5, отражаются от светоделителя 4 и попадлют в блок 11 регистрации, в котором по анализу интерАеренционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 8.

Вследствие того, что лвтоколлимационное зеркало 9 отражает в обратном направлении пучки лучей, попадающие на него от половины контролируемой поверхности 8, интерференционная картина имеет вид полукруга, диаметр которого соответствует диаметру контролируемлй поверхности. Поворачивая конгролируемую деталь вокруг ее оси, последовательно наблюдают интерференционную картину от всей поверхности.

Повышение точности и производительности контроля вогнутых эллипсоидов и парлболоидов с рабочей центральной заной достигается благодаря таму, чтл отсутствует полное экранирование центральной зоны. Интерференцианная картина формируется пучками, испытав1ш ми двойное отражение от всех злн, в том числе и центральной, половины контролируемой поверхности. Этл дает возможность кантролирлвать поверхности с рабочей центрлльной зоной, что необходимо при изготовлении линз с асферическими поверхностями. Все зоны полонины поверхности контролируются эа один прием, что позволяет исключить дополнительную и менее точную операцию контроля рабочей центральной эоны с помощью пробного стекла, Формула и з о б р е т е н и я

ИнтерАерометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, слдержаший плследлглтельнл установленные источник манохроматического излучения, конденсор, диафрагму, светлделитель, объектив, совмещенный передним фокусом с диафрагмой, формирователь опорного пучка, объектив, установленный с возможностью вывода из потока излучения, и автоколлимлционное зеркало и блок регистрации, оптически связанный с объективом через светлделитель, о т1627829 6 той полусферы и ориентировано так, что центр кривизны и края ее отражающей поверхности совмещены с оптической осью интерферометра. л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, автоколлимационное зеркало выполнено в виде вогнуСоставитель В.Климова

P едактор Ю.Середа Техред М.Дидык Корректор Л.Патай

Заказ 330 Тираж 381 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101