Способ зажигания сильноточного тлеющего разряда

 

Изобретение относится к технике сильноточных генераторов однородной в больших (более ТО л) рабочих объемах плазмы. Цель изобретения - повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса. В исходном состоянии ключ 7 разомкнут, а между анодом (А) 4 и катодом (К) 5 горит вспомогательный разряд. При положении поджигающего импульса между вспомогательным К 5 и многостержневым К 3 ток переключается в цепь многостержневого К 3. В результате промежутки между стержнями заполняются плазмой, затем замыкается ключ 7, между А 2 и К 3 прикладывается разрядное напряжение от источника 6 и зажигается сильноточный тлеющий разряд. Изобретение позволяет обеспечить зажигание сильноточного тлеющего разряда за меньшее время (10-20 мкс), что повышает быстродействие устройства. При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, что уменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства. 2 з.п.ф-лы. 1 ил.

союз советских социАлистических

РЕСПУБЛИК (51> 5 Н 05 Н 1/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ о

6д

C) бд

6д

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4407676/21 (22) 12.64.88 (46) 23;03.91, Бюл. М 11 (71) Истринский филиал Всесоюзного элект, ротехнического института им. 8.И. Ленина (72) А.С. Метель (53) 621.384.6(088.8) (56) Гущенец В.Н. и др. Плазменный источ- ник электронов с сеточным управлением.—

В кн.: VI 6сес. сими. по сильноточной электронике. Тез.докл. — Томск: ИСЭ СО AH

СССР, 1986, ч. 2, с. 100, рис. 1.

Глазунов В.Н, и др. Сильноточный генератор плазмы квазинепрерывного режима на основе тлеощего разряда с осциллирующими электронами. — 8 кн.: М Всес. симп. по сильноточиой электронике. Тез. докл. — Томск:

ИСЭ СО АН СССР- 1986, ч.2, с. 89, рис 1. (54) CnOCGS ЗА КИГАНИЯ СИЛ НОТО 1НОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА (=,я7) Изобретение относится к технике сильнеточмых генераторов однородной в больейх (более 10 л) рабочих объемах плазмы.

„„,Я „„1637033 А1

Цель изобретения — повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса. В исходном состоянии ключ 7 разомкнут, а между анодом (А) 4 и катодом (К) б горит вспомогательный разряд. При положении поджигающего импульса между вспомогательным К 5 и многостержневым К 3 ток переключается в цепь многостержневого К 3. В результате промежутки между стержнями заполняются плазмой, затем замыкается ключ 7, между А 2 и К 3 прикладывается разрядное напряжение от источника 6 и зажигается сильноточный тлеющий разряд. Изобретение позволяет обеспечить зажигание сильноточного тлеющего разряда за меньшее время (10-20 мкс), что повышает быстродействие устройства. При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, что уменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства, 2 з.п,ф-лы, 1 ил.

1637033

20

40

Изобретение относится к технике сильноточных генераторов однородной в боль* ших (10 л) рабочих объемах плазмы, функционирующих при низких (102-1 Па) давлениях газа и может быть использовано в источниках электронных и ионных пучков большого сечения, s управляемых газоразрядных приборах, а также в. технологических установках для ионного травления изделий в плазме сильноточного тлеющего разряда.

Цель изобретения — повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса.

На чертеже представлена схема устройства, в котором реализуется предлагаемый способ зажигания сильноточного тлеющего разряда

Устройство содержит расположенные внутри вакуумной камеры 1 анод 2 и многостержневой катод 3 тлеющего разряда, вспомогательный анод 4, вспомогательный катод 5, источник 6 разрядного напряжения, прикладываемого между катодом 3 и анодом 2 при замыкании ключа 7 (например, тиристорного), источник 8 питания вспомогательного разряда и источник 9 поджигающих импульсов, прикладыввемых между катодом 3 и электродом вспомогательного разряда, например, катодом 5 (в случае использования в качестве вспомогательного разряда вакуумной дуги). 8 зависимости от конструктивных особенностей устройства вспомогательный анод 4 и/или анод 2 тлеющего разряда могут быть соединены с камерой 1 или вообще отсутствовать.

В последнем случае их роль выполняет «амера 1.

Способ осуществляется следующим образом.

В исходнои состоянии ключ 7 разомкнут, а, между анодом 4 и катодом 5 при давлении газа в камере 1 10 -1 Па горит вспомогательный разряд, например дуговой. При приложении поджигающего импульса от источника 9 между вспомогательным 5 и многостержневым 3 катодами ток вспомогательного разряда переключается иэ цепи вспомогательного анода 4 в цепь многостержневого электрода 3 и достигает амплитуды, определяемой параметрами источника 9. В результате промежутки между стержнями быстро заполняются плазмой, Затем замыкается ключ 7, между анодом 2 и заполненным плазмой катодом

3 прикладывается от источника 6 разрядноенапряжение в несколько сотен вольт и зажигается сильноточный тлеющий разряд с многостержневым холодным катодом.

По сравнению с известным предлагаемое изобретение обеспечивает зажигание сильноточного тлеющего разряда с многостержневым холодным катодом за мейьшее на порядок время (10-20 мкс), что существенно повышает быстродействие устройств.

При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, что уменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства.

Формула изобретения

1. Способ зажигания сильноточнога тлеющего разряда в генераторе плазмы с многостержневым холодным катодам, включающим подачу на катод разрядного напряжения и заполнения промежутков между стержнями холодного катода плазмой вспомогательного разряда путем подачи на электроды тлеющего разряда и вспомогательного разряда генератора поджигающего импульса напряжения, при этом потенциал электрода тлеющего разряда превышает потенциал анода вспомогательногоразряда,отличающийся тем;что, с целью повышения скорости зажигания тлеющего разряда при уменьшении тока поджигающего импульса, поджигающий импульс прикладывают между электродом вспомогательного разряда и многостержневым катодом, и разрядное напряжение подают после заполнения плазмой промежутков между стержнями холодного катода.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что поджигающий импульс прикладывают между катодом вспомогательного разряда и мнагостержневым катодом.

3. Спосабпоп.1,отличающийся тем, что поджигающий импульс прикладывают между анодом вспомогательного разряда и многостержневым катодом.