Просветляющее покрытие для двух длин волн

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для просветления оптических элементов эксимерных лазеров, осветительных систем объективов с большими апертурами, работающих одновременно в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Изобретение позволяет обеспечить коэффициент отражения R 0,8% в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин волн, связанных соотношением 2,2 A2/Ai 3,3 для оптических элементов с показателем преломления п 1,45 - 2,2. Покрытие выполнено двухслойным в виде чередующихся четвертьволновых относительно АО слоев, где АО , первый из которых, прилегаAi +A2 ющий к подложке, имеет показатель преломления РВ 1,38 ± 0,01, а второй пн 1,34 ±0,01. Зил. fe

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (stis G 02 В 1/10, 5/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4496690/10 (22) 21.10.88 (46) 30,04.91. Бюл, М 16 (72) С.Д.Тушина, В.И,Пашкевич и Г.Ф.Волкова (53) 535.345.67 (088.8) (56) Хасс Т., Тун P.Ý, Физика тонких пленок, т.2, 1967, с,203.

Яковлев П.П., Мешков Б,Б, Пректирование интерференционных покрытий. M.: Машиностроение, 1987. с.132-135, (54) ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ ДЛЯ

ДВУХ ДЛИН ВОЛН (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для просветления оптических элементов эксимерных лазеров, осветительных

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для просветления оптических элементов эксимерных лазеров, осветлительных систем объектов с большими апертурами, работающих одновременно в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра.

Целью изобретения является обеспечение коэффициента отражения R < 0.8 ь в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин - волн, связанных

Л2 соотношением 2,2 < — < 3,3 для оптичеЛ1 ских элементов с показателем преломления

n - 1,45 — 2,2.

На фиг. 1 представлены спектральные кривые отражения покрытия, выполненного на основе криолита и фтористого лития, полученные экспериментальным путем на стеклах с показателями преломления n = 1,52 (кривая 1), n - 1,62 (кривая 2), n = 1,8 (кривая 3);

„, Я2,, 1645921 А1

I систем объективов с большими апертурами, работающих одновременно в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра.

Изобретение позволяет обеспечить коэффициент отражения R < 0,87ь в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин волн, связанных соотношением

2,2 < Л2/Л1 < 3,3 для оптических элементов с показателем преломления n1,45 — 2,2. Покрытие выполнено двухслойным в виде чередующихся четвертьволновых относительно Л слоев, где

2 Л2 Л2

Л вЂ”, первый из которых, прилегаЛ1 +Л2 ющий к подложке, имеет показатель преломления ne = 1,38 + 0,01, а второй nH1,34 + 0,01. 3 ил. на фиг. 2 — кривые отражения на основе фтористого магния и криолита, полученные на стеклах с показателями преломления n1,52 (кривая 1), n = 1,62 (кривая 2) и п 1,8 (кривая 3); на фиг. 3 — спектральные кривые отражения для различных углов падения излучения, Реализация покрытия осуществлялась вакуумным напылением на установке

А7000 фирмы "Leiboid Heraens", оборудованной системой безмасляной откачки типа

"Turbovac 1500", прецизионным фотометрическим контролем OMS — 2000 в комплекте с расширителем диапазона работы (дейтериевая лампа, фотоумножитель, комплект интерференционных фильтров для

УФ-области спектра).

Контроль оптической толщины слоев в процессе напыления производился по контрольному образцу с помощью OHS — 2000

1645921

2дд ЛШ Ю ИТ бИ 703 1К g pp

Фиг.1 регистрацией изменения величины отраженного сигнала.

Контрольный образец представляет собой плоскопараллельную пластину, полированную с одной стороны диаметром 42 мм, толщиной 2 мм из стекла К8 с показателем преломления 1,52. Подложку предварительно прогревали до Т - 300 С в течение 2 ч. В качестве испарителей использовали ESV b мощностью 6 кВт с двумя четырехпозицион ными тиглями. Фториды испарялись электронным лучом, расфокусированным по размерам ячейки тигля. Ток эмиссии 20—

50 мА, скорость напыления 4 - 5 А/с. Каждый слой контролировался по своему контрольному стеклу "Свидетелю".

В одном иэ вариантов изготовления покрытия в качестве слоя, граничащего с подложкой, использовали криолит, в качестве второго слоя — фтористый литий. Покрытия наносили на подложки иэ различных марок стекла с показателями преломления 1,45 — 2,2.

В другом варианте в качестве первого слоя, прилегающего к подложке, испольэовали фтористый магний, в качестве второго слоя, граничащего с воздухом, — криолит.

5 Формула изобретения

Просветляющее покрытие для двух длин волн, выполненное в виде чередующихся четвертьволновых относительно Мо слоев, с высоким ns и низким пн показателями

10 2 Аг г преломления, где 4> . а А

Й+ г и А2длины волн, на которых отражение минимально, причем к подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, 15 отличающееся тем,что,сцелью обеспечения коэффициента отражения

R 0,8 (, в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин волн, связанных

20 соотношением 2,2 < — < 3,3 для оптиче@

r ских элементов с показателем преломления

n = 1,45 — 2,2, покрытие выполнено двухслойным, причем ns = 1,38 — 0,01, пн = 1,34 +0,01.

1645921

7® Вй7

Фиг, Я

Редактор Е.Копча

Заказ 1349 Тираж 340 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

R,% б

Составитель Н.Киреев

Техред М.Моргентал Корректор О. Ципле

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101