Полупроводниковый термоанемометр

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений малых скоростей газовых потоков . Целью изобретния является повышение чувствительности. Чувствительный элемент 1, выполненный в виде конического нитевидного монокристалла из теллура, легированного серебром с концентрацией

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (Я)5 601 Р 5/12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

: .k.I;éÈÈ

БКВГ";

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. (21) 4693877/10 (22).22,05.89 (46) 07.05.91. Бюл. ¹ 17 (71) Львовский политехнический институт (72) С.С,Варшава, Л.Н.Пелех и З.Б. Пилат (53) 532.574(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 609094, кл. G 01 Р 5/ 12, 1977.

Варшава С.С. идр, Полупроводниковый трубчатый расходомер. — Заводская лаборатория, 1987, N 6, с. 55, Ä.,5UÄÄ 1647407 А1 (54) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕРМОАНЕМОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений малых скоростей газовых потоков. Целью изобретния является повышение чувствительности. Чувствительный элемент 1, выполненный в виде конического нитевидного монокристалла иэ теллура, легированного серебром с концентрацией (0,7-1,3) 10 ат,%,èçàêðåïëåííûéнакольцевой державке 4, предварительно градуируется, а затем располагается в потоке для измерения скорости. 2 ил.

1647407

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения скоростей потока воздуха.

Целью изобретения является повышение чувствител ьности. 5

На фиг.1 показана схема термоанемометра; на фиг,2 — его градуировочная характеристика.

Полупроводниковый термоанемометр содержит чувствительные элементы 1, кон- 10 такты 2, токовыводы 3. Перегрев чувствительного элемента 1 осуществляется от стабилизированного источника 4 постоянного тока. Падение напряжения на чувствительном элементе 1 измеряют цифровым 15 измерительным прибором 5, ток через образец — милиамперметром 6. Чувствительный элемент укреплен на кольцевой державке 7.

Параметры чувствительного элемента 1 (игольчатый монокристалл теллура, легиро- 20 ванного серебром с концентрацией (071,3) 10 ат.7;, следующие: удельное сопротивление = 0,4 Ом - см, общее сопротивление 100-200 Ом, длина 3-4 мм, средний диаметр 150-200 мкм, конусность 25 РУ 5о

Полупроводниковый термоанемометр изготовлен следующим образом.

К чувствительному элементу 1 методом электроимпульсой приварки золотого мик- 30 ропровода создаются контакты 2, являющиеся одновременно токовыводами 3.

Чувствительный. элемент 1 с токовыводами

3 устанавливают пссредине фторопластовой державки 4. 35, Имеются также источник 5 тока и измерительные приборы 6 и 7, Полупроводниковый термоанемометр работает следующим образом.

Чувствительный элемент 1 с помощью соединительных проводов, контактов 2 и токовыводов 3 подключают в измерительную схему, содержащую стабилизированный источник 5 постоянного тока, измерительные цифровые приборы 6 и 7, кольцевую державку 4 устанавливают на выходе кварцевой трубы, через которую продувают поток воздуха с определенной скоростью и температурой. Экспериментально подбирают ток перегрева чувствительного элемента (1016 мА), обеспечивающий высокую чувствительность и требуемый температурный интервал работы (например 20+50 С), Строят градуировочную кривую Л U=f(V), где

hU=Uv-Ua (разность между падением напряжения на чувствительном элементе при наличии потока и при его отсутствии).

Температуру потока определяют с помощью того же чувствительного элемента 1 в режиме терморезистора. Полученная градуировочная кривая приведена на фиг,2 для комнатной температуры и lp=14 MA.

Затем, пользуясь укаэанной градуировочной кривой, определяют неизвестную скорость потока. При этом термоанемометр с державкой 4 располагают либо непосредственно в исследуемом потоке, либо на его выходе.

Формула изобретения

Полупроводниковый термоанемометр, содержащий чувствительный элемент, выполненный из монокристалла теллура, контакты и токоподводы, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, монокристалл теллура выполнен в виде конуса с величиной конусности 5 Д и легирован серебром с концентрацией (071,3) 10 ат. О,.

1б47407

7Ю gN/с.

Составитель Ю,Власов

Редактор А,Шандор Техред М.Моргентал Корректор А,Осауленко

Заказ 1395 Тираж 351 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101