Способ контроля герметичности изделий

 

Изобретение относится к контролю герметичности многополостных изделий и позволяет расширить технологические возможности способа путем обеспечения контроля различных полостей 1 многополостных изделий различными пробными газами. Заполняют полость изделия гелием, откачивают вакуумную камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на его выходе двухроторным вакуумным насосом. Из объема сжатого газа отбирают газ в масс-спектрометрический анализатор и измеряют изменение концентрации гелия, по которому судят о герметичности полости. Заполняют другую полость изделия элегазом, подают в камеру поток балластного газа и устанавливают давление в объеме дополнительно сжатого газа, равное рабочему давлению газоразрядной камеры плазменного течеискателя, размещенной в этом объеме. Измеряют изменение концентрации элегаза плазменным течеискателем и по нему судят о герметичности полости. 1 з.п.ф-лы. (Л

Ij ,Я0„,1

ССЩ3 ССВЕТСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (Я)5 С 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 объема сжатого газа отбирают пробу газа в масс-спектрометрический анализатор. По изменению концентрации гелия в объеме определяют негерметичность полостей.

Затем в объем вакуумной камеры вводят балластный газ, например, аргон. Настраивают плазменный течеискатель по контрольной течи, регулируя поток балластного газа в пределах

100-200 мм /с и давление на .выходе иэ двухроторного насоса в пределах

0,5-2,0 мм рт.ст. дросселированием от- 4 качки механического насоса.

Это диапазон рабочих давлений газоразрядной камеры плазменного течеискателя, размещенного в объеме дополнительного сжатого газа.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬП ИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 46421 78/28 (22) 26. 01 ° 89 (46) 23.05,91.Бюл. Н 19 (72) А.А.Порин (53) 620.165.29 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1153243, кл. G 01 М 3/02, 1982. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ИЗДЕЛ1Й (57) Изобретение относится к контролю герметичности многополостных изделий и позволяет расширить технологические возможности способа путем обеспечения контроля различных полостей 1многополостных изделий различными пробными газами. Заполняют .полость изделия гелием, откачивают

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к контролю герметичности многополостных изделий.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газами..

Способ контроля герметичности изделий реализуют следующим образом.

Заполняют полости иэделия, допускающие контакт с гелием, пробнья газом — гелием; Откачивают камеру, в которой размещено изделие, высоковакуумным средством откачки, допол— нительно на его выходе сжимают гаэ и двухроторным вакуумным насосом иэ вакуумную камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на его выходе двухроторным вакуумным насосом. Из объема сжатого газа отбирают газ в масс-спектрометрический анализатор и измеряют изменение концентрации гелия, по которому судят о герметичности полости.

Заполняют другую полость изделия элегазом, подают в камеру поток балластного газа и устанавливают давление в объеме дополнительно сжатого газа, равное рабочему давлению гаэоразрядной камеры плазменного течеискателя, размещенной в этом объеме. Измеряют изменение концентрации элегаза плазменным течеискателем и по нему судят о герметичности полости. 1 з.п.ф-лы.

1651119

Затем осуществляется обычный спою соб контроля герметичности изделия, т.е. определяется чувствительность испытаний по контрольной течи, заполняется полость изделия, не допускающая контакта с гелием, например, ° приборный отсек, электроотрицательным газом, элегазом и в динамическом режиме — не прекращая откачки — фиксируется сигнал плазменного течеискателя от суммарного натекания на полости изделия.

Пределы величины по потоку балластного газа 100-200 мм /с и по 15 давлению в газоразрядной камере 0,52,0 мм рт.ст. взяты из технической характеристики имеющихся плазменных .течеискателей. Конкретные величины. по потоку и давлению индивидуальны 20 для каждого прибора и являются ориен тировочными.

Лабораторная отработка нового способа контроля герметичности изделий на вакуумной камере объемом 1,3 м, 25 оснащенной турбомолекулярным насосом

ВИН вЂ” 500, двухроторным вакуумным насосом ДВН вЂ” 5-2 и @орвакуумным насосом ВН - 2МГ показала, что порог чувствительности по элегазу значительно меньше, чем при испытаниях с использованием аргона.

В предлагаемом способе открывается возможность на одной и той же вакуумной установке наряду с гелием и аргоном использовать в качестве пробного газа элегаз и различные Фреоны, например хладон-12. В качестве балластного газа может быть использован аргон.

Дополнительное сжатие газа лучше всего осуществлять двухроторными насосами Рутса (например, ДВН вЂ” 5-2, ДВН вЂ” 50, ДВН - 150 и др.). Оно требуется для обеспечения давления порядка 0,5-2,0 мм рт.ст., необходи- 45 мого для создания оптимальных условий газового разряда в газоразрядной камере плазменного течеискателя, и может регулироваться как величиной потока балластного газа, так и дросселированием откачки перед механичес" ким насосом.

Установка двухроторного насоса между высоковакуумным и форвакуумным насосами гарантирует непревышение предельного выпускного давления высоковакуумного насоса и повышает чувствительность системы течеискания при испытаниях с пробными газами гелием и аргоном. Это достигается тем, что масс-спектрометрический течеискатель подключают на выходе двухроторного насоса, тем самым обеспечивается отбор телеискателем пробного газа повышенной концентрации.

Формула изобретения

1. Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что размещают изделие в вакуумной камере, заполняют его пробным газом, откачивают камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на выходе высоковакуумного средства, нз объема дополнительно : сжатого газа отбирают газ на масс-спектрометрический анализатор и измеряют изменение концентрации в нем пробного газа, по которому судят о герметичности изделия, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газами, после измерения масс-спектрометрическим анализатором заполняют полость изделия электроотрицательным пробным газом, подают в камеру поток балластного газа, дополнительное сжатие газа осуществляют до рабочего давления газораэрядной камеры плазменного течеискателя, раз- мещенной в объеме дополнительно сжатого газа, и измеряют изменение концентрации электроотрицательного пробного газа в этом объеме посредством плазменного течеискателя.

2. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что дополнительное сжатие осуществляют двухроторным вакуумным насосом.