Способ изготовления волноводов
Изобретение относится к технологии изготовления СВЧ-устройств. Целью изобретения является сокращение времени травления оправки. Способ изготовления волноводов заключается в нанесении на оправку проводящего слоя и введении в процессе травления оправки в канал волновода, помещенного в ванну с растворителем, со стороны торца стержня и его перемещении до касания с оправкой. Перемещение стержня до касания с оправкой за счет капиллярного смачивания способствует более интенсивной смене растворителя в зоне травления и удалению продуктов травления, что ведет к сокращению времени травления оправки.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ гг t (21) 4708992/09 (22) 22,06.89 (46) 15.06.91. Бюл. М 22 (72) А.М. Шварцман, И.М. Кузнецова и Г,Ф. Забалуев (53) 621.372.81(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР N 1283880, кл, Н 01 P 11/00, 1987. Бушминский И.П. Изготовление элементов конструкций СВЧ. М.: Высшая школа, 1979, с, 125. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОЛНОВОДОВ (57) Изобретение относится к технологии изИзобретение относится к технологии изготовления устройств СВЧ, Целью изобретения является сокращение времени травления оправки. Способ изготовления волноводов заключается в нанесении на оправку проводящего слоя и введении в процессе травления оправки в канал волновода, помещенного в ванну с растворителем, со стороны торца стержня и его перемещении до касания с оправкой. Перемещение стержня до касания с оправкой за счет капиллярного смачивания способствует более интенсивной смене рас„„ЯЯ„„1656612 А1 готовления СВЧ-устройств. Целью изобретения является сокращение времени травления оправки. Способ изготовления волноводов заключается в нанесении нэ оправку проводящего слоя и введении в процессе травления оправки в канал волноеодэ, помещенного в ванну с растворителем, со стороны торца стержня и его перемещении до касания с оправкой. Перемещение стержня до касания с оправкой за счет капиллярного смэчивэния способствует более интенсивной смене растворителя е зоне травления и удалению продуктов травления, что ведет к сокращению времени травления оправки. творителя в зоне травления и удалению продуктов травления, что ведет к сокращению времени травления оправки, Формула изобретения Способ изготовления волноводое, заключающий е нанесении на оправку проводящего слоя и вытравлиеании оправки в ванне с растворителем, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что. с целью сокращения времени травления оправки. в процессе травления оправки. в канал еолновода со стороны торца вводят стержень и перемещают его до касания с оправкой.
