Способ испытания изделий на герметичность

 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам испытаний на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью масс-спектрометрического течеискателя. Цель изобретения - повышение чувствительности индикации путем уменьшения содержания остаточного газа в вакуумной камере и повышение производительности испытания. Изделие помещается в вакуумную камеру с предварительным вакуумированием до давления паров воды, после чего в камеру подают адсорбирующее вещество, в качестве которого используют пары ПАВ. После подачи паров делают выдержку, затем в камере создают вакуум 1<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-3</SP> мм рт. ст., в испытуемое изделие подается пробный газ и производится оценка герметичности изделия путем сравнения сигналов от потоков пробного газа из изделия и контрольной течи. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (srys 6 01 М 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

О

° Ь

Ь

00 (21) 4749934/28 (22) 13.09.89 (46) 15.08,91. Бюл, N 30 (71) Производственное объединение "Красноярский машиностроительный завод" (72) В.А,Русаков, В.А.Скурихин, Л.Г,Тасейко и Б.А.Парф нов (53) 620.16Ь.29 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 775566224433, кл. G 01 М 3/40, 1978. (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ НА

ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам испытаний на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью масс-спектрометриИзобретение относится к испытательной технике, а именно к способу испытания на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью масс-спектрометрического течеискателя.

Цель изобретения — повышение чувствительности путем уменьшения содержания остаточного газа в вакуумной камере и повышение производительности испытания за счет сокращения времени вакуумирования.

На чертеже показана схема установки для реализации предлагаемого способа.

Схема включает изделие 1, которое размещается в вакуумной камере 2. Вакуумирование камеры осуществляется с помощью форвакуумного насоса 3 и высоковакуумного насоса 4, соединенных между собой и течеискателем 5 коммуникацией 6 через

„„Я „„1670448 А1 ческого течеискателя. Цель изобретения— повышение чувствительности индикации путем уменьшения содержания остаточного газа в вакуумной камере и повышение производительности испытания. Иэделие помещается в вакуумную камеру с предварительным вакуумированием до давления паров воды, после чего в камеру подают адсорбирующее вещество, в качестве которого используют пары ПАВ. После подачи паров делают выдержку, затем в камере создают вакуум 1 10 мм рт.ст., в испытуемое иэделие подается пробный газ и производится оценка герметичности изделия путем сравнения сигналов от потоков пробного газа из изделия и контрольной течи, 2 з.п,флы, 1 ил. дросселирующий вентиль 9. ПАВ подается в камеру через вентиль 10, а пробный газ через вентиль 11 иэ контрольной течи 12. Устройство 13 предназначено для улавливания паров ПАВ, Способ осуществляют следующим образом, Изделие 1 помещают в камеру 2 и осуществляют вакуумирование камеры 2 насосом 3, При достижении давления

Рат Рупр.пар.воды(17,5 MM pT.GT,) вакуумирование камеры 2 прекращают, при этом происходит испарение конденсата со стенок камеры 2 и изделия 1. Осуществляют подачу

ПАВ (например, "Хладон-113") через вентиль 10 в камеру 2 до давления Ртехнол. (давление упругости пара адсорбирующего вещества для "Хладона-1 1 3" Ртехнол 280 мм.рт.ст.). Дают выдержку 15 мин, при этом молекулы ПАВ конденсируются на поверх1670448

Составитель И.Лучева

Редактор А.Долинич Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор М.Демчик

Заказ 2740 Тираж 344 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина 101 ности камеры 2 и исследуемого изделия 1, образуя на них тонкий слой, чаще всего мономолекулярный, а за счет того, что молекулы ПАВ обладают большой энергией сорбционной связи полярной группы с металлами, они заместят молекулы газа на поверхности изделия и камеры и переведут их в вакуумируемый объем, В результате на стенках камеры 2 и поверхности испытуемого изделия 1 образуется насыщенный слой преимущественно из молекул ПАВ, который резко снижает коэффициент прилипания (адсорбции) несвязанного остаточного газа из вакуумируемого объема испытательной камеры 2 и препятствует диффузии из стенок камеры 2 и изделия 1 растворимых одноатомных газов (например, гелия, неона) или ионов расщепленных двухатомных молекул (например, водорода, кислорода и т.д.), что значительно снижает парциальное давление остаточного газа в свободном состоянии, Закрывают вентиль 10 и камеру 2 вакуумируют до давления испытания иГП ° = 1 1 0 мм, рт.ст. Открытием

-з цросселирующего вентиля 9 сообщает течеискатель 5 с коммуникацией б предварительного разряжения, а ловушку 7 (8) заполняют жидким азотом.

В испытуемое изделие подается пробный гаэ (гелий или аргон) и производится оценка герметичности проверяемого изделия 1 путем сравнительного сопоставления сигналов от потоков пробного газа из изделия 1 и контрольной течи 12. Устройство 13 улавливает ПАВ-"Хладон-113" и возвращает его в состояние, пригодное для повторного использования.

Способ испытания изделий на герме5 тичность позволяет увеличить чувствительность индикации и повышает производительность испытаний путем сокращения времени вакуумирования.

Формула изобретения

10 1. Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что иэделие помещают в вакуумную камеру, осуществляют предварительное вакуумирование камеры, подают в нее адсорбирующе15 еся на стенках камеры и изделия вещество и вакуумируют камеру до давления испытания, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и производительности, предварительное вакуумирова20 ние осуществляют до давления упругости паров воды, а в качестве адсорбирующегося вещества используют пары поверхностноактивного вещества.

2. Способпо п.1,отличающийся

25 тем, что в качестве ПАВ используют Хладон113, 3, Способ по пп. 1 и 2,отличаюшийся тем, что интервал времени между

30 подачей адсорбирующегося вещества и вакуумированием до давления испытания выбирают достаточным для адсорбции молекул ПАВ на поверхности камеры и изделия.