Способ изготовления дифракционных решеток большой длины

 

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к способам изготовления дифракционных решеток большой длины. Целью изобретения является упрощение и повышение точности изготовления . В соответствии со способом на одной и той же заготовке нарезают две группы штрихов 1 и 2 одинакового периода и получают с них копию на общей подложке. При этом после нарезания первой группы штрихов 1 заготовку разворачивают в плоскости штрихов на угол а 3d/8L, где d - постоянная решетки, L - длина штриха, а после нарезки второй группы штрихов 2 выявляют зону 5 синфазности групп штрихов 1 и 2 и копируют только эту зону Способ исключает операцию юстировки оригиналов перед каждым копированием, вместо которой однажды найденная зона на оригинале может быть скопирована несколько раз. При этом допускается ошибка копирования до 0,1 мм. 4 ил.

союз соВетских социАлистических

РЕСПУБЛИК!

I9) (!!) (я) G 02 В 5/18

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4773061/10 (22) 25,12,89 (46) 07.09,91. Бюл, М 33 (71) Ленинградское оптико-механическое объединение им. В.И,Ленина (72) И.В.Ахремчик, Л.Ç.Дич, Е,Ф,1у1аламед, Г.Н.Рассудова, Ю.С.Скворцов и В,П.Трегуб (53) 535.853.31 (088.8) (56) Европейский патент

М 0188919, кл.,G 02 В 5/18, опублик. 1986, ОМП, 1975, М 9, с, 47-50. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК БОЛЬШОЙ ДЛИНЫ (57) Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к способам изготовления дифракционных решеток большой длины. Целью изобретения является упрощение и повышение точности изготовления, В соответствии со способом на одной и той же заготовке нарезаютдве группы штрихов 1 и 2 одинакового периода и получают с них копию на общей подложке, При этом после нарезания первой группы штрихов 1 заготовку разворачивают в плоскости штрихов на угол а= 30/8L, где !1— постоянная решетки; L — длина штриха, а после нарезки второй группы штрихов 2 выявляют зону 5 синфазности групп штрихов 1 и 2 и копируют только эту зону. Способ исключает операцию юстировки оригиналов перед каждым копированием, вместо которой однажды найденная зона на оригинале может быть скопирована несколько раэ. При этом допускается ошибка копирования до

0,1 мм. 4 ил.

1675815

Изобретение атно.-,ится к области оптического приборостроения, а именно к способам изготовления дифракционных решеток большой длины, Цель изобретения — упрощение и павышение точности изготовления, На фиг. 1 изображена решетка-оригинал сд,вумя группами штрихов., на фиг. 2— сопряжение вспомогательной прозрачной и

Отражательной решеток-оригиналов, позволяющее контролировать, фазировку групп штрихов; на фиг, 3 — зона, в которой группы штрихов дают синфаэные фотоэлектрические сигналы; на фиг, 4 — решетка, полученная путем копировал ия следующим образом, Способ реализуется следующим образом, На каретку двигательной машины, например МДА-4 или ИГ-38, устанавливак)т заготовку и, перемещая каретку с заготовкой последовательно на величину шага решетки, нарезают группу штрихов 1. Затем перемеща от каретку в исходное положение, заготовку передвигают в направлении каретки на длину нарезанного участка и разворачивают в плоскости штрихов на угол

3d

"= нт

Где О постоянная реше": ки;

I= длина штриха

Разворот заготовки KQHTpQëèpóþò с помощью автоколлиматора. При этом а выбран так, что изменение фазы сигнала по р JIMH8 штриха составлЯет Зл .

После разворота заготовки перемещают каретку, нарезак т на заготовке группу штрихов 2 с тем же приодом, что и у группы

1 (фиг. I) и Выявляют вонь! синфаэности групп штрихов 1 и 2, Для нахождения зоны синфазности используют Вспомогател ьнуго и рОэрач ную дифракционную решетку 3, которую наклаpbIBBlOT HB M8CTO CTbiK3 Tpgllfl штрихов 1 l l 2 (фиг. 2). Штрихи прозрачной решетки 3 разворачива:от под углом а к штриху группы 1, При этом со штрихами группы 2 они составляют угол 2 а,Разворот прозрачной решетки контролируют с помощью автоколлиматора, 5 При сопряжении дифракционных решеток образуются интерференционные полосы 4 (фиг, 3), Период интерференционной картины, наблюдаемый от группы штрихов

1, в 2 раза больше периода интерференци10 онной картины, наблюдаемый от группы штрихов 2. В той зоне 5, где штрих группы I и II сфазированы, образуется единая для обеих групп интерференционная полоса, дающая синфазные фотоэлектрические сиг15 налы, Таким образом, искомая зона 5 легко визуализируется.

После этого найденная зона копируется. Ширину копируемого участка h выбира29 ют равной размеру сечения подающего на отражательную решетку пучка (фиг. 4), При длине штриха L=30 мм, ширина полосы равна 20 мм и при ошибке копирования вдоль штриха 0,1 мм точность фазирова25 ния составляет 0,005 полосы, Кроме копий, для работы может быть использован и сам оригинал, Формула изобретения

Способ изготовления дифракционных решеток большой длины, заключающийся в том, что нарезают две группы штрихов одинакового периода и получают с них копию

35 наобщейподложке,отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения точности изготовления, нарезку обеих групп производят на одной заготовке, после нарезания первой группы штрихов заготовку

40 разворачивают в плоскости на угол а

-8-(— где d-постоянная решетки, L- длина

Зб штриха, а после нарезки второй группы

45 штрихов выявляют зону синфазности групп штрихов и копируют только эту зону.

1675815

Составитель В.Кравченко

Техред М.Моргентал Корректор Т,Малец

Редактор Н.Бобкова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3000 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5