Способ регенерации раствора снятия сухого пленочного водощелочного фоторезиста

 

союз сочетских социдлистических

РЕСПУБЛИК (51)5 С 02 F 1/58

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ 0 0®ац

g Q) щщ щ@ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4641197/26 (22) 01.11.88 (46) 07.12.91. Бюл. М 45 (75) Х,А. Виновский и Д, Е. Винтер (53) 663.632(088.8) (56) Раствор для снятия сухого пленочного фоторезиста, ОСТ 107,4600092.004.01 — 86. (54) СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ РАСТВОРОВ

СНЯТИЯ СУХОГО ПЛЕНОЧНОГО, ВОДОЩЕЛОЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА (57) Изобретение относится к способам обработки отработанных расгворов и может быть использовано при регенерации рассчих растворов снятия сухого пленоч«ого ВоИзобретение относится к химической техноло: ии, преимущественно к способам нейтрализации химических растворов, и может быть,-;спольэовано при регенерации рабочих растворов снятия сухого пленочного

Всдсщелочного фоторезиста при изготовлении схем печатно-о монтажа (СПФ ВЩ).

Исходный раствор "íÿòèÿ СПФ ВЩ содержит 100 г/л едкого натра.

Ггосле поступления органических соединений в рас-вар рН снижается др 10,6 и требует регенерации или очистки.

Целью изобретс«ия является упрощение способа регенерации, увеличение длительности использования раствора снятия

СПФ ВЩ, Для осуществления споссба раствор, насыщаемый рас ворением СПФ ВЩ, фильтруют, нергстворившаяся часть композиции остается на фильтре, а в фильтрат добавляю-; ссрную кислоту дс рН 12,0 — 12,"1, „„ЯЛ„„1696397 А1 дощелочного фоторезиста при изготовлении схем печатного монтажа, Целью изобретения является упрощение способа и увеличение продолжительности использования раствора, Для осуществления способа отработанный раствор фильтруют, а в фильтрат вводят серную кислоту до рН

12 0-12,1, Использование предлагаемого способа обеспечивает сокращение расхода щелочи приготовления свежего раствора, сокращение потребления реаген — îâ за ..чет исключения необхсдимссти нейтрализаци:; и использования солей алюминия, а также сокраще ие псе-,у.-;ления концентрирс.ван ых сбросов на очистные coopóæå«èÿ.

П р и м е с. Проводят ф,",льтрсвание отработан«ого раствора с рН 10 6, насыщенно:o СПФ ВЩ ерез бумажный напорный фильтр. Коррекцию рН ведут. за счет дозирования серной кислоты в фильтрат до рН 12,0 — 12,1. При повторном использовании получен«ого раствора скорость снятия

СПФ не уменьшается. При многократном использовании раствора содержание щелочи снижается до 50 г/л за счет выноса,щелочи деталями из рабочего раствора.

Псзтому добавление щелочи производят в раствор до фильтоа дс концентрации более 60 г/л.

Критерием оценки пригодности раствора для повторного использования является время. Свежеприготсвленный раствор сни- мает пленку фсторезиста эа 30-40 с. Раствор сЧитается непригодным„когда

cvopocть снятия псевышает 2 мин.

1695397 ции щелочи исключает использование солей алюминия и поступление концентрирования сбросов на очистные сооружения.

Составитель Л.Ананьева

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М.Пожо

Редактор Н,Рогулич

Заказ 4273 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гaràрина, 101

На производстве для снятия фоторезис а применяют специальные модули, в.которых регулируется скорость движения конвейера, При максимальной скорости конвейера деталь находи ся в зоне обработки 20-25 с, при минимальной 2 мин. После первой регенерации. скорость снятия фотореэиста составляет 35-40 с.

Использование предлагаемого способа регенерации раствора по сравнению с извастным сокращает потребление щелочи для приготовления свежего раствора и серной кислоты за счет отсутствия нейтралиэа5 Формула изобретения

Способ регенерации растворов снятия сухого пленочного водощелочного фоторезиста, включающий обработку серной кислотой, отличающийся тем, что, с целью О упрощения способа и увеличения продолжительности использования раствора, после предварительного фильтрования серную кислоту вводят до рН 12,0 — 12,1.