Устройство для микроанализа образца
Изобретение относится к устройствам для микроанализа образца, Целью изобретения является расширение диапазона изменении и точности микроанализа образца зи счет изменения в ходе эксперимента выхода вторичного излучения в двух или более противоположно-симметричных направлениях относительно точки возбуждения. Устройство содержит источник 1 излучения , камеру 2 объектов, состоящую из нитней часли 3 со столом 4 объектов и верхней части 5. В верхней час- I и 5 камеры 2 размещены детекторы 6, внутри камеры 1 размещены диа- 7 : . глоин-цг апспгурамн 8, гапгэв.тчч Г - 5 13, перьатель 10, r.Mt 11 и 5 у шов, силь- ci 01- 12, приводы 1 . О, патруоок J г I ил. О е
Похожие патенты:
Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при документировании результатов исследований
Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов
Растровый электронный микроскоп // 1638745
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии полупроводниковых объектов и может быть использовано для визуализации и измерения распределения времени жизни неравновесных носителей заряда по поверхности этих объектов
Туннельный микроскоп // 1597961
Изобретение относится к туннельной микроскопии и может быть использовано для микроанализа поверхности твердых тел
Способ настройки детектора потенциального контраста для растрового электронного микроскопа // 1580455
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии, в частности к методам оптимизации параметров детекторов потенциального контраста
Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к способам измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе
Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится фоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства
Туннельный микроскоп // 1520609
Изобретение относится к электронной технике, в частности к микрозондовым приборам, в которых для исследования поверхности используется тунельный ток
Способ визуализации на экране изображений исследуемых объектов и устройство для реализации способа // 2101800
Изобретение относится к электронным вакуумным приборам, в частности к эмиссионным микроскопам и видеоусилителям, и раскрывает способ визуализации и увеличения изображений исследуемых объектов
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах
Сканирующий зондовый микроскоп // 2152063
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности в многоигольчатом комплексном режиме работы
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах в условиях сверхвысокого вакуума и в широком диапазоне температур
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах
Сканирующий зондовый микроскоп // 2159454
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) или атомно-силового микроскопа (АСМ)