Электростатический энергоанализатор с угловым разрешением

Авторы патента:

H01J49/48 - с использованием электростатических анализаторов, например цилиндрических секторов, фильтров Вьена

Изобретение относится к устройствам для анализа распределения заряженных частиц и может быть использовано при физико-химическом анализе твердого тела в вакууме. Целью изобретения является сокращение времени измерений путем обеспечения независимой и плавной регулировки границ обоих линейных углов собира1- ния энергоанализатора. Изобретение значительно расширяет функциональные возможности энергоаналнзатора за счет не только исследования свойств поверхности образцов, но и осуществления , послойного контроля распределения элементов без разрушения исследуемых образцов, так как в процессе анализа не требуется разрезать образец и приготовлять косой патиф ипи стравливать каждый последующей елспг. 3 ил. Q S

Изобретение относится к области электроннолучевой техники и может быть использовано в растровой электронной микроскопии

Анализатор энергий заряженных частиц // 1651328

Изобретение относится к электрон- -яой спектроскопии и масс-спектр ометИзобретение относится к физической электронике, в частности, электронной спектроскопии и масс-спектрометрии, и может быть использовано для создания монохроматичных потоков заряженных частиц, направленных на объект, исследуемый методами вторичной спектроскопии, например на поверхность твердого тела или на объем, занятый атомарным либо молекулярным газом, а также для энергетического анализа в оже-спектрометрах

Тороидальный электростатический энергоанализатор заряженных частиц // 1647700

Изобретение относится к технике электростатического анализа заряженных частиц по энергиям

Электростатический энергоанализатор заряженных частиц // 1647699

Изобретение относится к технике измерения энергий заряженных частиц и может быть использовано дяя измерения спектра бета-частиц w электронов конверсии, испускаемых при радиоактивном распаде ядер, рентгеновских, фотои оже-электоонов, эмоттируемых под действием различных излучений в исследованиях структуры вещества , и мягких заряженных частиц в космическом пространстве

Энергетический анализатор заряженных частиц // 1597968

Изобретение относится к устройствам для регистрации энергетических спектров заряженных частиц, в частности электронов, и может быть использовано, например, в фотоэлектронной спектроскопии при исследовании поверхности твердых тел

Электростатический энергоанализатор заряженных частиц // 1597967

Изобретение относится к спектрометрам заряженных частиц, в частности к дисперсионным электростатическим анализаторам по энергии, и может использоваться в эмиссионной электронике, в электронной спектроскопии для химического анализа, в растровой электронной микроскопии, при исследовании поверхности твердого тела методами вторичноионной масс-спектрометрии, при исследовании в области физики атомных столкновений и т.д

Масс-спектрометр с многократным прохождением ионами магнитного поля // 1525774

Электростатический анализатор пучков заряженных частиц // 1515219

Устройство для транспортировки и энергоанализа заряженных частиц // 1492397

Электростатический энергоанализатор // 1471234

Изобретение относится к электростатическим анализаторам энергий заряженных частиц

Электростатический энергоанализатор для параллельного потока заряженных частиц // 2327246

Изобретение относится к спектроскопии потоков заряженных частиц и может быть использовано при создании электростатических энергоанализаторов с высокой разрешающей способностью по энергии, высокой чувствительностью, простых в конструктивном исполнении и экономичных, для исследований потоков заряженных частиц в космосе или в плазме

Электронный магнитный спектрометр // 2338295

Изобретение относится к области исследования и анализа материалов радиационными методами и может быть применено для диагностики структуры и состава поверхности и приповерхностных слоев твердых и жидких тел

Фокусирующая система (варианты) // 2427056

Изобретение относится к области фокусирующих систем электронной и ионной оптики

Способ анализа заряженных частиц по массам и устройство для его осуществления // 2431214

Изобретение относится к способам и устройствам, обеспечивающим анализ потоков заряженных частиц по массам с помощью электромагнитных полей, и может быть использовано для определения элементного или изотопного состава плазмы рабочего вещества

Анализатор энергий отраженных электронов для растрового электронного микроскопа // 2055414

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии (РЭМ) и предназначено для получения изображений отдельных тонких глубинных слоев исследуемого объекта в режиме регистрации отраженных электронов (ОЭ)

Спектрометр заряженных частиц // 2076387

Изобретение относится к физической электронике, в частности, к электронной и ионной спектроскопии, и может быть использовано для анализа по энергиям и направлениям движения потоков заряженных частей, эмиттируемых поверхностью твердого тела или испускаемых из объема газа

Устройство для анализа молекулярных пучков // 2001464

Способ исследования спектров упругого отражения электронов // 2020647

Изобретение относится к физической электронике и может быть использовано в электронных спектрометрах, обладающих угловым разрешением, составляющим десятые доли градуса и меньше, и энергетическим разрешением Е, меньшим величины теплового разброса электронов Ес 0,2 - 0,6 эВ, эмиттированных катодом пушки

Электростатический спектрометр заряженных частиц // 2022395

Изобретение относится к спектрометрии корпускулярных излучений, преимущественно к исследованию энергетических спектров космических частиц на ИСЗ и космических аппаратах

Электростатический энергоанализатор заряженных частиц зеркального типа // 1704192