Многоступенчатый высоковакуумный диффузионный насос^ всесоюгная .^патгнт;;д-<^г.| т?;а'л'.г— iiil'lsa.

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 07Х11.1962 (№ 786405/24-6) Кл. 27d, 3 >1 с присоединением заявки №

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК F 041

УДК 621.527.8(088.8) Приоритет

Опубликовано 07Х11.1965. Бюллетень ¹ 14

Дата опубликования описания 20Х111.1965

Авторы изобретения

Иностра нцы

Хельмут Боллингер, Хеннинг. Бланк и Вернер Лауервальд (Германская Демократическая Республика) Заявитель

Я и,.—. 1,, МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ВЫСОКОВА1(УУМНЬ1Й < ДА 1 1,", . -, 1

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС I 1 1 г и -, 1 2

Лодппсная группа ЛВ 129

Известны многоступенчатые высоковакуумные диффузионные насосы, содержащие корпус с охлаждающей рубашкой, последовательно установленные на его высоте распределительные сопла, испаритель рабочего вещества и улавливатель конденсируемых паров, выполненный в виде кольцевой ванночки.

В предлагаемом насосе каждая ступень снабжена самостоятельным испарителем и улавливателем кондепсируемых паров (гидрозатвором), герметично отделяющим (по рабочему веществу) одну ступень от соседней с более высоким давлением.

Такое выполнение насоса позволяет улучшить предельный вакуум.

На фиг. 1 изобра>кен двухступенчатый насос со ступенчатым располо>кением испарителей по высоте, продольный разрез; на фиг. 2 — то >ке, с размещением испарителей на одном уровне.

Насос соде1>>кит корпус 1, нижняя часть которого сна ожена охлаждающей 1э ба1нкой 2, а верхняя — охлаждающим змеевиком 8. Междм витками змеевика размещены витки нагревателя 4 так, что ь зависимости от условий раооты верхняя часть корпуса может охла>кдаться или нагреваться. Насос при помощи фланца 6 присоедийяется к откачиваемому объему, а через патрубок 6 — к форвакуумному насосу. По высоте корпуса последовательно установлены распределительные сопла 7 и

8. Каждая ступень насоса снабжена самостоятельным испарителем 9 н 10 рабочего вещества (ртути). Ртуть в испарнтелях подогревается от электрических нагревателей 11 и 12.

Насос, изображенный на фиг. 2, имеет один общий электронагреватель 11 для обеих ступеней.

Ступени герметично отделены (по рабочему

10 веществу) одна от другой при помощи улавливателя 1> конденсируемых паров, выполненного в виде кольцевой ванночки. Пары ртути, выходя из сопла 7, увлекают за собой газ из откачиваемого объема и конденсируются

15 на стенках корпуса, которые охлаждаются змеевиком 3. Направляющий конус 14 препятствует тому, чтобы пар из этой ступени попадал в соседнюю с более высоким давлением.

Конденсат собирается в улавливателе и по

20 трубкам 16 перетекает в испаритель 9. При этом конденсат не пропускает высокого давления, имеющегося на ступени сопла 8. Молекулы газа через отверстие 16 попадают в ступень с более высоким давлением и увлекают25 ся паром, выходящим из распределительного сопла 8.

Пар конденсируется на стенках корпуса, охла>кдаемых рубашкой 2, и стекает в испаритель 10. Газ через патрубок 6 отсасываетЗО ся форвакуумным насосом.

172953

IZ

4Ъ 7

77

Уаг.2

Составитель

Корректор Л. Марисин

Редактор П. Вербова

Техред Ю. В. Баранов

Заказ 1967/12 Тираж 1425 Формат бум. 60><90 /8 Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИП14 Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, rrp, Сапунова, 2

Наличие в каждой ступени насоса самостоятельного контура циркуляции рабочего вегцества позволяет улучшить предельный вакуум в откачиваемом объеме.

Предмет изобретения

Многоступенчатый ьысоковакуумный диффузионный насос, содержащий корпус с охлаждающей рубашкой, последовательно установленные по его высоте распределительные сопла, испаритель рабочего вещества и улавливатель конденсируемых паров, выполненный ь виде кольцевой ванночки, отлича ощийся тем, что, с целью улучшения предельного ва5 куу»а, каждая ступень насоса снабжена самостоятельным испарителем и улавливателем конденсируемых паров (гидрозатвором), гермети1но отделяющим (по рабочему веществу) одну ступень от соседней с более высоким

10 давлением,