Способ осуществления газового разряда

Авторы патента:

H01J17/36 - общие схемы, не предназначенные для какого-либо специального применения прибора

l77546

СПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 24.Х.1964 (№ 926492/26-25) Ii;!. 21g, 131з с присоединением заявки ¹

Приоритет

МПК Н ОЗЬ

УДК 621.385.64 (088.8) Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 18.XII.1965. Бюллстепь № 1

Дата опубликования описания 5.П.1966

Авторы изобретения

Б. Н. Швилкин и А. А. Зайцев

Заявитель

СПОСОБ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА

Плазма разряда низкого давления применяется в настоящее время в различных устройствах по генерации электромагнитных волн и усилению СВЧ-колебаний в качестве фазовращателей, а также для вращения плоскости поляризаций электромагнитных волн. Отрицательной чертой плазмы разряда постони IGIo тока является ее свойство генерировать шумы и колебания, уровень которых намного превышает уровень тепловых шук!ов.,1,иапазоц генерируемых шумов простирается от 0 .вЂ”,о нескольких мгт1 и в СВЧ-диапазоне частот.

Для СВЧ-приложений, таких, как усиле1ше, генерация колебаний и фазовращепие, желательно свести к минимуму уровень шум, так как низкочастотные компоненты шума вызывают значительную модуляцию генерируемого г. плазме сигнала.

Известен способ уменьшения шумов в разряде, по которому приэлектродные радиочастотные шумы подавляются воздействием магIlIITIIoI поля, однако этот способ имеет тот недостаток, что с ним связано изменение конфигурации плазмы.

Предложенный способ отличается от известного применением высокочастотного электрического поля. Это позволяет значительно уменьшить уровень шума в широком иптервале изменения давления газа и величины разрядного тока, не внося сколько-нибудь заметllhIx возмущешш в плазму.

На чертеже представлен один из возможных вариантов осуществления газового разряда с подавлением приэлектродных радиочастотных шумов воздействием высокочастотного электромагнитного поля.

В трубке 1 с накаленным катодом радиочастотные шумы генерируются в катодной области. В этом случае положение высокочастотного электрического поля на кольце 2, расположенное IIa расстоянп!1 5 вЂ” 10 !1л от заземленного катода, приводи г к подавлению радиочастотного ш 1 к!а.

Высокочастотное напряжение (от 1 до

20 л!г11) подается на кольцо от генератора 8.

20 Предмет изобретения

Способ осуществления газового разряда при ппзкпх давлениях с прI ëoæåíèåì к электродам постоянного напряжения, отличптощийса тем, что, с целью подавления прпэлектродных радиочастотных шумов, приэлектродную область помещают в высокочастотное электромапштное поле.

177546

Составитель В. И. Ковалева

Редактор Л. А. Утехина Техред Л. А, Камышникова Корректоры: Е. Д. Курдюмова и В. П. Федулова

Заказ 11/1 Тираж 1475 Формат бум. 60х, 90 /ь Объем 0,1 изд. л. Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2